Trong thế giới sản xuất chất bán dẫn chính xác, kiểm tra không phá hủy wafer là một mắt xích quan trọng để đảm bảo chất lượng chip. Nền đá granit tưởng chừng như không đáng kể thực chất lại là "người hùng thầm lặng" quyết định độ chính xác của việc phát hiện. Vậy rốt cuộc nó ảnh hưởng đến kết quả kiểm tra như thế nào? Bài viết này sẽ phân tích sâu sắc từ các khía cạnh như đặc tính vật liệu và thiết kế cấu trúc.
1. Nền móng vững chắc: Những lợi thế tự nhiên của đá granit tạo nên nền tảng vững chắc cho độ chính xác
1. Hiệu suất địa chấn tuyệt vời
Trong quá trình vận hành thiết bị kiểm tra không phá hủy wafer, chuyển động quay của động cơ và chuyển động của các thành phần cơ khí đều tạo ra rung động. Nếu những rung động này không được triệt tiêu hiệu quả, chúng sẽ ảnh hưởng nghiêm trọng đến độ chính xác của phép thử. Bên trong đá granit được đan xen chặt chẽ với các tinh thể khoáng chất như thạch anh và fenspat. Cấu trúc độc đáo của nó mang lại khả năng hấp thụ rung động tự nhiên, có thể hấp thụ hơn 90% năng lượng rung động của thiết bị. Dữ liệu đo lường thực tế của một nhà sản xuất bán dẫn cho thấy sau khi sử dụng đế đá granit, biên độ rung động của thiết bị phát hiện đã giảm từ 12μm xuống còn 2μm, giúp tránh hiệu quả độ lệch tín hiệu phát hiện do rung động gây ra.
2. Hệ số giãn nở nhiệt cực thấp
Trong quá trình phát hiện, các yếu tố như nhiệt độ thiết bị và thay đổi nhiệt độ môi trường đều ảnh hưởng đến độ ổn định của đế máy. Vật liệu thông thường sẽ giãn nở đáng kể khi bị nung nóng, nhưng hệ số giãn nở nhiệt của đá granit chỉ bằng 1/5 so với thép. Ngay cả khi nhiệt độ môi trường dao động 10℃, biến dạng của nó vẫn có thể được bỏ qua. Điều này cho phép đế đá granit cung cấp một bệ tham chiếu ổn định cho thiết bị kiểm tra, đảm bảo vị trí tương đối giữa đầu dò kiểm tra và wafer luôn chính xác và tránh các lỗi kiểm tra do biến dạng nhiệt.
Thứ hai, thiết kế chính xác: Tối ưu hóa cấu trúc nâng cao hơn nữa độ tin cậy của việc phát hiện
Đảm bảo độ chính xác cao và độ phẳng
Đế đá granit chất lượng cao được gia công bằng công nghệ CNC liên kết năm trục tiên tiến, với độ phẳng ±0,5μm/m, cung cấp tham chiếu lắp đặt siêu phẳng cho thiết bị kiểm tra. Trong kiểm tra wafer, độ thẳng đứng và độ cân bằng của đầu dò kiểm tra là yếu tố quan trọng quyết định kết quả kiểm tra. Đế đá granit có độ chính xác cao có thể đảm bảo định vị chính xác của đầu dò, giúp dữ liệu kiểm tra chính xác và đáng tin cậy hơn.
2. Thích ứng cấu trúc tùy chỉnh
Đế máy bằng đá granit có thể được tùy chỉnh cho các thiết bị kiểm tra không phá hủy wafer và các yêu cầu quy trình khác nhau. Ví dụ, để đáp ứng các yêu cầu về phản xạ ánh sáng của thiết bị kiểm tra quang học, bề mặt đế máy có thể được xử lý đặc biệt; để đáp ứng các yêu cầu lắp đặt của thiết bị kiểm tra siêu âm, đế máy có thể được chế tạo sẵn với các lỗ lắp đặt và máng cáp chính xác, cho phép lắp đặt thiết bị nhanh chóng và chính xác, đồng thời giảm thiểu sai lệch phát hiện do lỗi lắp đặt.
Iii. Ổn định lâu dài: Giảm thiểu mất độ chính xác do bảo trì thiết bị
Đá granit có độ cứng cao và khả năng chống mài mòn mạnh, với độ cứng Mohs từ 6 đến 7, gấp ba lần khả năng chống mài mòn của thép thông thường. Trong quá trình kiểm tra dài hạn, bề mặt đế máy không dễ bị mài mòn và luôn duy trì độ chính xác tốt. Ngược lại, đế máy làm bằng vật liệu khác có thể gây ra thay đổi tham chiếu lắp đặt thiết bị do hao mòn, ảnh hưởng đến độ chính xác phát hiện và cần hiệu chuẩn, bảo trì thường xuyên. Tuổi thọ cao và độ ổn định cao của đế đá granit giúp giảm hiệu quả tần suất bảo trì thiết bị và giảm nguy cơ mất độ chính xác trong quá trình bảo trì.
Từ khả năng chống sốc, chịu nhiệt đến thiết kế chính xác, mọi đặc điểm của đế đá granit đều đảm bảo độ chính xác của thử nghiệm không phá hủy wafer. Trong kỷ nguyên sản xuất bán dẫn ngày nay, nơi luôn theo đuổi độ chính xác tối ưu, việc lựa chọn đế đá granit chất lượng cao giống như thêm một lớp bảo hiểm vững chắc cho độ chính xác và độ tin cậy của kết quả thử nghiệm.
Thời gian đăng: 18-06-2025