Trong sản xuất chất bán dẫn, máy quang khắc là thiết bị quan trọng quyết định độ chính xác của chip và đế đá granit với nhiều đặc tính đã trở thành thành phần không thể thiếu của máy quang khắc.
Độ ổn định nhiệt: "Lá chắn" chống lại sự thay đổi nhiệt độ
Khi máy quang khắc hoạt động, nó sẽ sinh ra một lượng nhiệt lớn. Ngay cả khi nhiệt độ dao động chỉ 0,1℃ cũng có thể gây biến dạng các thành phần thiết bị và ảnh hưởng đến độ chính xác của quang khắc. Hệ số giãn nở nhiệt của đá granit cực kỳ thấp, chỉ 4-8 ×10⁻⁶/℃, chỉ bằng khoảng 1/3 so với thép và 1/5 so với hợp kim nhôm. Điều này cho phép đế đá granit duy trì được độ ổn định về kích thước khi máy quang khắc hoạt động trong thời gian dài hoặc khi nhiệt độ môi trường thay đổi, đảm bảo định vị chính xác các thành phần quang học và cấu trúc cơ học.
Hiệu suất chống rung siêu việt: "Miếng bọt biển" hấp thụ rung động
Trong nhà máy bán dẫn, hoạt động của các thiết bị xung quanh và chuyển động của con người đều có thể tạo ra rung động. Đá granit có mật độ cao và kết cấu cứng, có đặc tính giảm chấn tuyệt vời, với tỷ lệ giảm chấn gấp 2 đến 5 lần so với kim loại. Khi rung động bên ngoài truyền đến đế đá granit, ma sát giữa các tinh thể khoáng bên trong chuyển đổi năng lượng rung động thành năng lượng nhiệt để tiêu tán, có thể làm giảm đáng kể độ rung trong thời gian ngắn, cho phép máy quang khắc nhanh chóng khôi phục độ ổn định và tránh làm mờ hoặc lệch mẫu quang khắc do rung động.
Độ ổn định hóa học: "Người bảo vệ" của một môi trường sạch
Bên trong máy quang khắc tiếp xúc với nhiều môi trường hóa học khác nhau, và các vật liệu kim loại thông thường dễ bị ăn mòn hoặc giải phóng các hạt. Đá granit được tạo thành từ các khoáng chất như thạch anh và fenspat. Nó có tính chất hóa học ổn định và khả năng chống ăn mòn mạnh. Sau khi ngâm trong dung dịch axit và kiềm, sự ăn mòn bề mặt cực kỳ nhỏ. Trong khi đó, cấu trúc dày đặc của nó hầu như không tạo ra mảnh vụn hoặc bụi, đáp ứng các yêu cầu của các tiêu chuẩn phòng sạch cao nhất và giảm nguy cơ nhiễm bẩn wafer.
Khả năng thích ứng xử lý: "Vật liệu lý tưởng" để tạo ra các chuẩn mực chính xác
Các thành phần cốt lõi của máy quang khắc cần được lắp đặt trên bề mặt tham chiếu có độ chính xác cao. Cấu trúc bên trong của đá granit là đồng nhất và dễ dàng được xử lý với độ chính xác cực cao thông qua mài, đánh bóng và các kỹ thuật khác. Độ phẳng của nó có thể đạt ≤0,5μm/m và độ nhám bề mặt Ra là ≤0,05μm, cung cấp cơ sở lắp đặt chính xác cho các thành phần như thấu kính quang học.
Tuổi thọ cao và không cần bảo trì: "Công cụ sắc bén" để giảm chi phí
So với vật liệu kim loại dễ bị mỏi và nứt khi sử dụng lâu dài, đá granit hầu như không bị biến dạng dẻo hoặc gãy dưới tải trọng thông thường và không cần xử lý bề mặt, do đó tránh được nguy cơ bong tróc lớp phủ và ô nhiễm. Trong các ứng dụng thực tế, sau khi sử dụng trong nhiều năm, các chỉ số hiệu suất chính của đế đá granit vẫn có thể ổn định, giảm chi phí vận hành và bảo trì thiết bị.
Từ độ ổn định nhiệt, khả năng chống rung đến tính trơ về mặt hóa học, nhiều đặc tính của đế đá granit đáp ứng hoàn hảo các yêu cầu của máy quang khắc. Khi quy trình sản xuất chip tiếp tục phát triển theo hướng chính xác hơn, đế đá granit sẽ tiếp tục đóng vai trò không thể thay thế trong lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn.
Thời gian đăng: 20-05-2025