Trong lĩnh vực sản xuất cao cấp và nghiên cứu khoa học tiên tiến, mô-đun chuyển động siêu chính xác của phao khí đã trở thành thiết bị chính cho hoạt động và đo lường tinh vi với hiệu suất chính xác tuyệt vời. Đế chính xác bằng đá granit, là lõi hỗ trợ, có yêu cầu nghiêm ngặt đối với môi trường làm việc và các điều kiện môi trường phù hợp là cơ sở để đảm bảo hiệu suất ổn định và hiệu quả tốt nhất.
Đầu tiên, kiểm soát nhiệt độ: "ổn định" chính xác
Mặc dù đá granit được biết đến với tính ổn định của nó, nhưng nó không hoàn toàn miễn nhiễm với những thay đổi về nhiệt độ. Mặc dù hệ số giãn nở nhiệt của nó thấp, thường là 5-7 ×10⁻⁶/℃, trong các tình huống điều khiển chuyển động cực kỳ chính xác, những biến động nhiệt độ nhỏ vẫn có thể gây ra những thay đổi về kích thước và ảnh hưởng đến độ chính xác của mô-đun. Trong xưởng sản xuất chip bán dẫn, quy trình quang khắc đòi hỏi độ chính xác định vị ở cấp độ danami và nhiệt độ môi trường dao động 1 ° C và đế đá granit có chiều dài cạnh 1 mét có thể tạo ra sự giãn nở hoặc co lại tuyến tính 5-7 micron. Sự thay đổi nhỏ này được truyền qua mô-đun chuyển động cực kỳ chính xác của phao khí, đủ để làm lệch mẫu quang khắc chip và làm giảm đáng kể năng suất. Do đó, được trang bị đế chính xác bằng đá granit của mô-đun chuyển động siêu chính xác nổi trên không, nhiệt độ môi trường làm việc lý tưởng phải được kiểm soát ở mức 20 ° C ± 1 ° C, với sự trợ giúp của thiết bị nhiệt độ không đổi có độ chính xác cao, chẳng hạn như hệ thống điều hòa không khí nhiệt độ và độ ẩm không đổi, liên tục theo dõi và điều chỉnh nhiệt độ môi trường, để đảm bảo rằng nhiệt độ dao động trong phạm vi rất nhỏ, duy trì sự ổn định của kích thước đế, để đảm bảo rằng mô-đun hoạt động có độ chính xác cao.
Thứ hai, quản lý độ ẩm: chìa khóa để bảo vệ chống ẩm "đá"
Độ ẩm là một yếu tố quan trọng khác ảnh hưởng đến hiệu suất của đế đá granit chính xác. Trong môi trường có độ ẩm cao, đá granit dễ hấp thụ hơi nước, có thể dẫn đến ngưng tụ trên bề mặt, không chỉ ảnh hưởng đến độ ổn định kết nối của đá granit và mô-đun chuyển động siêu chính xác của phao khí mà còn có thể gây xói mòn bề mặt và làm giảm độ bóng và độ chính xác trong thời gian dài. Trong xưởng mài thấu kính quang học, nếu độ ẩm cao hơn 60%RH trong thời gian dài, hơi nước hấp thụ trên bề mặt đế đá granit sẽ cản trở chuyển động của thanh trượt phao khí, do đó độ chính xác khi mài thấu kính bị giảm và bề mặt bị lỗi. Do đó, độ ẩm tương đối của môi trường làm việc phải được kiểm soát chặt chẽ trong khoảng 40% -60%RH, có thể theo dõi và điều chỉnh theo thời gian thực bằng cách lắp đặt máy hút ẩm, cảm biến độ ẩm và các thiết bị khác để tránh làm hỏng đế đá granit do độ ẩm cao và đảm bảo mô-đun chuyển động siêu chính xác của phao khí hoạt động trơn tru.
Thứ ba, đảm bảo vệ sinh: “người bảo vệ” sự chính xác
Tác hại của các hạt bụi đối với đế đá granit chính xác của mô-đun chuyển động siêu chính xác của phao khí không thể bị đánh giá thấp. Khi các hạt nhỏ xâm nhập vào khe hở màng khí giữa thanh trượt phao khí và đế đá granit, chúng có thể phá hủy tính đồng nhất của màng khí, tăng ma sát và thậm chí làm xước bề mặt đế, dẫn đến giảm độ chính xác chuyển động. Trong xưởng gia công siêu chính xác của các bộ phận hàng không vũ trụ, nếu các hạt bụi trong không khí rơi xuống đế đá granit, quỹ đạo chuyển động của dụng cụ gia công có thể bị lệch, ảnh hưởng đến độ chính xác gia công của các bộ phận. Do đó, khu vực làm việc phải được giữ sạch sẽ cao, đạt tiêu chuẩn sạch sẽ 10.000 hoặc thậm chí cao hơn, thông qua việc lắp đặt thiết bị lọc không khí, chẳng hạn như bộ lọc không khí hiệu suất cao (HEPA), lọc các hạt bụi trong không khí, đồng thời, nhân viên cần mặc quần áo không bụi, bao giày, v.v., để giảm bụi do con người mang đến. Duy trì môi trường hoạt động có độ chính xác cao của đế đá granit và mô-đun chuyển động siêu chính xác của phao khí.
Bốn, cách ly rung động: hoạt động trơn tru của "miếng đệm giảm xóc"
Rung động bên ngoài là kẻ thù của độ chính xác của mô-đun chuyển động siêu chính xác của phao khí. Mặc dù đế đá granit chính xác có khả năng giảm rung động nhất định, nhưng rung động cường độ cao vẫn có thể phá vỡ giới hạn đệm của nó. Rung động do giao thông xung quanh nhà máy và hoạt động của thiết bị cơ khí lớn được truyền đến đế đá granit qua mặt đất, điều này sẽ ảnh hưởng đến độ chính xác chuyển động của mô-đun chuyển động siêu chính xác của phao khí. Trong CMM cao cấp, rung động có thể khiến tiếp xúc giữa đầu dò đo và phôi cần đo không ổn định, dẫn đến độ lệch của dữ liệu đo. Để giải quyết vấn đề này, cần áp dụng các biện pháp cách ly rung động hiệu quả, chẳng hạn như đặt miếng đệm cách ly rung động trong khu vực lắp đặt thiết bị, xây dựng nền cách ly rung động hoặc sử dụng hệ thống cách ly rung động chủ động để chủ động bù đắp rung động bên ngoài và tạo ra môi trường làm việc yên tĩnh và ổn định cho đế đá granit chính xác và mô-đun chuyển động siêu chính xác của phao khí.
Chỉ bằng cách đáp ứng đầy đủ các yêu cầu về môi trường về nhiệt độ, độ ẩm, độ sạch và kiểm soát độ rung, đế chính xác bằng đá granit của mô-đun chuyển động siêu chính xác của phao khí mới có thể phát huy hết lợi thế về hiệu suất, cung cấp sự đảm bảo đáng tin cậy cho các hoạt động siêu chính xác trong nhiều lĩnh vực khác nhau và giúp ngành công nghiệp tiến tới trình độ sản xuất và nghiên cứu khoa học có độ chính xác cao hơn.
Thời gian đăng: 08-04-2025