Trong lĩnh vực sản xuất chính xác và nghiên cứu khoa học, độ phẳng của bệ chính xác bằng đá granit là chỉ số quan trọng để đảm bảo độ chính xác của thiết bị. Sau đây là phần giới thiệu chi tiết về một số phương pháp phát hiện chính thống và quy trình vận hành của chúng dành cho bạn.
I. Phương pháp phát hiện giao thoa kế laser
Giao thoa kế laser là công cụ được ưa chuộng để phát hiện độ phẳng có độ chính xác cao. Lấy giao thoa kế laser ZYGO GPI XP làm ví dụ, độ phân giải của nó có thể đạt tới 0,1nm. Khi tiến hành phát hiện, trước tiên hãy căn chỉnh nguồn sáng của giao thoa kế với bệ và chia bề mặt bệ thành các vùng lưới 50mm×50mm. Sau đó, dữ liệu vân giao thoa được thu thập từng điểm và dữ liệu được lắp và phân tích bằng đa thức Zernike để thu được lỗi độ phẳng. Phương pháp này áp dụng cho các bệ có độ chính xác cao và có thể phát hiện lỗi độ phẳng ≤0,5μm/m². Phương pháp này thường được sử dụng để phát hiện máy quang khắc và bệ máy đo ba tọa độ cao cấp.
Ii. Phương pháp mảng mức điện tử
Mảng phát hiện mức điện tử dễ vận hành và hiệu quả cao. Mức điện tử TESA A2 (có độ phân giải 0,01μm/m) đã được chọn và sắp xếp theo mảng 9×9 theo hướng trục X/Y của bệ. Bằng cách thu thập đồng bộ dữ liệu độ nghiêng của từng mức và sau đó sử dụng phương pháp bình phương nhỏ nhất để tính toán, có thể thu được giá trị độ phẳng một cách chính xác. Phương pháp này có thể xác định hiệu quả các điều kiện lõm và lồi cục bộ của bệ. Ví dụ, cũng có thể phát hiện dao động 0,2μm trong phạm vi 50mm, phù hợp để phát hiện nhanh trong sản xuất hàng loạt.
Iii. Phương pháp tinh thể phẳng quang học
Phương pháp tinh thể phẳng quang học phù hợp để phát hiện các nền tảng diện tích nhỏ. Gắn chặt tinh thể phẳng quang học vào bề mặt cần thử nghiệm trên nền tảng và quan sát các vân giao thoa được hình thành giữa chúng dưới sự chiếu sáng của nguồn sáng đơn sắc (như đèn natri). Nếu các sọc là các sọc thẳng song song, điều đó cho thấy độ phẳng tốt. Nếu các sọc cong xuất hiện, hãy tính toán lỗi độ phẳng dựa trên độ cong của sọc. Mỗi sọc cong biểu thị chênh lệch độ cao là 0,316μm và dữ liệu độ phẳng có thể thu được thông qua chuyển đổi đơn giản.
Bốn. Máy đo ba tọa độ Phương pháp kiểm tra
Máy đo ba tọa độ có thể đạt được phép đo có độ chính xác cao trong không gian ba chiều. Đặt bệ đá granit lên bàn làm việc của máy đo và sử dụng đầu dò để thu thập dữ liệu đồng đều từ nhiều điểm đo trên bề mặt bệ. Hệ thống máy đo xử lý và phân tích các dữ liệu này để tạo báo cáo độ phẳng của bệ. Phương pháp này không chỉ có thể phát hiện độ phẳng mà còn có thể thu được các thông số hình học khác của bệ đồng thời và phù hợp để phát hiện toàn diện các bệ đá granit lớn.
Việc nắm vững các phương pháp phát hiện này có thể giúp bạn đánh giá chính xác độ phẳng của nền tảng chính xác bằng đá granit và cung cấp sự đảm bảo đáng tin cậy cho hoạt động ổn định của thiết bị chính xác.
Thời gian đăng: 29-05-2025