Trong lĩnh vực tạo rãnh wafer bán dẫn, độ chính xác là yếu tố sống còn. Một đế đá granit bình thường có thể mang lại bước nhảy vọt về chất lượng hiệu suất của thiết bị tạo rãnh! Nó thực sự ẩn chứa những "siêu năng lực" gì? Tại sao người ta lại nói rằng chọn đúng đế đá granit đồng nghĩa với việc bạn đã thành công một nửa? Hôm nay, chúng tôi sẽ cùng bạn khám phá điều đó một cách chi tiết!
I. Độ bền vốn có: Ba "Ưu điểm vốn có" của đá Granite
Sức kháng cự của địa chấn ổn định như núi Thái Sơn
Đá granit có mật độ cao tới 2.800-3.100 kg/m³, cấu trúc đặc như một "pháo đài đá". Trong môi trường rung động tần số cao của rãnh wafer (thiết bị tạo rãnh hơn 100 lần mỗi phút), nó có thể hấp thụ hơn 90% năng lượng rung động, giống như trang bị cho thiết bị "công nghệ đen hấp thụ chấn động"! Dữ liệu đo lường từ một nhà máy sản xuất chip cho thấy sau khi sử dụng đế đá granit, biên độ dao động của đầu cắt rãnh đã giảm từ 15μm xuống còn 3μm, và các cạnh của rãnh vi mô được khắc nhẵn như gương.
2. "Thể chất chịu nhiệt" Không sợ chênh lệch nhiệt độ
Vật liệu thông thường "giãn nở và biến dạng" khi được nung nóng và "co lại và biến dạng" khi được làm mát, nhưng hệ số giãn nở nhiệt của đá granit chỉ thấp tới 4-8×10⁻⁶/℃, chỉ bằng 1/5 so với kim loại! Ngay cả khi nhiệt độ trong xưởng dao động mạnh 10℃ trong vòng 24 giờ, độ biến dạng của nó cũng nhỏ hơn 0,01mm và gần như có thể bỏ qua. Điều này có nghĩa là bất kể sự thay đổi ngày đêm hay hoạt động kéo dài và tỏa nhiệt của thiết bị, đế đá granit vẫn có thể giữ cho vị trí khe luôn "bất động".
3. Khả năng chống mài mòn không thể phá hủy
Độ cứng Mohs của đá granit đạt 6 đến 7, tương đương với đá thạch anh, và khả năng chống mài mòn của nó gấp ba lần thép thông thường! Dưới tác động ma sát tần số cao lâu dài của rãnh wafer, bề mặt đế gần như không bị mài mòn. Sau năm năm sử dụng đế granite của một xưởng đúc, độ phẳng vẫn được duy trì trong khoảng ±0,5μm/m khi kiểm tra, và độ chính xác của rãnh vẫn ổn định, giúp tiết kiệm đáng kể chi phí hiệu chuẩn và thay thế thiết bị.
Ii. Thích ứng chính xác: Đá granit đáp ứng các yêu cầu về rãnh khác nhau như thế nào?
Cảnh 1: Rãnh siêu mịn (rãnh siêu nhỏ dưới 10μm)
Yêu cầu: Độ phẳng tối đa
Ưu điểm của đá granite: Thông qua liên kết năm trục với độ chính xác cao, độ phẳng có thể được kiểm soát trong phạm vi ±0,5μm/m, nghĩa là trên chiều dài 1 mét, sai số chiều cao mỏng hơn 200 lần so với sợi tóc người! Đảm bảo khoảng cách giữa đầu cắt rãnh và wafer luôn chính xác, và sai số chiều rộng của các rãnh vi mô được khắc không vượt quá ±0,1μm.
Cảnh 2: Rãnh sản xuất hàng loạt tốc độ cao
Yêu cầu: Hiệu suất hấp thụ sốc siêu tốt
Ưu điểm của đá granite: Tính chất giảm chấn tự nhiên bên trong có thể nhanh chóng làm giảm độ rung của thiết bị. Sau khi một nhà máy sản xuất tấm ốp sử dụng đá granite làm đế, tốc độ tạo rãnh tăng 40%, năng suất tăng từ 85% lên 96%, đạt hiệu quả sản xuất và chất lượng gấp đôi!
Cảnh 3: Rãnh môi trường phức tạp (Nhiệt độ cao/ăn mòn)
Yêu cầu: Khả năng chịu nhiệt độ cao và chống ăn mòn
Ưu điểm của đá granit: Độ ổn định hóa học cực cao, chống ăn mòn axit và kiềm; Hệ số giãn nở nhiệt thấp, không bị biến dạng ngay cả khi gia công rãnh laser ở nhiệt độ cao cục bộ (150℃). Đá granit được sử dụng trong phòng thí nghiệm với dung dịch gia công rãnh ăn mòn đã được sử dụng liên tục trong ba năm, bề mặt đá vẫn còn nguyên vẹn.
Iii. Làm thế nào để chọn được đá granite "chất lượng cao chính hãng"?
Xem xét mật độ: Đá granit có mật độ ≥2800kg/m³ có cấu trúc chặt chẽ hơn.
Kiểm tra chứng nhận: Đảm bảo công nhận các chứng nhận có thẩm quyền như ISO 9001 và CNAS để đảm bảo chất lượng.
Dữ liệu xác minh: Nhà sản xuất phải cung cấp báo cáo thử nghiệm về hệ số giãn nở nhiệt (< 8×10⁻⁶/℃) và độ phẳng (±0,5μm/m).
Kiểm tra tại chỗ: Gõ nhẹ vào đế. Âm thanh rõ ràng cho thấy bên trong không có vết nứt. Nếu bề mặt cảm ứng nhẵn mịn như gương, điều đó cho thấy độ chính xác xử lý cao.
Kết luận: Chọn đúng loại đá granit và giành chiến thắng trong việc tạo rãnh!
Từ khả năng chống sốc, chịu nhiệt đến chống mài mòn, đế đá granit, với "vẻ đẹp tự nhiên" và "độ bền cao", đã trở thành đối tác vàng cho thiết bị tạo rãnh wafer. Trong kỷ nguyên sản xuất bán dẫn ngày nay, hướng đến độ chính xác ở cấp độ nano, đế đá granit chất lượng cao không chỉ là một khoản đầu tư vào thiết bị mà còn là sự đảm bảo lâu dài cho hiệu quả sản xuất và chất lượng sản phẩm!
Thời gian đăng: 17-06-2025