Cuộc cách mạng chính xác trong sản xuất chất bán dẫn: Khi đá granit kết hợp với công nghệ micron
1.1 Những khám phá bất ngờ trong khoa học vật liệu
Theo báo cáo của Hiệp hội Bán dẫn Quốc tế SEMI năm 2023, 63% các nhà máy tiên tiến trên thế giới đã bắt đầu sử dụng đế đá granit thay vì bệ kim loại truyền thống. Loại đá tự nhiên này, có nguồn gốc từ quá trình ngưng tụ magma sâu trong lòng đất, đang viết lại lịch sử sản xuất chất bán dẫn vì các đặc tính vật lý độc đáo của nó:
Ưu điểm về quán tính nhiệt: hệ số giãn nở nhiệt của đá granit 4,5×10⁻⁶/℃ chỉ bằng 1/5 so với thép không gỉ và độ ổn định về kích thước ±0,001mm được duy trì trong quá trình hoạt động liên tục của máy in thạch bản
Đặc tính giảm chấn: hệ số ma sát bên trong cao hơn gang 15 lần, hấp thụ hiệu quả rung động vi mô của thiết bị
Bản chất không từ hóa: loại bỏ hoàn toàn lỗi từ trong phép đo laser
1.2 Hành trình biến đổi từ mỏ đến nhà máy
Lấy cơ sở sản xuất thông minh của ZHHIMG tại Sơn Đông làm ví dụ, một khối đá granit thô cần phải trải qua:
Gia công siêu chính xác: trung tâm gia công liên kết năm trục có thể phay liên tục trong 200 giờ, độ nhám bề mặt lên tới Ra0.008μm
Xử lý lão hóa nhân tạo: 48 giờ giải phóng ứng suất tự nhiên trong xưởng có nhiệt độ và độ ẩm không đổi, giúp cải thiện độ ổn định của sản phẩm lên 40%
Thứ hai, giải quyết sáu vấn đề chính xác của sản xuất chất bán dẫn "giải pháp đá"
2.1 Sơ đồ giảm tỷ lệ phân mảnh wafer
Minh họa trường hợp: Sau khi một xưởng đúc chip ở Đức áp dụng nền tảng đá granit nổi khí của chúng tôi:
| Đường kính wafer | giảm tốc độ chip | cải thiện độ phẳng |
| 12 inch | 67% | ≤0,001mm |
| 18 inch | 82% | ≤0.0005mm |
2.2 Sơ đồ đột phá về độ chính xác căn chỉnh thạch bản
Hệ thống bù nhiệt độ: cảm biến gốm nhúng theo dõi hình dạng thay đổi theo thời gian thực và tự động điều chỉnh độ nghiêng của bệ
Dữ liệu đo được: dưới sự dao động của 28℃±5℃, độ chính xác nhúng dao động nhỏ hơn 0,12μm
Thời gian đăng: 24-03-2025