Trong thiết bị sản xuất bán dẫn và quang điện tử, đá granit chủ yếu được sử dụng trong các bộ phận quan trọng như bệ chuyển động chính xác, đế ray dẫn hướng, kết cấu đỡ cách ly rung động và đế lắp đặt linh kiện quang học. Những bộ phận này có yêu cầu cực kỳ cao về độ chính xác, độ ổn định và khả năng chịu đựng môi trường. Các đặc tính của đá granit có thể đáp ứng chính xác các yêu cầu khắt khe của ngành công nghiệp bán dẫn và quang điện tử. Sau đây là phân tích về các ứng dụng cụ thể và ưu điểm:
I. Các bộ phận ứng dụng chính
Nền tảng chuyển động chính xác (chẳng hạn như nền tảng wafer cho máy quang khắc và máy liên kết)
Nó được sử dụng để mang các thành phần chính xác như tấm wafer và thấu kính quang học, đạt được chuyển động tịnh tiến và quay với độ chính xác ở cấp độ nano.
Thiết bị tiêu biểu: bàn gia công của máy quang khắc, bệ định vị của thiết bị đo.
Cấu trúc khung và đế ray dẫn hướng
Là đế lắp đặt cho thanh dẫn hướng tuyến tính và thanh dẫn hướng nổi khí, nó hỗ trợ cơ chế chuyển động cốt lõi của thiết bị.
Thiết bị tiêu biểu: khung cơ khí của thiết bị đóng gói bán dẫn và dụng cụ kiểm tra quang học.
Cấu trúc ổn định và hỗ trợ cách ly rung động
Được sử dụng để cách ly các rung động bên ngoài (như rung động từ sàn nhà máy hoặc trong quá trình vận hành thiết bị), đảm bảo tính ổn định của hệ thống quang học hoặc máy móc chính xác.
Các tình huống điển hình: Đế đỡ cho kính hiển vi quang học và máy đo giao thoa laser.
Đế gắn linh kiện quang học
Cố định các thiết bị quang học như gương, lăng kính và tia laser để đảm bảo tính ổn định lâu dài về độ chính xác căn chỉnh của hệ thống đường dẫn quang học.
Thiết bị tiêu biểu: Thiết bị đóng gói quang điện tử, hệ thống ghép nối sợi quang.
Thời gian đăng: 29-05-2025