Bệ đỡ bằng đá granit, với vai trò là công cụ tham chiếu cho việc đo lường và gia công chính xác, việc duy trì độ chính xác của nó ảnh hưởng trực tiếp đến chất lượng sản xuất. Sau đây là kế hoạch bảo trì hệ thống bao gồm kiểm soát môi trường, bảo trì hàng ngày và hiệu chuẩn chuyên nghiệp để đảm bảo bệ đỡ duy trì độ chính xác ở mức nanomet trong thời gian dài.
1. Kiểm soát môi trường: Xây dựng hàng rào bảo vệ chính xác
Quản lý nhiệt độ và độ ẩm
Nhiệt độ môi trường làm việc cần được ổn định ở mức 20±1℃. Mỗi dao động 1℃ sẽ gây ra biến dạng nhiệt cho mặt bàn đá granit ở mức 0,5-1μm/m. Có thể lắp đặt hệ thống điều chỉnh nhiệt độ ổn định trong xưởng để ngăn các cửa gió điều hòa thổi trực tiếp vào mặt bàn.
Độ ẩm nên được kiểm soát trong khoảng từ 40% đến 60%. Độ ẩm quá cao dễ gây gỉ sét trên các bộ phận kim loại, trong khi độ ẩm quá thấp có thể dẫn đến nhiễu tĩnh điện trong quá trình đo.
Cách ly rung động
Cần đặt bệ đỡ cách xa các nguồn gây rung động như máy dập và máy phay. Nên giữ khoảng cách hơn 3 mét so với thiết bị gây rung.
Nếu không thể tránh khỏi rung động, có thể lắp đặt bộ giảm xóc lò xo khí ở đáy bệ để giảm tác động của rung động môi trường lên độ phẳng của bệ (có thể giảm rung động bên ngoài hơn 80%).
2. Bảo trì hàng ngày: Kiểm soát tỉ mỉ từ khâu vệ sinh đến bảo vệ.
Thông số kỹ thuật làm sạch bề mặt
Loại bỏ bụi: Lau bề mặt bằng da nai hoặc vải không xơ theo cùng một hướng mỗi ngày để ngăn các hạt bụi (≥5μm) làm trầy xước bề mặt. Các vết bẩn cứng đầu có thể được lau nhẹ nhàng bằng etanol khan (độ tinh khiết ≥99,7%). Tuyệt đối không được sử dụng các dung môi mạnh như axeton.
Tẩy dầu mỡ: Nếu bề mặt tiếp xúc với vết dầu mỡ, hãy lau bằng dung dịch tẩy rửa trung tính pha loãng, sau đó rửa sạch bằng nước khử ion và để khô tự nhiên để ngăn dầu khoáng thấm vào các lỗ nhỏ li ti trên bề mặt.
Bảo vệ tải và chống va chạm
Khả năng chịu tải của bệ nâng cần được kiểm soát trong phạm vi 70% tải trọng định mức (ví dụ, đối với bệ nâng 1000kg, nên giới hạn tải trọng ≤700kg) để tránh biến dạng vĩnh viễn do quá tải cục bộ.
Nghiêm cấm tuyệt đối việc đập phôi gia công lên bệ đỡ. Khi sử dụng dụng cụ, hãy đeo găng tay mềm để tránh vật sắc nhọn làm xước bề mặt (vết xước có độ sâu lớn hơn 20μm sẽ ảnh hưởng đến việc đo đường đi của ánh sáng phản xạ).
3. Hiệu chuẩn chuyên nghiệp: Yếu tố cốt lõi để duy trì độ chính xác một cách khoa học.
Cài đặt chu kỳ hiệu chuẩn
Các trường hợp sử dụng thông thường: Hiệu chuẩn mỗi quý một lần và sử dụng máy đo giao thoa laser để phát hiện độ phẳng (với độ chính xác ±0,5μm/m).
Sử dụng thường xuyên hoặc trong môi trường khắc nghiệt: Hiệu chuẩn hàng tháng, tập trung vào việc giám sát các khu vực nhạy cảm với nhiệt độ (chẳng hạn như mép bệ gần nguồn nhiệt).
Xử lý sau hiệu chuẩn
Nếu phát hiện sai lệch độ phẳng (ví dụ: > ±1μm/m), cần phải mài và sửa chữa bởi kỹ thuật viên chuyên nghiệp sử dụng bột siêu mịn W1.5. Nghiêm cấm tự mài bằng giấy nhám.
Sau khi hiệu chuẩn, dữ liệu cần được ghi lại và lưu trữ, đồng thời cần thiết lập đường cong suy giảm độ chính xác của nền tảng để dự đoán trước các yêu cầu bảo trì.
4. Lưu trữ và vận chuyển: Tránh mất độ chính xác tiềm ẩn
Những điểm quan trọng cần lưu trữ lâu dài
Khi cất giữ, cần phải phủ bằng lớp bảo vệ chống ẩm và chống bụi. Phần đáy cần được đỡ bằng ba điểm (điểm đỡ nằm ở vị trí 2/9 chiều dài của bệ) để tránh biến dạng do trọng lực (bệ dài 1 mét có thể bị võng 0,3μm do chỉ được đỡ bằng một điểm trong thời gian dài).
Thường xuyên (hàng tháng) điều chỉnh vị trí các điểm đỡ giàn khoan để tránh áp lực cục bộ kéo dài.
Kế hoạch bảo vệ giao thông
Vận chuyển quãng ngắn: Bọc bằng mút giảm chấn, cố định trong khung cứng và giữ gia tốc dưới 2g.
Vận chuyển đường dài: Cần đóng gói chân không và bơm khí nitơ khô. Sau khi đến nơi, cần để yên trong 24 giờ cho đến khi nhiệt độ đạt trạng thái cân bằng trước khi mở bao bì để tránh hơi nước ngưng tụ ảnh hưởng đến độ chính xác.
5. Dự đoán lỗi: Các kỹ thuật xác định sự cố sớm
Kiểm tra bằng mắt thường: Thường xuyên quan sát bề mặt bằng kính lúp 40x. Nếu phát hiện các vết xước liên tục hoặc độ bóng giảm đáng kể, điều đó có thể cho thấy độ chính xác đã giảm sút.
Kiểm tra bằng âm thanh: Gõ nhẹ vào bề mặt. Nếu âm thanh phát ra trở nên khàn (thông thường âm thanh phải trong trẻo), có thể có các vết nứt nhỏ bên trong. Ngừng sử dụng ngay lập tức để kiểm tra.
Nhờ hệ thống bảo trì này, mặt bàn đá granit ZHHIMG® có thể duy trì độ phẳng ±1μm/m trong 10 năm, dài hơn gấp ba lần so với tuổi thọ chính xác của các mặt bàn không được bảo trì đúng cách. Thực tiễn đã chứng minh rằng sau khi một nhà máy sản xuất chất bán dẫn áp dụng giải pháp này, tần suất hiệu chuẩn mặt bàn đã giảm 50%, và chi phí bảo trì hàng năm đã tiết kiệm được hơn 150.000 nhân dân tệ.
Thời gian đăng bài: 18/06/2025