Trong lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn, máy tạo rãnh wafer đóng vai trò quan trọng trong việc tạo ra các kênh chính xác trên wafer. Hiệu suất của những máy này có thể bị ảnh hưởng đáng kể
d theo lựa chọn đế máy. Đế máy bằng đá granit có độ chính xác cao, chẳng hạn như đế máy do ZHHIMG® cung cấp, đã nổi lên như một bước ngoặt trong lĩnh vực này.
Độ ổn định cho rãnh chính xác
Độ ổn định là tối quan trọng trong quá trình tạo rãnh wafer. Đá granit, với mật độ cao khoảng 3100 kg/m³, tạo ra một nền tảng cực kỳ ổn định. Trong quá trình tạo rãnh, dụng cụ cắt tác dụng lực lên wafer. Một đế máy ổn định, như đế làm bằng đá granit, đảm bảo rằng cơ cấu giữ wafer vẫn cố định tại chỗ. Độ ổn định này giảm thiểu mọi chuyển động hoặc rung động không mong muốn của wafer, cho phép dụng cụ cắt tạo rãnh với độ chính xác cao. Ngược lại, vật liệu đế kém ổn định hơn có thể khiến wafer dịch chuyển nhẹ, tạo ra các rãnh quá rộng, quá hẹp hoặc không thẳng, có thể ảnh hưởng nghiêm trọng đến chức năng của thiết bị bán dẫn cuối cùng.
Giảm rung cho hoạt động trơn tru
Rung động là một vấn đề cố hữu trong bất kỳ quy trình gia công nào và rãnh wafer cũng không ngoại lệ. Tốc độ quay cao của dụng cụ cắt trong máy rãnh wafer tạo ra rung động. Nếu những rung động này không được giảm chấn hiệu quả, chúng có thể dẫn đến sứt mẻ các cạnh wafer, độ sâu rãnh không đều và bề mặt hoàn thiện kém. Đá granit có đặc tính giảm chấn rung động tuyệt vời. Cấu trúc tự nhiên của nó, bao gồm các hạt khoáng liên kết với nhau, hoạt động như một bộ giảm xóc tự nhiên. Khi rung động xảy ra, năng lượng sẽ bị tiêu tán bên trong đá granit, làm giảm tác động lên wafer và dụng cụ cắt. Điều này dẫn đến các hoạt động cắt mượt mà hơn, tuổi thọ dụng cụ dài hơn và wafer có rãnh chất lượng cao hơn.
Khả năng chịu nhiệt cho kết quả đồng nhất
Các cơ sở sản xuất chất bán dẫn thường hoạt động trong môi trường được kiểm soát, nhưng vẫn có thể có những biến động nhiệt độ nhỏ. Đá granit có hệ số giãn nở nhiệt rất thấp. Điều này có nghĩa là khi nhiệt độ thay đổi đôi chút trong quá trình tạo rãnh wafer (do nhiệt sinh ra từ dụng cụ cắt hoặc do nhiệt độ môi trường thay đổi), đế máy bằng đá granit sẽ không giãn nở hoặc co lại đáng kể. Trong quá trình tạo rãnh wafer, khi dung sai chính xác nằm trong phạm vi micromet hoặc thậm chí nanomet, những thay đổi về kích thước do nhiệt có thể gây ra thảm họa. Độ ổn định nhiệt của đá granit giúp duy trì sự liên kết của các thành phần máy, đảm bảo rằng quá trình tạo rãnh vẫn chính xác và nhất quán theo thời gian.
Độ bền sử dụng lâu dài
Máy tạo rãnh wafer được sử dụng liên tục trong sản xuất bán dẫn khối lượng lớn. Đế máy phải chịu ứng suất cơ học, ma sát và va đập thỉnh thoảng. Độ cứng cao và bản chất chống mài mòn của đá granit khiến nó trở thành vật liệu lý tưởng để sử dụng lâu dài. Nó có thể chịu được sự khắc nghiệt của hoạt động hàng ngày mà không bị mài mòn hoặc biến dạng đáng kể. Độ bền này làm giảm nhu cầu thay thế thường xuyên hoặc bảo trì tốn kém do các vấn đề liên quan đến đế. Ngoài ra, đá granit trơ về mặt hóa học, có nghĩa là nó có khả năng chống ăn mòn từ các hóa chất được sử dụng trong quy trình sản xuất bán dẫn, giúp tăng thêm tuổi thọ của nó.
Tóm lại, một đế máy granit có độ chính xác cao thực sự có thể nâng cao hiệu suất của máy tạo rãnh wafer. Bằng cách cung cấp sự ổn định, giảm rung động, chống lại sự thay đổi nhiệt và cung cấp độ bền lâu dài, đế máy granit góp phần vào hoạt động tạo rãnh wafer chính xác hơn, hiệu quả hơn và đáng tin cậy hơn. Khi cân nhắc nâng cấp hoặc mua mới thiết bị tạo rãnh wafer, việc lựa chọn một máy có đế máy granit có độ chính xác cao, chẳng hạn như máy từ ZHHIMG®, là một quyết định sáng suốt có thể cải thiện đáng kể chất lượng và năng suất sản xuất chất bán dẫn.
Thời gian đăng: 03-06-2025