ITrong ngành sản xuất chất bán dẫn, độ chính xác của thiết bị kiểm tra wafer rất quan trọng để đảm bảo chất lượng của mạch tích hợp. Các đế máy granit có độ chính xác cao, như đế do ZHHIMG® cung cấp, đóng vai trò quan trọng trong việc nâng cao hiệu suất của các thiết bị như vậy. Sau đây là cách chúng tạo nên sự khác biệt.
Độ ổn định kích thước đặc biệt: Đá granit có hệ số giãn nở nhiệt cực thấp, khoảng (4–8)×10⁻⁶/℃, thấp hơn đáng kể so với nhiều kim loại khác. Trong môi trường được kiểm soát chặt chẽ của các nhà máy bán dẫn, nơi mà ngay cả những biến động nhiệt độ nhỏ cũng có thể gây ra lỗi đo lường, đế máy bằng đá granit vẫn ổn định. Độ ổn định này đảm bảo rằng vị trí của các thành phần trong thiết bị kiểm tra wafer vẫn chính xác, ngăn ngừa mọi sai lệch do nhiệt có thể ảnh hưởng đến độ chính xác của kết quả kiểm tra.
Giảm chấn động vượt trộiSàn sản xuất thường chứa đầy rung động từ nhiều nguồn khác nhau. Các đặc tính giảm chấn vốn có của đá granit, với tỷ lệ giảm chấn là 0,05–0,1, có thể hấp thụ và phân tán hiệu quả các rung động này. Đối với wafer insp
Trong quá trình này, đòi hỏi hình ảnh có độ phân giải cao và các phép đo cảm biến chính xác, việc giảm rung động do đế đá granit mang lại là vô giá. Nó giảm thiểu sự can thiệp có thể làm mờ hình ảnh hoặc làm méo dữ liệu cảm biến, cho phép thiết bị thu thập thông tin rõ ràng và chính xác về bề mặt và cấu trúc bên trong của wafer.
Độ cứng và khả năng chống mài mòn caoVới mật độ khoảng 3100 kg/m³, đế máy bằng đá granit của ZHHIMG® có độ cứng đáng kể. Chúng có thể hỗ trợ các thành phần nặng của thiết bị kiểm tra wafer mà không bị biến dạng, duy trì sự liên kết của các hệ thống quang học và cơ học. Ngoài ra, độ cứng cao của đá granit (thang Mohs 6–7) và khả năng chống mài mòn tuyệt vời đảm bảo bề mặt đế máy luôn phẳng và mịn theo thời gian. Sự nhất quán này rất cần thiết cho độ chính xác lâu dài, vì bất kỳ sự mài mòn hoặc biến dạng nào trên đế đều có thể làm giảm dần độ chính xác của thiết bị.
Tính trơ về mặt hóa họcSản xuất chất bán dẫn liên quan đến việc tiếp xúc với nhiều loại hóa chất khác nhau. Tính trơ về mặt hóa học của đá granit giúp nó chống lại sự ăn mòn từ các chất này. Tính chất này bảo vệ tính toàn vẹn của đế máy, ngăn ngừa hư hỏng do hóa chất gây ra có thể ảnh hưởng đến độ ổn định và độ chính xác của thiết bị kiểm tra.
Tóm lại, đế máy granit có độ chính xác cao không chỉ là một thành phần mà còn là yếu tố then chốt giúp đạt được các yêu cầu về độ chính xác cao của thiết bị kiểm tra wafer. Khi lựa chọn đế máy granit, hãy chọn những nhà cung cấp đáng tin cậy như ZHHIMG®. Với nhiều chứng nhận và cam kết về chất lượng, ZHHIMG® đảm bảo rằng mọi đế máy granit đều mang lại độ tin cậy và hiệu suất cần thiết cho sản xuất chất bán dẫn tiên tiến.
Thời gian đăng: 03-06-2025