Các cơ sở máy đá granit được sử dụng rất nhiều trong các sản phẩm thiết bị xử lý wafer do tính chất vượt trội của chúng như độ cứng cao, độ ổn định và độ chính xác. Lắp ráp, thử nghiệm và hiệu chỉnh một cơ sở máy granit là một quá trình quan trọng, đòi hỏi sự chú ý tối đa đến chi tiết, độ chính xác và độ chính xác. Trong bài viết này, chúng tôi sẽ thảo luận về quá trình lắp ráp, thử nghiệm và hiệu chỉnh một cơ sở máy đá granit cho các sản phẩm thiết bị xử lý wafer.
Lắp ráp
Bước đầu tiên là chuẩn bị tấm bề mặt đá granit, đế và cột để lắp ráp. Hãy chắc chắn rằng tất cả các bề mặt đều sạch sẽ, khô và không có bất kỳ mảnh vụn, bụi hoặc dầu. Chèn các đinh tán cân bằng vào đế và đặt tấm bề mặt lên trên nó. Điều chỉnh các đinh tán cân bằng sao cho tấm bề mặt nằm ngang và mức độ. Hãy chắc chắn rằng tấm bề mặt được tuôn ra với đế và cột.
Tiếp theo, cài đặt cột trên cơ sở và bảo vệ nó bằng bu lông. Sử dụng cờ lê mô -men xoắn để thắt chặt các bu lông cho giá trị mô -men xoắn được đề xuất của nhà sản xuất. Kiểm tra cấp độ của cột và điều chỉnh các đinh tán cân bằng nếu cần thiết.
Cuối cùng, cài đặt cụm trục chính trên đỉnh cột. Sử dụng cờ lê mô -men xoắn để thắt chặt các bu lông cho giá trị mô -men xoắn được đề xuất của nhà sản xuất. Kiểm tra mức của lắp ráp trục chính và điều chỉnh các đinh tán san lấp nếu cần thiết.
Kiểm tra
Sau khi lắp ráp cơ sở máy, bước tiếp theo là kiểm tra chức năng và độ chính xác của nó. Kết nối nguồn điện và bật máy. Hãy chắc chắn rằng tất cả các thành phần như động cơ, bánh răng, thắt lưng và vòng bi đều hoạt động đúng và không có bất thường hoặc tiếng ồn bất thường.
Để kiểm tra độ chính xác của máy, hãy sử dụng chỉ báo quay số chính xác để đo độ chạy của trục chính. Đặt chỉ báo quay số trên tấm bề mặt và xoay trục chính. Các hoạt động tối đa cho phép phải nhỏ hơn 0,002 mm. Nếu dòng chảy lớn hơn giới hạn cho phép, hãy điều chỉnh các đinh tán san lấp và kiểm tra lại.
Sự định cỡ
Hiệu chuẩn là bước quan trọng trong việc đảm bảo độ chính xác và độ chính xác của cơ sở máy. Quá trình hiệu chuẩn bao gồm kiểm tra và điều chỉnh các tham số của máy, chẳng hạn như tốc độ, định vị và độ chính xác, để đảm bảo rằng máy đáp ứng các thông số kỹ thuật của nhà sản xuất.
Để hiệu chỉnh máy, bạn sẽ cần một công cụ hiệu chuẩn, bao gồm giao thoa kế laser, máy theo dõi laser hoặc thanh bóng. Các công cụ này đo chuyển động, vị trí và căn chỉnh của máy với độ chính xác cao.
Bắt đầu bằng cách đo các trục tuyến tính và góc của máy. Sử dụng công cụ hiệu chuẩn để đo chuyển động của máy và vị trí trên một khoảng cách hoặc góc được chỉ định. So sánh các giá trị đo được với thông số kỹ thuật của nhà sản xuất. Nếu có bất kỳ độ lệch nào, hãy điều chỉnh các tham số của máy, chẳng hạn như động cơ, bánh răng và ổ đĩa, để mang lại các giá trị đo được trong các giới hạn cho phép.
Tiếp theo, kiểm tra chức năng nội suy tròn của máy. Sử dụng công cụ hiệu chuẩn để tạo đường dẫn tròn và đo chuyển động và vị trí của máy. Một lần nữa, so sánh các giá trị đo được với thông số kỹ thuật của nhà sản xuất và điều chỉnh các tham số nếu cần thiết.
Cuối cùng, kiểm tra độ lặp lại của máy. Đo vị trí của máy tại các điểm khác nhau trong một khoảng thời gian cụ thể. So sánh các giá trị đo và kiểm tra bất kỳ độ lệch. Nếu có bất kỳ độ lệch nào, hãy điều chỉnh các tham số của máy và lặp lại thử nghiệm.
Phần kết luận
Lắp ráp, thử nghiệm và hiệu chỉnh một cơ sở máy đá granit cho các sản phẩm thiết bị xử lý wafer là một quá trình quan trọng đòi hỏi sự kiên nhẫn, chú ý đến chi tiết và độ chính xác. Bằng cách làm theo các bước này, bạn có thể đảm bảo rằng máy đáp ứng các thông số kỹ thuật và chức năng của nhà sản xuất với độ chính xác, ổn định và độ chính xác.
Thời gian đăng: Tháng 12-26-2023