Trong lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn, độ chính xác dưới micromet là chìa khóa để đảm bảo hiệu năng của chip, và đế bằng đá granit (ZHHIMG®), với các đặc tính vật liệu, quy trình gia công chính xác và thiết kế tiên tiến, đã trở thành yếu tố đảm bảo cốt lõi để đạt được độ chính xác này.
Xét về tính chất vật liệu, đá granit đen được ZHHIMG® lựa chọn có mật độ khoảng 3100kg/m³, với cấu trúc bên trong đặc chắc. Mật độ cao này mang lại cho nó độ ổn định và độ cứng vượt trội. Trong quá trình vận hành thiết bị bán dẫn, sự quay của động cơ và chuyển động của các bộ phận cơ khí bên trong thiết bị sẽ tạo ra rung động. Đế đá granit có thể hấp thụ hiệu quả hơn 90% năng lượng rung động, giảm đáng kể tác động của rung động đến độ chính xác của thiết bị. Đồng thời, hệ số giãn nở nhiệt cực thấp của nó cho phép nó giữ được độ biến dạng trong phạm vi rất nhỏ khi nhiệt độ môi trường dao động, cung cấp nền tảng hỗ trợ ổn định cho thiết bị bán dẫn và ngăn ngừa sự dịch chuyển của các bộ phận thiết bị do thay đổi nhiệt độ, điều này có thể ảnh hưởng đến độ chính xác.
Về khâu gia công và sản xuất, nhà máy ZHHIMG® sử dụng thiết bị gia công tiên tiến quốc tế và sở hữu bốn máy mài siêu lớn (mỗi máy có giá trên 500.000 USD), có khả năng mài chính xác cao trên đá granit. Thông qua gia công CNC liên kết năm trục và các quy trình khác, độ phẳng của đế máy có thể đạt đến mức nanomet, cung cấp bề mặt tham chiếu siêu phẳng cho việc lắp đặt thiết bị bán dẫn và đảm bảo định vị chính xác từng linh kiện của thiết bị. Hơn nữa, xưởng gia công có nhiệt độ và độ ẩm ổn định (diện tích 10.000 mét vuông) cung cấp môi trường ổn định cho quá trình gia công. Các rãnh chống rung rộng 500mm và sâu 2000mm xung quanh, cũng như cần cẩu giảm tiếng ồn, giúp cách ly hiệu quả sự nhiễu rung từ bên ngoài và đảm bảo độ chính xác gia công của đế máy.
Ngoài ra, ZHHIMG® còn có khả năng tùy chỉnh mạnh mẽ. Đối với các yêu cầu đặc biệt của thiết bị bán dẫn, các lỗ lắp đặt chính xác và máng cáp có thể được chế tạo sẵn để đạt được sự tương thích hoàn hảo giữa thiết bị và đế. Đồng thời, kết hợp với các thiết bị đo lường và kiểm tra hàng đầu thế giới như thước đo phút Mahr của Đức (với độ chính xác 0,5µm) và thước đo độ nghiêng điện tử WYLER của Thụy Sĩ, đế máy được kiểm tra và hiệu chuẩn nghiêm ngặt để đảm bảo mỗi đế máy đáp ứng được các yêu cầu khắt khe của thiết bị bán dẫn về độ chính xác ở mức dưới micromet.
Chính sự kết hợp của những ưu điểm này đã làm cho đế đá granit ZHHIMG® trở thành lựa chọn đáng tin cậy để đạt được độ chính xác dưới micromet trong thiết bị bán dẫn, giúp ngành sản xuất bán dẫn tiến tới các lĩnh vực đòi hỏi độ chính xác cao hơn.
Thời gian đăng bài: 18/06/2025