Trong các lĩnh vực như sản xuất chất bán dẫn và dụng cụ đo lường chính xác, độ chính xác của bệ chính xác bằng đá granit quyết định trực tiếp đến chất lượng hoạt động của thiết bị. Để đảm bảo độ chính xác của bệ đáp ứng các tiêu chuẩn, cần nỗ lực từ hai khía cạnh: phát hiện các chỉ số chính và tuân thủ các tiêu chuẩn.
Phát hiện chỉ số cốt lõi: Kiểm soát độ chính xác đa chiều
Phát hiện độ phẳng: Xác định "độ phẳng" của mặt phẳng tham chiếu
Độ phẳng là chỉ số cốt lõi của các nền tảng chính xác bằng đá granit và thường được đo bằng máy đo giao thoa laser hoặc máy thủy bình điện tử. Máy đo giao thoa laser có thể đo chính xác các gợn sóng nhỏ trên bề mặt nền tảng bằng cách phát ra chùm tia laser và sử dụng nguyên lý giao thoa ánh sáng, với độ chính xác đạt đến cấp độ dưới micron. Máy thủy bình điện tử đo bằng cách di chuyển nhiều lần và vẽ bản đồ đường đồng mức ba chiều của bề mặt nền tảng để phát hiện xem có bất kỳ chỗ lồi hoặc lõm cục bộ nào không. Ví dụ, các nền tảng đá granit được sử dụng trong máy quang khắc bán dẫn phải có độ phẳng ±0,5μm/m, nghĩa là chênh lệch độ cao trong chiều dài 1 mét không được vượt quá nửa micromet. Chỉ thông qua thiết bị phát hiện có độ chính xác cao thì tiêu chuẩn nghiêm ngặt này mới có thể được đảm bảo.
2. Phát hiện độ thẳng: Đảm bảo "độ thẳng" của chuyển động tuyến tính
Đối với các bệ mang các bộ phận chuyển động chính xác, độ thẳng là vô cùng quan trọng. Các phương pháp phát hiện phổ biến là phương pháp dây hoặc bộ chuẩn trực laser. Phương pháp dây bao gồm việc treo các dây thép có độ chính xác cao và so sánh khoảng cách giữa bề mặt bệ và các dây thép để xác định độ thẳng. Bộ chuẩn trực laser sử dụng các đặc tính lan truyền tuyến tính của laser để phát hiện lỗi tuyến tính của bề mặt lắp đặt của thanh dẫn hướng bệ. Nếu độ thẳng không đạt tiêu chuẩn, nó sẽ khiến thiết bị bị dịch chuyển trong quá trình di chuyển, ảnh hưởng đến độ chính xác của quá trình xử lý hoặc đo lường.
3. Phát hiện độ nhám bề mặt: Đảm bảo độ "mịn" của tiếp xúc
Độ nhám bề mặt của bệ ảnh hưởng đến độ vừa vặn của lắp đặt linh kiện. Nói chung, máy đo độ nhám dạng bút stylus hoặc kính hiển vi quang học được sử dụng để phát hiện. Thiết bị loại bút stylus ghi lại các thay đổi về chiều cao của cấu hình hiển vi bằng cách tiếp xúc bề mặt bệ với đầu dò mịn. Kính hiển vi quang học có thể quan sát trực tiếp kết cấu bề mặt. Trong các ứng dụng có độ chính xác cao, độ nhám bề mặt của bệ đá granit cần được kiểm soát ở Ra≤0,05μm, tương đương với hiệu ứng giống như gương, đảm bảo các linh kiện chính xác vừa khít trong quá trình lắp đặt và tránh rung động hoặc dịch chuyển do các khoảng hở gây ra.
Tiêu chuẩn chính xác theo: chuẩn mực quốc tế và kiểm soát nội bộ của doanh nghiệp
Hiện nay, trên thế giới, tiêu chuẩn ISO 25178 và GB/T 24632 thường được sử dụng làm cơ sở để xác định độ chính xác của bệ đá granit, và có các phân loại rõ ràng cho các chỉ số như độ phẳng và độ thẳng. Ngoài ra, các doanh nghiệp sản xuất cao cấp thường đặt ra các tiêu chuẩn kiểm soát nội bộ nghiêm ngặt hơn. Ví dụ, yêu cầu về độ phẳng của bệ đá granit của máy quang khắc cao hơn 30% so với tiêu chuẩn quốc tế. Khi tiến hành thử nghiệm, dữ liệu đo được phải được so sánh với các tiêu chuẩn tương ứng. Chỉ những bệ hoàn toàn tuân thủ các tiêu chuẩn mới có thể đảm bảo hiệu suất ổn định trong thiết bị chính xác.
Kiểm tra độ chính xác của bệ chính xác bằng đá granit là một dự án có hệ thống. Chỉ bằng cách kiểm tra nghiêm ngặt các chỉ số cốt lõi như độ phẳng, độ thẳng và độ nhám bề mặt, và tuân thủ các tiêu chuẩn quốc tế và doanh nghiệp, mới có thể đảm bảo độ chính xác và độ tin cậy cao của bệ, đặt nền tảng vững chắc cho các lĩnh vực sản xuất cao cấp như chất bán dẫn và dụng cụ chính xác.
Thời gian đăng: 21-05-2025