Trong lĩnh vực gia công rãnh bán dẫn, độ chính xác là yếu tố sống còn. Một đế đá granit bình thường cũng có thể tạo ra bước nhảy vọt về chất lượng trong hiệu suất của thiết bị gia công rãnh! Vậy những "siêu năng lực" nào thực sự ẩn chứa bên trong nó? Tại sao người ta nói rằng chọn đúng đế đá granit đồng nghĩa với việc bạn đã thành công một nửa? Hôm nay, chúng ta sẽ cùng khám phá điều đó một cách chi tiết!
I. Độ bền vốn có: Ba "ưu điểm vốn có" của đá granit
Khả năng chống động đất ổn định như núi Thái Sơn.
Đá granit có mật độ cao tới 2.800-3.100 kg/m³, và cấu trúc của nó đặc chắc như một "pháo đài đá". Trong môi trường rung động tần số cao của quá trình tạo rãnh trên tấm bán dẫn (thiết bị tạo rãnh hơn 100 lần mỗi phút), nó có thể hấp thụ hơn 90% năng lượng rung động, giống như việc trang bị cho thiết bị "công nghệ giảm chấn"! Dữ liệu đo được từ một nhà máy sản xuất chip cho thấy rằng sau khi sử dụng đế đá granit, biên độ rung lắc của đầu cắt rãnh đã giảm từ 15μm xuống còn 3μm, và các cạnh của các rãnh siêu nhỏ được khắc mịn như gương.
2. "Thể chất chịu nhiệt" Không sợ sự chênh lệch nhiệt độ
Các vật liệu thông thường "giãn nở và biến dạng" khi bị nung nóng và "co lại và biến dạng" khi nguội đi, nhưng hệ số giãn nở nhiệt của đá granit chỉ thấp khoảng 4-8×10⁻⁶/℃, bằng 1/5 so với kim loại! Ngay cả khi nhiệt độ trong xưởng dao động mạnh 10℃ trong vòng 24 giờ, độ biến dạng của nó cũng nhỏ hơn 0,01mm và gần như có thể bỏ qua. Điều này có nghĩa là bất kể sự thay đổi ngày đêm hay hoạt động kéo dài và sự sinh nhiệt của thiết bị, đế đá granit vẫn có thể giữ vị trí rãnh "không dịch chuyển" mọi lúc.
3. Khả năng chống mài mòn không thể phá hủy
Độ cứng Mohs của đá granit đạt từ 6 đến 7, tương đương với đá thạch anh, và khả năng chống mài mòn gấp ba lần so với thép thông thường! Dưới tác động ma sát tần số cao lâu dài của quá trình tạo rãnh trên tấm bán dẫn, bề mặt đế hầu như không bị mài mòn. Sau khi một xưởng đúc sử dụng đế đá granit trong 5 năm, độ phẳng vẫn được duy trì trong phạm vi ±0,5μm/m khi kiểm tra, và độ chính xác của rãnh vẫn ổn định, tiết kiệm được một lượng đáng kể chi phí hiệu chuẩn và thay thế thiết bị.
II. Khả năng thích ứng chính xác: Đá Granite đáp ứng các yêu cầu tạo rãnh khác nhau như thế nào?
Cảnh 1: Rãnh siêu mịn (rãnh siêu nhỏ dưới 10μm)
Yêu cầu: Độ phẳng tuyệt đối
Ưu điểm của đá Granite: Nhờ gia công chính xác cao bằng hệ thống liên kết năm trục, độ phẳng có thể được kiểm soát trong phạm vi ±0,5μm/m, có nghĩa là trên chiều dài 1 mét, sai số chiều cao nhỏ hơn 200 lần so với sợi tóc người! Đảm bảo khoảng cách giữa đầu cắt rãnh và tấm wafer luôn chính xác, và sai số chiều rộng của các rãnh siêu nhỏ được khắc không vượt quá ±0,1μm.
Cảnh 2: Gia công rãnh hàng loạt tốc độ cao
Yêu cầu: Khả năng giảm xóc vượt trội
Ưu điểm của đá granit: Đặc tính giảm chấn tự nhiên bên trong của nó có thể nhanh chóng làm giảm rung động của thiết bị. Sau khi một nhà máy sản xuất tấm ván sử dụng đế bằng đá granit, tốc độ tạo rãnh tăng 40%, và tỷ lệ sản lượng tăng từ 85% lên 96%, đạt được hiệu quả kép về năng suất và chất lượng sản xuất!
Cảnh 3: Rãnh hóa trong môi trường phức tạp (Nhiệt độ cao/ăn mòn)
Yêu cầu: Khả năng chịu nhiệt độ cao và chống ăn mòn.
Ưu điểm của đá granit: Độ bền hóa học cực cao, chống ăn mòn axit và kiềm; Hệ số giãn nở nhiệt thấp và không bị biến dạng ngay cả ở nhiệt độ cao cục bộ (150℃) trong quá trình tạo rãnh bằng laser. Một đế đá granit được sử dụng trong một phòng thí nghiệm nhất định với dung dịch tạo rãnh ăn mòn đã được sử dụng liên tục trong ba năm, và bề mặt của đế vẫn còn nguyên vẹn.
III. Làm thế nào để chọn được loại đá granite "chất lượng cao thực sự"?
Hãy xem xét mật độ: Đá granit có mật độ ≥2800kg/m³ có cấu trúc đặc chắc hơn.
Kiểm tra chứng nhận: Hãy chắc chắn rằng bạn nhận biết được các chứng nhận có uy tín như ISO 9001 và CNAS để đảm bảo chất lượng.
Dữ liệu kiểm chứng: Nhà sản xuất phải cung cấp báo cáo thử nghiệm về hệ số giãn nở nhiệt (< 8×10⁻⁶/℃) và độ phẳng (±0,5μm/m).
Kiểm tra tại chỗ: Gõ vào đáy. Âm thanh rõ ràng cho thấy không có vết nứt bên trong. Nếu bề mặt cảm ứng nhẵn mịn như gương, điều đó cho thấy độ chính xác gia công cao.
Kết luận: Chọn đúng loại đá granite là bạn đã thắng một nửa trận chiến trong việc tạo rãnh!
Từ khả năng chống sốc, chịu nhiệt đến chống mài mòn, đế đá granit, với "vẻ đẹp tự nhiên" và "độ bền vượt trội", đã trở thành đối tác vàng cho thiết bị tạo rãnh trên tấm bán dẫn. Trong kỷ nguyên sản xuất bán dẫn hiện nay, khi mà độ chính xác được đặt ở cấp độ nano, một đế đá granit chất lượng cao không chỉ là một khoản đầu tư vào thiết bị mà còn là sự đảm bảo lâu dài cho hiệu quả sản xuất và chất lượng sản phẩm!
Thời gian đăng bài: 17/06/2025