Trong lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn, độ chính xác dưới micron là chìa khóa để đảm bảo hiệu suất chip và đế đá granit (ZHHIMG®), với các đặc tính vật liệu, quy trình xử lý chính xác và thiết kế sáng tạo, đã trở thành đảm bảo cốt lõi để đạt được độ chính xác này.
Xét về đặc tính vật liệu, đá granit đen do ZHHIMG® lựa chọn có mật độ khoảng 3100kg/m³, với cấu trúc bên trong đặc chắc. Mật độ cao này mang lại cho đá granit đen độ ổn định và độ cứng vượt trội. Trong quá trình vận hành thiết bị bán dẫn, chuyển động quay của động cơ và chuyển động của các bộ phận cơ khí bên trong thiết bị sẽ tạo ra rung động. Đế đá granit có thể hấp thụ hiệu quả hơn 90% năng lượng rung động, giảm đáng kể tác động của rung động đến độ chính xác của thiết bị. Đồng thời, hệ số giãn nở nhiệt cực thấp của đá granit đen giúp duy trì biến dạng trong phạm vi rất nhỏ khi nhiệt độ môi trường thay đổi, tạo nền tảng hỗ trợ ổn định cho thiết bị bán dẫn và ngăn ngừa sự dịch chuyển các bộ phận thiết bị do thay đổi nhiệt độ, điều này có thể ảnh hưởng đến độ chính xác.
Về mặt gia công và sản xuất, nhà máy ZHHIMG® áp dụng thiết bị gia công tiên tiến quốc tế và có bốn máy mài siêu lớn (mỗi máy có giá hơn 500.000 đô la Mỹ), có thể thực hiện mài chính xác cao trên đá granit. Thông qua gia công CNC liên kết năm trục và các quy trình khác, độ phẳng của đế máy có thể đạt đến cấp độ nanomet, cung cấp bề mặt tham chiếu siêu phẳng để lắp đặt thiết bị bán dẫn và đảm bảo định vị chính xác từng thành phần của thiết bị. Hơn nữa, xưởng có nhiệt độ và độ ẩm không đổi (có diện tích 10.000 mét vuông) cung cấp môi trường ổn định cho quá trình gia công. Các rãnh chống rung rộng 500mm và sâu 2000mm xung quanh nó, cũng như các cần cẩu im lặng, cách ly hiệu quả nhiễu rung bên ngoài và đảm bảo độ chính xác gia công của đế máy.
Ngoài ra, ZHHIMG® còn có khả năng tùy chỉnh mạnh mẽ. Đối với các yêu cầu đặc biệt của thiết bị bán dẫn, các lỗ lắp đặt và máng cáp chính xác có thể được chế tạo sẵn để đạt được sự tương thích hoàn hảo giữa thiết bị và đế. Đồng thời, kết hợp với các thiết bị đo lường và kiểm tra hàng đầu thế giới như đồng hồ đo phút Mahr của Đức (độ chính xác 0,5 um) và cân điện tử WYLER của Thụy Sĩ, đế máy được kiểm tra và hiệu chuẩn nghiêm ngặt để đảm bảo mỗi đế máy có thể đáp ứng các yêu cầu khắt khe của thiết bị bán dẫn về độ chính xác dưới micron.
Chính sự kết hợp của những ưu điểm này khiến cho đế đá granit ZHHIMG® trở thành lựa chọn đáng tin cậy để đạt được độ chính xác dưới micron trong thiết bị bán dẫn, giúp ngành sản xuất bán dẫn tiến tới các lĩnh vực có độ chính xác cao hơn.
Thời gian đăng: 18-06-2025