Hướng dẫn lắp ráp, kiểm tra và hiệu chỉnh đế máy bằng đá granit cho thiết bị gia công wafer.

Đế máy bằng đá granit được sử dụng rộng rãi trong các sản phẩm thiết bị xử lý tấm bán dẫn nhờ các đặc tính vượt trội như độ cứng, độ ổn định và độ chính xác cao. Việc lắp ráp, kiểm tra và hiệu chuẩn đế máy bằng đá granit là một quy trình quan trọng đòi hỏi sự chú ý tối đa đến từng chi tiết, độ chính xác và tỉ mỉ. Trong bài viết này, chúng ta sẽ thảo luận về quy trình từng bước lắp ráp, kiểm tra và hiệu chuẩn đế máy bằng đá granit cho các sản phẩm thiết bị xử lý tấm bán dẫn.

Lắp ráp

Bước đầu tiên là chuẩn bị mặt bàn bằng đá granit, đế và cột để lắp ráp. Hãy chắc chắn rằng tất cả các bề mặt đều sạch sẽ, khô ráo và không có mảnh vụn, bụi bẩn hoặc dầu mỡ. Cắm các chốt cân bằng vào đế và đặt mặt bàn lên trên. Điều chỉnh các chốt cân bằng sao cho mặt bàn nằm ngang và bằng phẳng. Hãy chắc chắn rằng mặt bàn nằm sát với đế và cột.

Tiếp theo, lắp cột vào đế và cố định bằng bu lông. Sử dụng cờ lê lực để siết chặt các bu lông đến giá trị mô-men xoắn khuyến nghị của nhà sản xuất. Kiểm tra độ cân bằng của cột và điều chỉnh các chân đế cân bằng nếu cần.

Cuối cùng, lắp cụm trục chính lên trên đỉnh cột. Sử dụng cờ lê lực để siết chặt các bu lông đến giá trị mô-men xoắn được nhà sản xuất khuyến nghị. Kiểm tra độ cân bằng của cụm trục chính và điều chỉnh các chốt cân bằng nếu cần.

Kiểm tra

Sau khi lắp ráp xong phần đế máy, bước tiếp theo là kiểm tra chức năng và độ chính xác của máy. Kết nối nguồn điện và bật máy. Đảm bảo tất cả các bộ phận như động cơ, bánh răng, dây đai và ổ bi hoạt động bình thường và không có bất kỳ sự bất thường hoặc tiếng ồn lạ nào.

Để kiểm tra độ chính xác của máy, hãy sử dụng đồng hồ đo độ lệch tâm chính xác để đo độ lệch tâm của trục chính. Đặt đồng hồ đo độ lệch tâm lên bàn xoay và xoay trục chính. Độ lệch tâm tối đa cho phép phải nhỏ hơn 0,002 mm. Nếu độ lệch tâm lớn hơn giới hạn cho phép, hãy điều chỉnh các chốt cân bằng và kiểm tra lại.

Sự định cỡ

Hiệu chuẩn là bước quan trọng để đảm bảo độ chính xác của máy móc. Quá trình hiệu chuẩn bao gồm kiểm tra và điều chỉnh các thông số của máy, chẳng hạn như tốc độ, vị trí và độ chính xác, để đảm bảo máy đáp ứng các thông số kỹ thuật của nhà sản xuất.

Để hiệu chỉnh máy, bạn cần một công cụ hiệu chỉnh, bao gồm máy đo giao thoa laser, máy theo dõi laser hoặc thước đo góc. Những công cụ này đo chuyển động, vị trí và sự thẳng hàng của máy với độ chính xác cao.

Bắt đầu bằng cách đo trục tuyến tính và trục góc của máy. Sử dụng công cụ hiệu chuẩn để đo chuyển động và vị trí của máy trên một khoảng cách hoặc góc xác định. So sánh các giá trị đo được với thông số kỹ thuật của nhà sản xuất. Nếu có bất kỳ sai lệch nào, hãy điều chỉnh các thông số của máy, chẳng hạn như động cơ, bánh răng và bộ truyền động, để đưa các giá trị đo được nằm trong giới hạn cho phép.

Tiếp theo, hãy kiểm tra chức năng nội suy tròn của máy. Sử dụng công cụ hiệu chuẩn để tạo một đường tròn và đo chuyển động cũng như vị trí của máy. Một lần nữa, hãy so sánh các giá trị đo được với thông số kỹ thuật của nhà sản xuất và điều chỉnh các thông số nếu cần.

Cuối cùng, hãy kiểm tra tính lặp lại của máy. Đo vị trí của máy tại các điểm khác nhau trong một khoảng thời gian xác định. So sánh các giá trị đo được và kiểm tra xem có sai lệch nào không. Nếu có bất kỳ sai lệch nào, hãy điều chỉnh các thông số của máy và lặp lại thử nghiệm.

Phần kết luận

Việc lắp ráp, kiểm tra và hiệu chỉnh đế máy bằng đá granit cho các thiết bị xử lý tấm bán dẫn là một quy trình quan trọng đòi hỏi sự kiên nhẫn, chú ý đến từng chi tiết và độ chính xác. Bằng cách làm theo các bước này, bạn có thể đảm bảo rằng máy đáp ứng các thông số kỹ thuật của nhà sản xuất và hoạt động với độ chính xác, ổn định và chuẩn xác cao.

đá granit chính xác03


Thời gian đăng bài: 28/12/2023