Nền tảng đá granit, là công cụ tham chiếu cho việc đo lường và xử lý chính xác, việc duy trì độ chính xác của nó ảnh hưởng trực tiếp đến chất lượng sản xuất. Sau đây là kế hoạch bảo trì hệ thống bao gồm kiểm soát môi trường, bảo trì hàng ngày và hiệu chuẩn chuyên nghiệp để đảm bảo nền tảng duy trì độ chính xác ở cấp độ nanomet trong thời gian dài.
1. Kiểm soát môi trường: Xây dựng hàng rào bảo vệ chính xác
Quản lý nhiệt độ và độ ẩm
Nhiệt độ môi trường làm việc cần được ổn định ở mức 20±1℃. Mỗi dao động 1℃ sẽ gây ra biến dạng nhiệt của sàn đá granite ở mức 0,5-1μm/m. Có thể lắp đặt hệ thống nhiệt độ ổn định trong xưởng để ngăn không cho cửa gió điều hòa thổi trực tiếp vào sàn.
Độ ẩm nên được kiểm soát trong khoảng từ 40% đến 60%. Độ ẩm quá cao có thể dễ gây gỉ sét trên các bộ phận kim loại, trong khi độ ẩm quá thấp có thể dẫn đến nhiễu tĩnh điện trong quá trình đo.
Cách ly rung động
Nên đặt bệ máy tránh xa các nguồn rung động như máy dập và máy phay. Khuyến nghị nên giữ khoảng cách tối thiểu 3 mét với các thiết bị rung.
Nếu không thể tránh được rung động, có thể lắp bộ giảm xóc lò xo khí ở phía dưới bệ để giảm tác động của rung động môi trường lên độ phẳng của bệ (có thể giảm rung động bên ngoài hơn 80%).
2. Bảo trì hàng ngày: Kiểm soát tỉ mỉ từ khâu vệ sinh đến bảo vệ
Thông số kỹ thuật làm sạch bề mặt
Loại bỏ bụi: Lau bề mặt bằng da hươu hoặc vải không xơ theo cùng một hướng mỗi ngày để tránh các hạt bụi (≥5μm) làm trầy xước bệ đỡ. Các vết bẩn cứng đầu có thể được lau nhẹ nhàng bằng cồn khan (độ tinh khiết ≥99,7%). Không được sử dụng dung môi mạnh như axeton.
Tẩy dầu mỡ: Nếu tiếp xúc với vết dầu, hãy lau bằng chất tẩy rửa trung tính pha loãng, sau đó rửa sạch bằng nước khử ion và phơi khô để tránh dầu khoáng thấm vào các lỗ nhỏ trên bệ.
Bảo vệ tải trọng và va chạm
Khả năng chịu tải của sàn phải được kiểm soát trong phạm vi 70% tải trọng định mức (ví dụ, đối với sàn 1000kg, khuyến nghị tải trọng phải ≤700kg) để tránh biến dạng vĩnh viễn do quá tải cục bộ.
Nghiêm cấm va đập vật liệu gia công trên bệ. Khi cầm dụng cụ, hãy đeo găng tay mềm để tránh vật sắc nhọn làm xước bề mặt (vết xước có độ sâu lớn hơn 20μm sẽ ảnh hưởng đến phép đo đường đi của ánh sáng phản xạ).
3. Hiệu chuẩn chuyên nghiệp: Cốt lõi của việc duy trì độ chính xác một cách khoa học
Thiết lập chu kỳ hiệu chuẩn
Các tình huống sử dụng thông thường: Hiệu chuẩn một lần mỗi quý và sử dụng máy đo giao thoa laser để phát hiện độ phẳng (với độ chính xác ±0,5μm/m).
Sử dụng tần suất cao hoặc môi trường khắc nghiệt: Hiệu chuẩn hàng tháng, tập trung vào việc theo dõi các khu vực nhạy cảm với nhiệt độ (chẳng hạn như mép bệ gần nguồn nhiệt).
Xử lý sau hiệu chuẩn
Nếu phát hiện độ lệch về độ phẳng (ví dụ: > ±1μm/m), phải được mài và sửa chữa bởi kỹ thuật viên chuyên nghiệp bằng bột vi mô W1.5. Nghiêm cấm tự mài bằng giấy nhám.
Sau khi hiệu chuẩn, dữ liệu cần được ghi lại và lưu trữ, đồng thời đường cong suy giảm độ chính xác của nền tảng cần được thiết lập để dự đoán trước các yêu cầu bảo trì.
4. Lưu trữ và vận chuyển: Tránh mất mát độ chính xác tiềm ẩn
Những điểm chính để lưu trữ lâu dài
Khi cất giữ, cần phủ một lớp chống ẩm và chống bụi. Đáy bệ nên được đỡ bằng ba điểm (điểm đỡ nằm ở 2/9 chiều dài bệ) để tránh bị biến dạng do trọng lực (bệ 1 mét có thể bị võng 0,3μm do chỉ được đỡ bằng một điểm trong thời gian dài).
Di chuyển vị trí các điểm hỗ trợ của nền tảng thường xuyên (hàng tháng) để tránh áp lực cục bộ lâu dài.
Kế hoạch bảo vệ giao thông
Vận chuyển cự ly ngắn: Quấn bằng xốp giảm xóc, cố định trong khung cứng và giữ gia tốc trong phạm vi 2g.
Vận chuyển đường dài: Cần đóng gói chân không và bơm đầy nitơ khô. Sau khi đến nơi, nên để yên trong 24 giờ cho đến khi nhiệt độ đạt trạng thái cân bằng trước khi mở bao bì để tránh nước ngưng tụ ảnh hưởng đến độ chính xác.
5. Dự đoán lỗi: Các kỹ thuật xác định vấn đề sớm
Kiểm tra bằng mắt: Thường xuyên quan sát bề mặt bằng kính lúp 40x. Nếu phát hiện các vết xước liên tục hoặc độ bóng giảm đáng kể, điều này có thể cho thấy độ chính xác đang giảm.
Phát hiện âm thanh: Chạm nhẹ vào bệ. Nếu âm thanh bị khàn (thường là âm thanh rõ ràng), có thể có các vết nứt nhỏ bên trong. Ngừng sử dụng ngay lập tức để phát hiện.
Nhờ hệ thống bảo trì này, bệ đá granite ZHHIMG® có thể duy trì độ phẳng ±1μm/m trong 10 năm, dài hơn gấp ba lần tuổi thọ chính xác của bệ không được bảo trì đúng cách. Thực tế đã chứng minh rằng sau khi một nhà máy bán dẫn áp dụng giải pháp này, tần suất hiệu chuẩn bệ đã giảm 50%, và chi phí bảo trì hàng năm đã tiết kiệm được hơn 150.000 nhân dân tệ.
Thời gian đăng: 18-06-2025