ITrong ngành sản xuất bán dẫn, độ chính xác của thiết bị kiểm tra wafer đóng vai trò then chốt trong việc đảm bảo chất lượng của mạch tích hợp. Các đế máy granite có độ chính xác cao, chẳng hạn như đế do ZHHIMG® cung cấp, đóng vai trò quan trọng trong việc nâng cao hiệu suất của các thiết bị này. Dưới đây là cách chúng tạo nên sự khác biệt.
Độ ổn định kích thước vượt trội: Đá granit tự hào có hệ số giãn nở nhiệt cực thấp, khoảng (4–8)×10⁻⁶/℃, thấp hơn đáng kể so với nhiều kim loại khác. Trong môi trường được kiểm soát chặt chẽ của các nhà máy bán dẫn, nơi ngay cả những biến động nhiệt độ nhỏ cũng có thể gây ra sai số đo lường, đế máy bằng đá granit vẫn giữ được độ ổn định. Độ ổn định này đảm bảo vị trí của các linh kiện trong thiết bị kiểm tra wafer luôn chính xác, ngăn ngừa mọi sai lệch do nhiệt có thể ảnh hưởng đến độ chính xác của kết quả kiểm tra.
Khả năng giảm chấn vượt trội: Sàn sản xuất thường chịu tác động rung động từ nhiều nguồn khác nhau. Khả năng giảm chấn vốn có của đá granite, với tỷ lệ giảm chấn từ 0,05–0,1, giúp hấp thụ và phân tán hiệu quả các rung động này. Dùng để kiểm tra wafer
Trong quá trình xử lý ảnh, đòi hỏi hình ảnh độ phân giải cao và dữ liệu cảm biến chính xác, việc giảm rung động nhờ đế đá granit là vô cùng quý giá. Nó giảm thiểu nhiễu có thể làm mờ hình ảnh hoặc làm sai lệch dữ liệu cảm biến, cho phép thiết bị thu thập thông tin rõ ràng và chính xác về bề mặt và cấu trúc bên trong của wafer.
Độ cứng và khả năng chống mài mòn caoVới mật độ khoảng 3100 kg/m³, đế máy bằng đá granit của ZHHIMG® mang lại độ cứng vượt trội. Chúng có thể chịu được các linh kiện nặng của thiết bị kiểm tra wafer mà không bị biến dạng, duy trì sự liên kết của hệ thống quang học và cơ khí. Ngoài ra, độ cứng cao của đá granit (thang Mohs 6–7) và khả năng chống mài mòn tuyệt vời đảm bảo bề mặt đế máy luôn phẳng và nhẵn theo thời gian. Độ đồng nhất này rất quan trọng cho độ chính xác lâu dài, vì bất kỳ sự mài mòn hoặc biến dạng nào trên đế đều có thể dần dần làm giảm độ chính xác của thiết bị.
Tính trơ hóa học: Quá trình sản xuất bán dẫn liên quan đến việc tiếp xúc với nhiều loại hóa chất khác nhau. Tính trơ hóa học của đá granit giúp nó có khả năng chống ăn mòn từ các chất này. Đặc tính này bảo vệ tính toàn vẹn của đế máy, ngăn ngừa hư hỏng do hóa chất gây ra, có thể ảnh hưởng đến độ ổn định và độ chính xác của thiết bị kiểm tra.
Tóm lại, đế máy granite độ chính xác cao không chỉ là một thành phần mà còn là yếu tố then chốt giúp đạt được các yêu cầu về độ chính xác cao của thiết bị kiểm tra wafer. Khi lựa chọn đế máy granite, hãy chọn những nhà cung cấp uy tín như ZHHIMG®. Với nhiều chứng nhận và cam kết về chất lượng, ZHHIMG® đảm bảo rằng mọi đế máy granite đều mang lại độ tin cậy và hiệu suất cần thiết cho sản xuất bán dẫn tiên tiến.
Thời gian đăng: 03-06-2025