Trong lĩnh vực sản xuất wafer bán dẫn, việc lựa chọn vật liệu nền ảnh hưởng trực tiếp đến độ chính xác của thiết bị và năng suất sản xuất. Một số nhà cung cấp thiếu đạo đức đã mạo nhận đá cẩm thạch là đá granit tự nhiên, bán hàng kém chất lượng như hàng tốt. Nắm vững phương pháp nhận dạng hai loại vật liệu này là chìa khóa để đảm bảo thiết bị wafer hoạt động ổn định. Bài viết này phân tích sự khác biệt giữa bốn khía cạnh chính để giúp bạn tránh bẫy hàng thay thế chất lượng thấp.
I. Mật độ và độ cứng: "Thẻ căn cước" vật lý trực quan nhất
Đá granite tự nhiên: Có tỷ trọng 2600-3100kg/m³, độ cứng Mohs 6-7, âm thanh khi va chạm rõ ràng. Đá granite đen do ZHHIMG® lựa chọn có tỷ trọng trên 3000kg/m³ và có thể chịu được tải trọng đồng đều trên 1000kg/m².
Đá cẩm thạch: Với khối lượng riêng chỉ 2500-2700kg/m³, độ cứng 3-5, tiếng gõ khá trầm. Nếu dùng đồng xu cào nhẹ bề mặt, đá cẩm thạch dễ để lại vết xước, trong khi đá granite hầu như không bị hư hại.
Ii. Đặc điểm cấu trúc: "Khuyết điểm" dưới kính hiển vi
Đá granit tự nhiên: Được cấu tạo từ các hạt khoáng chất như thạch anh và fenspat đan xen chặt chẽ với nhau, có độ xốp nhỏ hơn 0,5%. Kiểm tra siêu âm không phát hiện thấy khuyết tật bên trong rõ ràng.
Đá cẩm thạch: Thành phần chính là canxi cacbonat, có cấu trúc tinh thể lỏng lẻo, độ xốp 1-3%, dễ hấp thụ nước và giãn nở. Trong môi trường nhiệt độ cao của thiết bị wafer, đế đá cẩm thạch có thể gây ra độ lệch độ chính xác lớn hơn ±5μm do giãn nở và co lại vì nhiệt.
Iii. Kiểm tra hiệu suất: "Gương thần" trong chiến đấu thực tế
Iv. Xác thực và truy xuất nguồn gốc: "Bằng chứng nhận dạng" đáng tin cậy
Đá granit trang trọng: Có chứng nhận chất lượng ISO 9001 và báo cáo kiểm tra thành phần khoáng chất SGS, có thể truy xuất nguồn gốc của mạch khoáng sản (như đá đen Tế Nam, đá đen Sơn Đông, đá đen Ấn Độ).
Vật liệu thay thế chất lượng thấp: Không có chứng nhận có thẩm quyền hoặc được mô tả mơ hồ là "vật liệu đá granit", thực chất chúng là đá cẩm thạch nhuộm màu và không thể cung cấp dữ liệu thử nghiệm chi tiết.
Hướng dẫn tránh cạm bẫy: Ba mẹo để đảm bảo cơ sở chất lượng cao
Kiểm tra chứng chỉ: Yêu cầu nhà cung cấp trình bày báo cáo thử nghiệm về mật độ, độ cứng và hệ số giãn nở nhiệt;
Hiệu suất thử nghiệm: Mô phỏng môi trường hoạt động của thiết bị wafer để thử nghiệm độ ổn định của đế dưới sự rung động và thay đổi nhiệt độ;
Khi lựa chọn thương hiệu, hãy ưu tiên các nhà sản xuất như ZHHIMG® đã vượt qua chứng nhận ba hệ thống ISO để tránh bẫy giá thấp của các xưởng nhỏ.
Thời gian đăng: 10-06-2025