Trong xưởng sản xuất bán dẫn, các yêu cầu của quy trình sản xuất chip về điều kiện môi trường và độ chính xác của thiết bị là rất khắt khe, và bất kỳ sai lệch nhỏ nào cũng có thể dẫn đến giảm đáng kể năng suất chip. Nền tảng di chuyển cổng trục chính xác XYZT dựa trên các thành phần đá granit để phối hợp với các bộ phận khác của nền tảng, tạo nên nền tảng vững chắc cho việc đạt được độ chính xác ở cấp độ nano.
Tính chất chặn rung động tuyệt vời
Trong xưởng sản xuất bán dẫn, hoạt động của thiết bị ngoại vi và nhân viên đi lại xung quanh có thể gây ra rung động. Cấu trúc bên trong của các thành phần đá granit dày đặc và đồng nhất, với đặc tính giảm chấn tự nhiên cao, giống như một "hàng rào" rung động hiệu quả. Khi rung động bên ngoài truyền đến bệ XYZT, thành phần đá granit có thể làm giảm hiệu quả hơn 80% năng lượng rung động và giảm thiểu ảnh hưởng của rung động đến độ chính xác chuyển động của bệ. Đồng thời, bệ được trang bị hệ thống dẫn hướng phao khí có độ chính xác cao, hoạt động kết hợp với các thành phần đá granit. Hệ thống dẫn hướng phao khí sử dụng màng khí ổn định được tạo thành từ khí áp suất cao để thực hiện chuyển động treo không tiếp xúc của các bộ phận chuyển động trên bệ và giảm rung động nhỏ do ma sát cơ học gây ra. Cả hai yếu tố này cùng nhau đảm bảo độ chính xác định vị của bệ luôn được duy trì ở cấp độ nanomet trong các quy trình quan trọng như in thạch bản và khắc chip, đồng thời tránh hiện tượng lệch mạch chip do rung động gây ra.
Độ ổn định nhiệt tuyệt vời
Biến động nhiệt độ và độ ẩm trong xưởng có ảnh hưởng lớn đến độ chính xác của thiết bị sản xuất chip. Hệ số giãn nở nhiệt của đá granit rất thấp, thường ở mức 5-7 ×10⁻⁶/℃, kích thước hầu như không thay đổi khi nhiệt độ thay đổi. Ngay cả khi chênh lệch nhiệt độ giữa ngày và đêm trong xưởng hoặc sản lượng nhiệt của thiết bị khiến nhiệt độ môi trường dao động, các thành phần đá granit vẫn có thể ổn định để ngăn ngừa biến dạng của bệ do giãn nở và co lại vì nhiệt. Đồng thời, hệ thống kiểm soát nhiệt độ thông minh được trang bị trên bệ theo dõi nhiệt độ môi trường theo thời gian thực, tự động điều chỉnh thiết bị điều hòa không khí và tản nhiệt, duy trì nhiệt độ xưởng ở mức 20 ° C ± 1 ° C. Kết hợp với ưu điểm về độ ổn định nhiệt của đá granit, đảm bảo bệ trong quá trình vận hành lâu dài, độ chính xác chuyển động của từng trục luôn đáp ứng các tiêu chuẩn độ chính xác nanomet sản xuất chip, để đảm bảo kích thước mẫu in thạch bản chip chính xác, độ sâu khắc đồng đều.
Đáp ứng nhu cầu về môi trường sạch
Xưởng sản xuất chất bán dẫn cần duy trì độ sạch cao để ngăn ngừa các hạt bụi làm nhiễm bẩn chip. Bản thân vật liệu đá granit không tạo ra bụi, bề mặt nhẵn, không dễ bám bụi. Toàn bộ nền tảng áp dụng thiết kế cấu trúc hoàn toàn kín hoặc bán kín để giảm thiểu sự xâm nhập của bụi bên ngoài. Hệ thống lưu thông không khí bên trong được kết nối với hệ thống điều hòa không khí sạch của xưởng để đảm bảo độ sạch của không khí bên trong đạt đến mức yêu cầu của quá trình sản xuất chip. Trong môi trường sạch này, các thành phần đá granit sẽ không bị ảnh hưởng bởi sự ăn mòn của bụi, và các thành phần chính như cảm biến và động cơ có độ chính xác cao của nền tảng cũng có thể hoạt động ổn định, cung cấp sự đảm bảo độ chính xác ở cấp độ nano liên tục và đáng tin cậy cho quá trình sản xuất chip, đồng thời giúp ngành công nghiệp bán dẫn tiến lên một cấp độ quy trình cao hơn.
Thời gian đăng: 14-04-2025