Trong lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn, máy tạo rãnh wafer đóng vai trò quan trọng trong việc tạo ra các rãnh chính xác trên wafer. Hiệu suất của những máy này có thể bị ảnh hưởng đáng kể.
d bởi sự lựa chọn đế máy. Đế máy bằng đá granit có độ chính xác cao, chẳng hạn như đế máy của ZHHIMG®, đã nổi lên như một bước đột phá trong lĩnh vực này.
Độ ổn định cho rãnh chính xác
Độ ổn định là yếu tố tối quan trọng trong quá trình tạo rãnh wafer. Đá granit, với mật độ cao khoảng 3100 kg/m³, tạo nên một nền tảng cực kỳ ổn định. Trong quá trình tạo rãnh, dụng cụ cắt tác động lực lên wafer. Một đế máy ổn định, chẳng hạn như đế làm bằng đá granit, đảm bảo cơ cấu giữ wafer luôn cố định tại chỗ. Độ ổn định này giảm thiểu mọi chuyển động hoặc rung động không mong muốn của wafer, cho phép dụng cụ cắt tạo rãnh với độ chính xác cao. Ngược lại, vật liệu đế kém ổn định hơn có thể khiến wafer bị dịch chuyển nhẹ, tạo ra các rãnh quá rộng, quá hẹp hoặc không thẳng, ảnh hưởng nghiêm trọng đến chức năng của thiết bị bán dẫn cuối cùng.
Giảm rung cho hoạt động trơn tru
Độ rung là một vấn đề cố hữu trong bất kỳ quy trình gia công nào, và việc tạo rãnh wafer cũng không ngoại lệ. Tốc độ quay cao của dụng cụ cắt trong máy tạo rãnh wafer tạo ra rung động. Nếu những rung động này không được giảm chấn hiệu quả, chúng có thể dẫn đến sứt mẻ cạnh wafer, độ sâu rãnh không đều và độ hoàn thiện bề mặt kém. Đá granite có đặc tính giảm chấn tuyệt vời. Cấu trúc tự nhiên của nó, bao gồm các hạt khoáng liên kết với nhau, hoạt động như một bộ giảm xóc tự nhiên. Khi rung động xảy ra, năng lượng được phân tán bên trong đá granite, giảm tác động lên wafer và dụng cụ cắt. Điều này giúp quá trình cắt mượt mà hơn, tuổi thọ dụng cụ dài hơn và chất lượng wafer có rãnh cao hơn.
Khả năng chịu nhiệt cho kết quả đồng nhất
Các cơ sở sản xuất chất bán dẫn thường hoạt động trong môi trường được kiểm soát, nhưng vẫn có thể có những biến động nhỏ về nhiệt độ. Đá granit có hệ số giãn nở nhiệt rất thấp. Điều này có nghĩa là khi nhiệt độ thay đổi nhẹ trong quá trình tạo rãnh wafer (do nhiệt sinh ra từ dụng cụ cắt hoặc do biến động nhiệt độ môi trường), đế máy bằng đá granit sẽ không giãn nở hoặc co lại đáng kể. Trong quá trình tạo rãnh wafer, với dung sai chính xác nằm trong phạm vi micromet hoặc thậm chí nanomet, những thay đổi kích thước do nhiệt có thể gây ra hậu quả nghiêm trọng. Độ ổn định nhiệt của đá granit giúp duy trì sự thẳng hàng của các bộ phận máy, đảm bảo quá trình tạo rãnh luôn chính xác và nhất quán theo thời gian.
Độ bền sử dụng lâu dài
Máy tạo rãnh wafer được sử dụng liên tục trong sản xuất bán dẫn số lượng lớn. Đế máy chịu ứng suất cơ học, ma sát và va đập thường xuyên. Độ cứng cao và khả năng chống mài mòn của đá granite khiến nó trở thành vật liệu lý tưởng cho việc sử dụng lâu dài. Đá granite có thể chịu được sự khắc nghiệt của hoạt động hàng ngày mà không bị mài mòn hay biến dạng đáng kể. Độ bền này giúp giảm nhu cầu thay thế thường xuyên hoặc bảo trì tốn kém do các vấn đề liên quan đến đế. Ngoài ra, đá granite còn trơ về mặt hóa học, có nghĩa là nó có khả năng chống ăn mòn từ các hóa chất được sử dụng trong quy trình sản xuất bán dẫn, giúp kéo dài tuổi thọ.
Tóm lại, một đế máy bằng đá granit có độ chính xác cao thực sự có thể nâng cao hiệu suất của máy tạo rãnh wafer. Bằng cách mang lại sự ổn định, giảm rung động, chống lại sự thay đổi nhiệt và mang lại độ bền lâu dài, đế máy bằng đá granit góp phần mang lại hoạt động tạo rãnh wafer chính xác, hiệu quả và đáng tin cậy hơn. Khi cân nhắc nâng cấp hoặc mua mới thiết bị tạo rãnh wafer, việc lựa chọn một máy có đế máy bằng đá granit có độ chính xác cao, chẳng hạn như máy của ZHHIMG®, là một quyết định sáng suốt, có thể cải thiện đáng kể chất lượng và năng suất sản xuất bán dẫn.
Thời gian đăng: 03-06-2025