Trong lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn, máy tạo rãnh trên wafer đóng vai trò quan trọng trong việc tạo ra các rãnh chính xác trên wafer. Hiệu suất của các máy này có thể bị ảnh hưởng đáng kể bởi...
d bởi sự lựa chọn đế máy. Các đế máy bằng đá granit có độ chính xác cao, chẳng hạn như những đế do ZHHIMG® cung cấp, đã trở thành yếu tố thay đổi cuộc chơi trong vấn đề này.
Độ ổn định cho việc tạo rãnh chính xác
Tính ổn định là yếu tố tối quan trọng trong việc tạo rãnh trên đế bán dẫn. Đá granit, với mật độ cao khoảng 3100 kg/m³, cung cấp một nền tảng cực kỳ ổn định. Trong quá trình tạo rãnh, dụng cụ cắt tác dụng lực lên đế bán dẫn. Một đế máy ổn định, như đế làm bằng đá granit, đảm bảo rằng cơ cấu giữ đế bán dẫn luôn được giữ chắc chắn tại chỗ. Tính ổn định này giảm thiểu mọi chuyển động hoặc rung động không mong muốn của đế bán dẫn, cho phép dụng cụ cắt tạo ra các rãnh với độ chính xác cao. Ngược lại, vật liệu nền kém ổn định hơn có thể khiến đế bán dẫn dịch chuyển nhẹ, dẫn đến các rãnh quá rộng, quá hẹp hoặc không thẳng, điều này có thể ảnh hưởng nghiêm trọng đến chức năng của thiết bị bán dẫn cuối cùng.
Giảm chấn rung động giúp vận hành êm ái.
Rung động là vấn đề cố hữu trong bất kỳ quy trình gia công nào, và việc tạo rãnh trên tấm wafer cũng không ngoại lệ. Sự quay tốc độ cao của dụng cụ cắt trong máy tạo rãnh wafer tạo ra rung động. Nếu những rung động này không được giảm thiểu hiệu quả, chúng có thể dẫn đến sứt mẻ các cạnh wafer, độ sâu rãnh không đều và chất lượng bề mặt kém. Đá granit có đặc tính giảm rung tuyệt vời. Cấu trúc tự nhiên của nó, bao gồm các hạt khoáng chất đan xen, hoạt động như một bộ giảm xóc tự nhiên. Khi xảy ra rung động, năng lượng được tiêu tán bên trong đá granit, làm giảm tác động lên wafer và dụng cụ cắt. Điều này dẫn đến các thao tác cắt mượt mà hơn, tuổi thọ dụng cụ dài hơn và chất lượng wafer được tạo rãnh cao hơn.
Khả năng chịu nhiệt để đạt được kết quả nhất quán
Các nhà máy sản xuất chất bán dẫn thường hoạt động trong môi trường được kiểm soát, nhưng vẫn có thể xảy ra những biến động nhiệt độ nhỏ. Đá granit có hệ số giãn nở nhiệt rất thấp. Điều này có nghĩa là khi nhiệt độ thay đổi nhẹ trong quá trình tạo rãnh trên tấm bán dẫn (do nhiệt lượng sinh ra từ dụng cụ cắt hoặc do sự thay đổi nhiệt độ môi trường xung quanh), đế máy bằng đá granit sẽ không giãn nở hoặc co lại đáng kể. Trong quá trình tạo rãnh trên tấm bán dẫn, nơi dung sai chính xác nằm trong phạm vi micromet hoặc thậm chí nanomet, sự thay đổi kích thước do nhiệt có thể gây ra hậu quả nghiêm trọng. Độ ổn định nhiệt của đá granit giúp duy trì sự thẳng hàng của các bộ phận máy, đảm bảo quá trình tạo rãnh vẫn chính xác và nhất quán theo thời gian.
Độ bền cao, sử dụng được lâu dài.
Máy cắt rãnh wafer được sử dụng liên tục trong sản xuất chất bán dẫn quy mô lớn. Đế máy phải chịu ứng suất cơ học, ma sát và va đập thường xuyên. Độ cứng cao và khả năng chống mài mòn của đá granit khiến nó trở thành vật liệu lý tưởng cho việc sử dụng lâu dài. Nó có thể chịu được sự khắc nghiệt của hoạt động hàng ngày mà không bị mài mòn hoặc biến dạng đáng kể. Độ bền này làm giảm nhu cầu thay thế thường xuyên hoặc bảo trì tốn kém do các vấn đề liên quan đến đế máy. Ngoài ra, đá granit trơ về mặt hóa học, có nghĩa là nó có khả năng chống ăn mòn bởi các hóa chất được sử dụng trong quy trình sản xuất chất bán dẫn, giúp tăng thêm tuổi thọ của nó.
Tóm lại, đế máy bằng đá granit độ chính xác cao thực sự có thể nâng cao hiệu suất của máy tạo rãnh wafer. Bằng cách cung cấp sự ổn định, giảm rung động, chống lại sự thay đổi nhiệt độ và mang lại độ bền lâu dài, đế máy bằng đá granit góp phần vào các hoạt động tạo rãnh wafer chính xác hơn, hiệu quả hơn và đáng tin cậy hơn. Khi xem xét việc nâng cấp hoặc mua mới thiết bị tạo rãnh wafer, việc lựa chọn máy có đế máy bằng đá granit độ chính xác cao, chẳng hạn như của ZHHIMG®, là một quyết định sáng suốt có thể cải thiện đáng kể chất lượng và năng suất của sản xuất bán dẫn.
Thời gian đăng bài: 03/06/2025