Vật liệu đá granite được sử dụng rộng rãi trong ngành bán dẫn do các đặc tính tuyệt vời của chúng như độ ổn định cao, độ giãn nở nhiệt thấp và khả năng chống ăn mòn cao.Những đặc tính này làm cho đá granit trở thành vật liệu lý tưởng để chế tạo các bộ phận có độ chính xác cao trong hệ thống chuyển wafer.
Trong quy trình sản xuất chất bán dẫn, hệ thống chuyển tấm bán dẫn đóng một vai trò quan trọng trong việc vận chuyển các tấm bán dẫn qua các giai đoạn khác nhau của quy trình sản xuất.Độ chính xác và độ chính xác là những yêu cầu thiết yếu đối với các hệ thống này vì ngay cả những sai lệch nhỏ cũng có thể gây nguy hiểm cho toàn bộ quá trình.Vì vậy, các thành phần trong hệ thống chuyển wafer phải được làm từ vật liệu chất lượng cao và đá granit đáp ứng được các tiêu chí đó.
Một số bộ phận của hệ thống chuyển wafer được làm từ vật liệu đá granit bao gồm:
1. Bàn kẹp chân không
Bàn kẹp chân không được sử dụng để giữ wafer trong quá trình này và nó phải có bề mặt ổn định để đảm bảo wafer không bị hỏng.Đá granite là vật liệu lý tưởng để làm chiếc bàn này vì nó có bề mặt phẳng, không xốp mang lại độ ổn định và độ chính xác cao.Ngoài ra, đá granit có hệ số giãn nở nhiệt thấp, giúp nó có khả năng chống lại sự thay đổi nhiệt độ có thể gây ra sự thay đổi kích thước trong tấm bán dẫn.
2. Giai đoạn mang không khí
Giai đoạn mang không khí được sử dụng để vận chuyển wafer qua các giai đoạn khác nhau của quy trình sản xuất.Bàn đạp được thiết kế để mang lại chuyển động không ma sát, đòi hỏi độ chính xác và ổn định cao.Đá granite được sử dụng trong ứng dụng này vì nó là loại đá cứng và có khả năng chống biến dạng và mài mòn theo thời gian.
3. Hướng dẫn chuyển động tuyến tính
Các thanh dẫn hướng chuyển động tuyến tính được sử dụng để dẫn hướng cho giai đoạn mang không khí và chúng phải được định vị chính xác để giảm thiểu sai sót.Đá granit được sử dụng để xây dựng hướng dẫn này vì nó có độ ổn định và độ bền cơ học tuyệt vời.Vật liệu này cũng có khả năng chống ăn mòn, đảm bảo tuổi thọ của hệ thống dẫn hướng.
4. Thiết bị đo lường
Thiết bị đo lường được sử dụng để đo kích thước và tính chất của tấm bán dẫn trong quá trình sản xuất.Đá granit là vật liệu lý tưởng để chế tạo thiết bị này vì nó có độ cứng cao, độ giãn nở thấp và biến dạng tối thiểu khi chịu tải.Hơn nữa, độ ổn định nhiệt của đá granite đảm bảo thiết bị đo lường luôn ổn định và chính xác theo thời gian.
Tóm lại, ngành công nghiệp bán dẫn phụ thuộc vào độ chính xác và độ chính xác, và vật liệu đá granite đã được chứng minh là có độ tin cậy cao và ổn định trong quá trình sản xuất.Với nhiều thành phần quan trọng trong hệ thống truyền bán dẫn đòi hỏi độ ổn định, độ chính xác cao và độ giãn nở nhiệt thấp, các kỹ sư đã chuyển sang sử dụng vật liệu đá granite để đáp ứng những yêu cầu quan trọng này.
Thời gian đăng: 19-03-2024