Đế máy bằng đá granit được sử dụng rộng rãi trong các sản phẩm thiết bị xử lý wafer nhờ những đặc tính vượt trội như độ cứng, độ ổn định và độ chính xác cao. Việc lắp ráp, kiểm tra và hiệu chuẩn đế máy bằng đá granit là một quy trình quan trọng đòi hỏi sự chú ý tối đa đến từng chi tiết, độ chính xác và độ chuẩn xác. Trong bài viết này, chúng tôi sẽ thảo luận về quy trình từng bước lắp ráp, kiểm tra và hiệu chuẩn đế máy bằng đá granit cho các sản phẩm thiết bị xử lý wafer.
Lắp ráp
Bước đầu tiên là chuẩn bị tấm bề mặt đá granite, đế và cột để lắp ráp. Đảm bảo tất cả các bề mặt đều sạch sẽ, khô ráo và không có mảnh vụn, bụi bẩn hoặc dầu mỡ. Lắp các chốt cân bằng vào đế và đặt tấm bề mặt lên trên. Điều chỉnh các chốt cân bằng sao cho tấm bề mặt nằm ngang và cân bằng. Đảm bảo tấm bề mặt ngang bằng với đế và cột.
Tiếp theo, lắp cột vào đế và cố định bằng bu lông. Sử dụng cờ lê lực để siết chặt các bu lông theo giá trị lực mô-men xoắn được nhà sản xuất khuyến nghị. Kiểm tra độ cân bằng của cột và điều chỉnh các chốt cân bằng nếu cần.
Cuối cùng, lắp cụm trục chính lên đỉnh cột. Sử dụng cờ lê lực để siết chặt các bu lông theo giá trị lực mô-men xoắn khuyến nghị của nhà sản xuất. Kiểm tra độ cân bằng của cụm trục chính và điều chỉnh các chốt cân bằng nếu cần.
Kiểm tra
Sau khi lắp ráp đế máy, bước tiếp theo là kiểm tra chức năng và độ chính xác của máy. Kết nối nguồn điện và bật máy. Đảm bảo tất cả các bộ phận như động cơ, bánh răng, dây đai và ổ trục đều hoạt động bình thường và không có bất kỳ bất thường hoặc tiếng ồn bất thường nào.
Để kiểm tra độ chính xác của máy, hãy sử dụng đồng hồ so chính xác để đo độ lệch tâm của trục chính. Đặt đồng hồ so lên bề mặt và xoay trục chính. Độ lệch tâm tối đa cho phép phải nhỏ hơn 0,002 mm. Nếu độ lệch tâm lớn hơn giới hạn cho phép, hãy điều chỉnh các chốt cân bằng và kiểm tra lại.
Sự định cỡ
Hiệu chuẩn là bước quan trọng để đảm bảo độ chính xác và độ tin cậy của đế máy. Quá trình hiệu chuẩn bao gồm việc kiểm tra và điều chỉnh các thông số của máy, chẳng hạn như tốc độ, vị trí và độ chính xác, để đảm bảo máy đáp ứng các thông số kỹ thuật của nhà sản xuất.
Để hiệu chuẩn máy, bạn sẽ cần một công cụ hiệu chuẩn, bao gồm giao thoa kế laser, bộ theo dõi laser hoặc thanh bi. Các công cụ này đo chuyển động, vị trí và độ thẳng hàng của máy với độ chính xác cao.
Bắt đầu bằng cách đo các trục tuyến tính và góc của máy. Sử dụng công cụ hiệu chuẩn để đo chuyển động và vị trí của máy trên một khoảng cách hoặc góc xác định. So sánh các giá trị đo được với thông số kỹ thuật của nhà sản xuất. Nếu có bất kỳ sai lệch nào, hãy điều chỉnh các thông số của máy, chẳng hạn như động cơ, bánh răng và bộ truyền động, để đưa các giá trị đo được về giới hạn cho phép.
Tiếp theo, hãy kiểm tra chức năng nội suy cung tròn của máy. Sử dụng công cụ hiệu chuẩn để tạo đường tròn và đo chuyển động cũng như vị trí của máy. Một lần nữa, hãy so sánh các giá trị đo được với thông số kỹ thuật của nhà sản xuất và điều chỉnh các thông số nếu cần.
Cuối cùng, hãy kiểm tra độ lặp lại của máy. Đo vị trí của máy tại các điểm khác nhau trong một khoảng thời gian xác định. So sánh các giá trị đo được và kiểm tra xem có bất kỳ sai lệch nào không. Nếu có bất kỳ sai lệch nào, hãy điều chỉnh các thông số của máy và lặp lại thử nghiệm.
Phần kết luận
Việc lắp ráp, kiểm tra và hiệu chuẩn đế máy bằng đá granit cho các sản phẩm thiết bị xử lý wafer là một quy trình quan trọng đòi hỏi sự kiên nhẫn, tỉ mỉ và chính xác. Bằng cách làm theo các bước này, bạn có thể đảm bảo máy đáp ứng các thông số kỹ thuật và hoạt động chính xác, ổn định và chính xác của nhà sản xuất.
Thời gian đăng: 28-12-2023