Trong thế giới chính xác của sản xuất chất bán dẫn, thử nghiệm không phá hủy các tấm wafer là mắt xích quan trọng để đảm bảo chất lượng chip. Phần đế granit có vẻ không đáng kể thực chất là "người hùng thầm lặng" quyết định độ chính xác của quá trình phát hiện. Nó ảnh hưởng đến kết quả thử nghiệm như thế nào? Bài viết này sẽ tiến hành phân tích chuyên sâu từ các khía cạnh như đặc tính vật liệu và thiết kế cấu trúc.
1. Nền móng vững chắc: Những lợi thế tự nhiên của đá granit tạo nên nền tảng vững chắc cho độ chính xác
1. Hiệu suất địa chấn tuyệt vời
Trong quá trình vận hành thiết bị kiểm tra không phá hủy wafer, chuyển động quay của động cơ và chuyển động của các thành phần cơ học đều sẽ tạo ra rung động. Nếu những rung động này không được ngăn chặn hiệu quả, chúng sẽ ảnh hưởng nghiêm trọng đến độ chính xác của thử nghiệm. Bên trong đá granit được đan xen chặt chẽ với các tinh thể khoáng như thạch anh và fenspat. Cấu trúc độc đáo của nó mang lại cho nó khả năng hấp thụ rung động tự nhiên, có khả năng hấp thụ hơn 90% năng lượng rung động của thiết bị. Dữ liệu đo lường thực tế của một nhà sản xuất chất bán dẫn nhất định cho thấy sau khi sử dụng đế đá granit, biên độ rung động của thiết bị phát hiện đã giảm từ 12μm xuống 2μm, tránh hiệu quả độ lệch của tín hiệu phát hiện do rung động gây ra.
2. Hệ số giãn nở nhiệt cực thấp
Trong quá trình phát hiện, các yếu tố như nhiệt độ thiết bị và thay đổi nhiệt độ môi trường đều sẽ ảnh hưởng đến độ ổn định của đế máy. Các vật liệu thông thường sẽ giãn nở đáng kể khi được gia nhiệt, nhưng hệ số giãn nở nhiệt của đá granit chỉ bằng 1/5 so với thép. Ngay cả khi nhiệt độ môi trường dao động 10℃, biến dạng của nó vẫn có thể được bỏ qua. Điều này cho phép đế đá granit cung cấp một nền tảng tham chiếu ổn định cho thiết bị kiểm tra, đảm bảo rằng vị trí tương đối giữa đầu dò kiểm tra và wafer luôn chính xác và tránh các lỗi kiểm tra do biến dạng nhiệt gây ra.
Thứ hai, thiết kế chính xác: Tối ưu hóa cấu trúc nâng cao hơn nữa độ tin cậy của phát hiện
Đảm bảo độ chính xác cao và độ phẳng
Đế đá granit chất lượng cao được xử lý bằng công nghệ CNC liên kết năm trục tiên tiến, với độ phẳng ±0,5μm/m, cung cấp tham chiếu lắp đặt cực kỳ phẳng cho thiết bị kiểm tra. Trong quá trình kiểm tra wafer, độ thẳng đứng và độ phẳng của đầu dò kiểm tra rất quan trọng đối với kết quả kiểm tra. Đế đá granit có độ chính xác cao có thể đảm bảo định vị chính xác của đầu dò, giúp dữ liệu kiểm tra chính xác và đáng tin cậy hơn.
2. Thích ứng cấu trúc tùy chỉnh
Đế máy bằng đá granit có thể được tùy chỉnh cho các thiết bị kiểm tra không phá hủy wafer khác nhau và các yêu cầu về quy trình. Ví dụ, để đáp ứng các yêu cầu của thiết bị kiểm tra quang học về phản xạ ánh sáng, bề mặt đế máy có thể được xử lý đặc biệt; Để đáp ứng các yêu cầu lắp đặt của thiết bị kiểm tra siêu âm, đế có thể được chế tạo sẵn với các lỗ lắp đặt chính xác và khay cáp, cho phép lắp đặt thiết bị nhanh chóng và chính xác và giảm độ lệch phát hiện do lỗi lắp đặt.
Iii. Ổn định lâu dài: Giảm thiểu mất độ chính xác do bảo trì thiết bị
Đá granit có độ cứng cao và khả năng chống mài mòn mạnh, với độ cứng Mohs từ 6 đến 7, gấp ba lần khả năng chống mài mòn của thép thông thường. Trong quá trình kiểm tra dài hạn, bề mặt đế máy không dễ bị mài mòn và luôn có thể duy trì trạng thái chính xác tốt. Ngược lại, đế làm bằng vật liệu khác có thể gây ra những thay đổi trong tham chiếu lắp đặt của thiết bị do hao mòn, do đó ảnh hưởng đến độ chính xác phát hiện và đòi hỏi phải hiệu chuẩn và bảo trì thường xuyên. Tuổi thọ dài và độ ổn định cao của đế đá granit giúp giảm hiệu quả tần suất bảo trì thiết bị và giảm nguy cơ mất độ chính xác có thể xảy ra trong quá trình bảo trì.
Từ khả năng chống sốc, khả năng chịu nhiệt đến thiết kế chính xác, mọi tính năng của đế đá granit đều bảo vệ độ chính xác của thử nghiệm không phá hủy các tấm wafer. Trong kỷ nguyên sản xuất chất bán dẫn ngày nay theo đuổi độ chính xác tối ưu, việc lựa chọn đế đá granit chất lượng cao giống như thêm một lớp bảo hiểm vững chắc cho độ chính xác và độ tin cậy của kết quả thử nghiệm.
Thời gian đăng: 18-06-2025