Trong lĩnh vực sản xuất chính xác và nghiên cứu khoa học, độ phẳng của bệ máy chính xác bằng đá granit là một chỉ số quan trọng để đảm bảo độ chính xác của thiết bị. Sau đây là phần giới thiệu chi tiết về một số phương pháp phát hiện chính thống và quy trình vận hành của chúng.
I. Phương pháp phát hiện giao thoa kế laser
Giao thoa kế laser là công cụ được ưa chuộng để phát hiện độ phẳng với độ chính xác cao. Lấy giao thoa kế laser ZYGO GPI XP làm ví dụ, độ phân giải của nó có thể đạt tới 0,1 nm. Khi tiến hành phát hiện, trước tiên hãy căn chỉnh nguồn sáng của giao thoa kế với bệ và chia bề mặt bệ thành các ô lưới 50mm x 50mm. Sau đó, dữ liệu vân giao thoa được thu thập từng điểm một, và dữ liệu được khớp và phân tích bằng đa thức Zernike để thu được sai số độ phẳng. Phương pháp này áp dụng cho các bệ có độ chính xác cao và có thể phát hiện sai số độ phẳng ≤0,5 μm/m². Phương pháp này thường được sử dụng để phát hiện máy quang khắc và bệ máy đo ba tọa độ cao cấp.
Ii. Phương pháp mảng mức điện tử
Hệ thống phát hiện mảng cân bằng điện tử vận hành đơn giản và hiệu quả cao. Cân bằng điện tử TESA A2 (với độ phân giải 0,01μm/m) đã được lựa chọn và sắp xếp thành mảng 9x9 theo hướng trục X/Y của bệ cân. Bằng cách thu thập đồng bộ dữ liệu độ nghiêng của từng cân và sau đó sử dụng phương pháp bình phương nhỏ nhất để tính toán, giá trị độ phẳng có thể được thu thập chính xác. Phương pháp này có thể xác định hiệu quả các điều kiện lồi lõm cục bộ của bệ cân. Ví dụ, có thể phát hiện dao động 0,2μm trong phạm vi 50mm, phù hợp để phát hiện nhanh chóng trong sản xuất hàng loạt.
Iii. Phương pháp tinh thể phẳng quang học
Phương pháp tinh thể phẳng quang học phù hợp để phát hiện các nền tảng diện tích nhỏ. Gắn chặt tinh thể phẳng quang học vào bề mặt cần kiểm tra trên nền tảng và quan sát các vân giao thoa hình thành giữa chúng dưới ánh sáng của nguồn sáng đơn sắc (chẳng hạn như đèn natri). Nếu các vân là các vân thẳng song song, điều đó cho thấy độ phẳng tốt. Nếu xuất hiện các vân cong, hãy tính toán sai số độ phẳng dựa trên độ cong của vân. Mỗi vân cong biểu thị chênh lệch độ cao là 0,316μm, và dữ liệu độ phẳng có thể được thu thập thông qua chuyển đổi đơn giản.
Bốn. Máy đo ba tọa độ Phương pháp kiểm tra
Máy đo ba tọa độ có thể đạt được độ chính xác cao trong không gian ba chiều. Đặt bệ đá granit lên bàn làm việc của máy đo và sử dụng đầu dò để thu thập dữ liệu đồng đều từ nhiều điểm đo trên bề mặt bệ. Hệ thống máy đo xử lý và phân tích dữ liệu này để tạo ra báo cáo độ phẳng của bệ. Phương pháp này không chỉ có thể phát hiện độ phẳng mà còn thu thập đồng thời các thông số hình học khác của bệ, phù hợp để phát hiện toàn diện các bệ đá granit lớn.
Việc nắm vững các phương pháp phát hiện này có thể giúp bạn đánh giá chính xác độ phẳng của nền tảng chính xác bằng đá granit và cung cấp sự đảm bảo đáng tin cậy cho hoạt động ổn định của thiết bị chính xác.
Thời gian đăng: 29-05-2025