Trong xưởng sản xuất chất bán dẫn, yêu cầu về điều kiện môi trường và độ chính xác của thiết bị trong quy trình sản xuất chip là vô cùng khắt khe, và bất kỳ sai lệch nhỏ nào cũng có thể dẫn đến sự suy giảm đáng kể về năng suất chip. Nền tảng chuyển động khung giàn chính xác XYZT dựa trên các thành phần bằng đá granit để phối hợp với các bộ phận khác của nền tảng, tạo nên một nền tảng vững chắc nhằm đạt được độ chính xác ở cấp độ nano.
Khả năng chặn rung động tuyệt vời
Trong xưởng sản xuất chất bán dẫn, hoạt động của các thiết bị ngoại vi và việc đi lại của nhân viên có thể gây ra rung động. Cấu trúc bên trong của các bộ phận bằng đá granit rất đặc và đồng nhất, có đặc tính giảm chấn cao tự nhiên, giống như một "rào chắn" rung động hiệu quả. Khi rung động bên ngoài truyền đến bệ XYZT, bộ phận đá granit có thể làm giảm hiệu quả hơn 80% năng lượng rung động và giảm sự ảnh hưởng của rung động đến độ chính xác chuyển động của bệ. Đồng thời, bệ được trang bị hệ thống dẫn hướng phao khí độ chính xác cao, hoạt động cùng với các bộ phận đá granit. Hệ thống dẫn hướng phao khí sử dụng màng khí ổn định được hình thành bởi khí áp suất cao để thực hiện chuyển động treo không tiếp xúc của các bộ phận chuyển động của bệ và giảm rung động nhỏ do ma sát cơ học gây ra. Cả hai cùng nhau đảm bảo rằng độ chính xác định vị của bệ luôn được duy trì ở mức nanomet trong các quy trình quan trọng như quang khắc và khắc chip, và tránh sự sai lệch của các mẫu mạch chip do rung động gây ra.
Độ ổn định nhiệt tuyệt vời
Sự biến động về nhiệt độ và độ ẩm trong xưởng có ảnh hưởng lớn đến độ chính xác của thiết bị sản xuất chip. Hệ số giãn nở nhiệt của đá granit rất thấp, thường nằm trong khoảng 5-7 ×10⁻⁶/℃, kích thước hầu như không thay đổi khi nhiệt độ thay đổi. Ngay cả khi sự chênh lệch nhiệt độ giữa ngày và đêm trong xưởng hoặc nhiệt lượng sinh ra từ thiết bị làm cho nhiệt độ môi trường dao động, các bộ phận bằng đá granit vẫn có thể duy trì ổn định để ngăn ngừa sự biến dạng của bệ do giãn nở và co lại nhiệt. Đồng thời, hệ thống điều khiển nhiệt độ thông minh được trang bị trên bệ sẽ giám sát nhiệt độ môi trường theo thời gian thực, tự động điều chỉnh thiết bị điều hòa không khí và tản nhiệt, duy trì nhiệt độ xưởng ở mức 20°C ±1°C. Kết hợp với ưu điểm về độ ổn định nhiệt của đá granit, đảm bảo rằng trong quá trình vận hành lâu dài, độ chính xác chuyển động của mỗi trục luôn đáp ứng các tiêu chuẩn độ chính xác nanomet trong sản xuất chip, đảm bảo kích thước mẫu khắc quang học trên chip chính xác, độ sâu khắc đồng đều.
Đáp ứng nhu cầu về môi trường sạch
Xưởng sản xuất chất bán dẫn cần duy trì độ sạch cao để ngăn ngừa bụi bẩn làm ô nhiễm chip. Bản thân vật liệu đá granit không tạo ra bụi, bề mặt nhẵn mịn, khó hấp thụ bụi. Toàn bộ bệ đỡ được thiết kế cấu trúc kín hoàn toàn hoặc bán kín để giảm thiểu sự xâm nhập của bụi từ bên ngoài. Hệ thống tuần hoàn không khí bên trong được kết nối với hệ thống điều hòa không khí sạch của xưởng để đảm bảo độ sạch của không khí bên trong đạt mức yêu cầu của sản xuất chip. Trong môi trường sạch này, các bộ phận bằng đá granit sẽ không bị ảnh hưởng hiệu suất do ăn mòn bụi, và các bộ phận quan trọng như cảm biến và động cơ độ chính xác cao của bệ đỡ cũng có thể hoạt động ổn định, cung cấp sự đảm bảo độ chính xác nano liên tục và đáng tin cậy cho sản xuất chip, giúp ngành công nghiệp bán dẫn tiến lên một cấp độ quy trình cao hơn.
Thời gian đăng bài: 14/04/2025