Đế máy đá granite được sử dụng nhiều trong các sản phẩm thiết bị gia công wafer do những đặc tính vượt trội như độ cứng, độ ổn định và độ chính xác cao.Lắp ráp, thử nghiệm và hiệu chỉnh bệ máy bằng đá granite là một quá trình quan trọng đòi hỏi sự chú ý tối đa đến từng chi tiết, độ chính xác và độ chính xác.Trong bài viết này, chúng ta sẽ thảo luận về quy trình từng bước lắp ráp, thử nghiệm và hiệu chỉnh bệ máy bằng đá granit cho các sản phẩm thiết bị chế biến wafer.
lắp ráp
Bước đầu tiên là chuẩn bị tấm bề mặt đá granit, đế và cột để lắp ráp.Đảm bảo rằng tất cả các bề mặt đều sạch, khô và không có mảnh vụn, bụi hoặc dầu.Chèn các đinh tán cân bằng vào đế và đặt tấm bề mặt lên trên nó.Điều chỉnh các chốt cân bằng sao cho tấm bề mặt nằm ngang và bằng phẳng.Đảm bảo rằng tấm bề mặt ngang bằng với đế và cột.
Tiếp theo, lắp cột vào đế và cố định bằng bu lông.Sử dụng cờ lê lực để siết chặt các bu lông theo giá trị lực siết được nhà sản xuất khuyến nghị.Kiểm tra mức độ của cột và điều chỉnh các đinh tán cân bằng nếu cần thiết.
Cuối cùng, lắp cụm trục chính lên trên cùng của cột.Sử dụng cờ lê lực để siết chặt các bu lông theo giá trị lực siết được nhà sản xuất khuyến nghị.Kiểm tra mức độ của cụm trục chính và điều chỉnh các chốt cân bằng nếu cần thiết.
Kiểm tra
Sau khi lắp ráp đế máy, bước tiếp theo là kiểm tra chức năng và độ chính xác của nó.Kết nối nguồn điện và bật máy.Đảm bảo rằng tất cả các bộ phận như động cơ, bánh răng, dây đai và vòng bi đều hoạt động bình thường và không có bất kỳ sự bất thường hoặc tiếng ồn bất thường nào.
Để kiểm tra độ chính xác của máy, hãy sử dụng đồng hồ quay số chính xác để đo độ đảo của trục chính.Đặt chỉ báo quay số trên tấm bề mặt và xoay trục xoay.Độ đảo tối đa cho phép phải nhỏ hơn 0,002 mm.Nếu độ đảo lớn hơn giới hạn cho phép, hãy điều chỉnh các chốt cân bằng và kiểm tra lại.
Sự định cỡ
Hiệu chuẩn là bước quan trọng nhằm đảm bảo độ chính xác và chính xác của đế máy.Quá trình hiệu chuẩn bao gồm việc kiểm tra và điều chỉnh các thông số của máy như tốc độ, vị trí và độ chính xác để đảm bảo máy đáp ứng các thông số kỹ thuật của nhà sản xuất.
Để hiệu chỉnh máy, bạn sẽ cần một công cụ hiệu chuẩn, bao gồm giao thoa kế laser, thiết bị theo dõi laser hoặc thanh bi.Những công cụ này đo chuyển động, vị trí và căn chỉnh của máy với độ chính xác cao.
Bắt đầu bằng cách đo trục tuyến tính và góc của máy.Sử dụng công cụ hiệu chỉnh để đo chuyển động và vị trí của máy trên một khoảng cách hoặc góc xác định.So sánh giá trị đo được với thông số kỹ thuật của nhà sản xuất.Nếu có sai lệch thì điều chỉnh lại các thông số của máy như động cơ, bánh răng, dẫn động để đưa giá trị đo được trong giới hạn cho phép.
Tiếp theo, kiểm tra chức năng nội suy vòng tròn của máy.Sử dụng công cụ hiệu chỉnh để tạo đường tròn và đo chuyển động cũng như vị trí của máy.Một lần nữa, so sánh các giá trị đo được với thông số kỹ thuật của nhà sản xuất và điều chỉnh các thông số nếu cần thiết.
Cuối cùng là kiểm tra khả năng lặp lại của máy.Đo vị trí của máy tại các điểm khác nhau trong một khoảng thời gian xác định.So sánh các giá trị đo được và kiểm tra xem có sai lệch nào không.Nếu có bất kỳ sai lệch nào, hãy điều chỉnh các thông số của máy và lặp lại thử nghiệm.
Phần kết luận
Lắp ráp, thử nghiệm và hiệu chỉnh đế máy bằng đá granit cho các sản phẩm thiết bị xử lý tấm bán dẫn là một quá trình quan trọng đòi hỏi sự kiên nhẫn, chú ý đến từng chi tiết và độ chính xác.Bằng cách làm theo các bước này, bạn có thể đảm bảo rằng máy đáp ứng các thông số kỹ thuật và chức năng của nhà sản xuất với độ chính xác, ổn định và chính xác.
Thời gian đăng: 28-12-2023