Trong lĩnh vực rãnh wafer bán dẫn, độ chính xác là yếu tố sống còn. Một đế đá granit không đáng chú ý có thể mang lại bước nhảy vọt về chất lượng trong hiệu suất của thiết bị rãnh! Nó thực sự ẩn chứa "siêu năng lực" nào? Tại sao người ta lại nói rằng chọn đúng đế đá granit có nghĩa là bạn đã thành công một nửa? Hôm nay, chúng tôi sẽ đưa bạn đi khám phá sâu hơn!
I. Sức mạnh vốn có: Ba "Ưu điểm vốn có" của đá Granite
Sức kháng cự của địa chấn ổn định như núi Thái Sơn
Đá granit có mật độ cao tới 2.800-3.100 kg/m³, cấu trúc của nó dày đặc như một "pháo đài đá". Trong môi trường rung động tần số cao của rãnh wafer (thiết bị rãnh hơn 100 lần mỗi phút), nó có thể hấp thụ hơn 90% năng lượng rung động, giống như trang bị cho thiết bị "công nghệ đen hấp thụ chấn động"! Dữ liệu đo được từ một nhà máy sản xuất chip nhất định cho thấy sau khi sử dụng đế đá granit, biên độ dao động của đầu cắt rãnh đã giảm từ 15μm xuống còn 3μm, và các cạnh của các rãnh siêu nhỏ được chạm khắc nhẵn như gương.
2. "Thể chất chịu nhiệt" Không sợ chênh lệch nhiệt độ
Vật liệu thông thường "giãn nở và biến dạng" khi được nung nóng và "co lại và biến dạng" khi được làm mát, nhưng hệ số giãn nở nhiệt của đá granit chỉ thấp tới 4-8×10⁻⁶/℃, chỉ bằng 1/5 so với kim loại! Ngay cả khi nhiệt độ trong xưởng dao động mạnh 10℃ trong vòng 24 giờ, độ biến dạng của nó cũng nhỏ hơn 0,01mm và hầu như có thể bỏ qua. Điều này có nghĩa là bất kể ngày đêm thay đổi hay thiết bị hoạt động và tỏa nhiệt kéo dài, đế đá granit có thể giữ cho vị trí khe "bất động" mọi lúc.
3. Khả năng chống mài mòn không thể phá hủy
Độ cứng Mohs của đá granit đạt 6 đến 7, tương đương với đá thạch anh, và khả năng chống mài mòn của nó gấp ba lần thép thông thường! Dưới ma sát tần số cao dài hạn của rãnh wafer, bề mặt đế hầu như không bị mài mòn. Sau khi một xưởng đúc nhất định sử dụng đế granit trong năm năm, độ phẳng vẫn được duy trì trong phạm vi ±0,5μm/m khi kiểm tra và độ chính xác của rãnh vẫn nhất quán, tiết kiệm được một lượng đáng kể chi phí hiệu chuẩn và thay thế thiết bị.
Ii. Thích ứng chính xác: Đá granit đáp ứng các yêu cầu về rãnh khác nhau như thế nào?
Cảnh 1: Rãnh siêu mịn (rãnh siêu nhỏ dưới 10μm)
Yêu cầu: Độ phẳng tối đa
Ưu điểm của đá granit: Thông qua quá trình gia công chính xác cao liên kết năm trục, độ phẳng có thể được kiểm soát trong phạm vi ±0,5μm/m, điều đó có nghĩa là trên chiều dài 1 mét, sai số chiều cao mỏng hơn 200 lần so với sợi tóc của con người! Đảm bảo khoảng cách giữa đầu cắt rãnh và wafer luôn chính xác và sai số chiều rộng của các rãnh vi mô được khắc không vượt quá ±0,1μm.
Cảnh 2: Rãnh sản xuất hàng loạt tốc độ cao
Yêu cầu: Hiệu suất hấp thụ sốc siêu tốt
Ưu điểm của đá granit: Tính chất giảm chấn tự nhiên bên trong có thể nhanh chóng làm giảm độ rung của thiết bị. Sau khi một nhà máy sản xuất tấm ốp sử dụng đế đá granit, tốc độ rãnh tăng 40%, tỷ lệ năng suất tăng từ 85% lên 96%, đạt được hiệu quả sản xuất và chất lượng gấp đôi!
Cảnh 3: Rãnh môi trường phức tạp (Nhiệt độ cao/ăn mòn)
Yêu cầu: Chịu nhiệt độ cao và chống ăn mòn
Ưu điểm của đá granit: Độ ổn định hóa học cực cao, chống ăn mòn axit và kiềm; Hệ số giãn nở nhiệt thấp, ngay cả khi gia công rãnh laser ở nhiệt độ cao cục bộ (150℃) cũng không bị biến dạng. Đá granit dùng trong phòng thí nghiệm có dung dịch gia công rãnh ăn mòn đã sử dụng liên tục trong ba năm, bề mặt đá vẫn còn nguyên vẹn.
Iii. Làm thế nào để chọn được đá granite "chất lượng cao chính hãng"?
Xem xét mật độ: Đá granit có mật độ ≥2800kg/m³ có cấu trúc chặt chẽ hơn.
Kiểm tra chứng nhận: Đảm bảo công nhận các chứng nhận có thẩm quyền như ISO 9001 và CNAS để đảm bảo chất lượng.
Dữ liệu xác minh: Nhà sản xuất phải cung cấp báo cáo thử nghiệm về hệ số giãn nở nhiệt (< 8×10⁻⁶/℃) và độ phẳng (±0,5μm/m).
Kiểm tra tại chỗ: Gõ vào đế. Âm thanh rõ ràng cho biết bên trong không có vết nứt. Nếu bề mặt cảm ứng nhẵn như gương, điều đó cho biết độ chính xác xử lý cao.
Kết luận: Chọn đúng loại đá granit và giành chiến thắng trong việc tạo rãnh!
Từ khả năng chống sốc, chịu nhiệt đến khả năng chống mài mòn, đế đá granit, với "vẻ đẹp tự nhiên" và "sức mạnh cứng rắn", đã trở thành đối tác vàng cho thiết bị tạo rãnh wafer. Trong kỷ nguyên sản xuất chất bán dẫn ngày nay theo đuổi độ chính xác ở cấp độ nano, đế đá granit chất lượng cao không chỉ là khoản đầu tư vào thiết bị mà còn là sự đảm bảo lâu dài cho hiệu quả sản xuất và chất lượng sản phẩm!
Thời gian đăng: 17-06-2025