Vật liệu đá granit được sử dụng rộng rãi trong ngành công nghiệp bán dẫn nhờ những đặc tính tuyệt vời như độ ổn định cao, độ giãn nở nhiệt thấp và khả năng chống ăn mòn cao. Những đặc tính này khiến đá granit trở thành vật liệu lý tưởng để chế tạo các linh kiện có độ chính xác cao trong hệ thống truyền dẫn wafer.
Trong quy trình sản xuất chất bán dẫn, hệ thống chuyển wafer đóng vai trò quan trọng trong việc vận chuyển wafer qua các giai đoạn khác nhau của quy trình sản xuất. Độ chính xác và độ chuẩn xác là những yêu cầu thiết yếu đối với các hệ thống này, vì ngay cả những sai lệch nhỏ cũng có thể gây nguy hiểm cho toàn bộ quy trình. Do đó, các linh kiện trong hệ thống chuyển wafer phải được chế tạo từ vật liệu chất lượng cao, và đá granite đáp ứng được các tiêu chí đó.
Một số bộ phận của hệ thống chuyển wafer được làm từ vật liệu đá granit bao gồm:
1. Bàn kẹp chân không
Bàn kẹp chân không được sử dụng để giữ wafer trong quá trình sản xuất, và nó phải có bề mặt ổn định để đảm bảo wafer không bị hư hại. Đá granit là vật liệu lý tưởng để chế tạo bàn kẹp này vì nó có bề mặt phẳng, không xốp, mang lại độ ổn định và độ chính xác cao. Ngoài ra, đá granit có hệ số giãn nở nhiệt thấp, giúp chống lại sự thay đổi nhiệt độ có thể gây ra thay đổi kích thước wafer.
2. Giai đoạn mang khí
Bệ đỡ khí được sử dụng để vận chuyển wafer qua các giai đoạn khác nhau của quy trình sản xuất. Bệ đỡ khí được thiết kế để đảm bảo chuyển động không ma sát, đòi hỏi độ chính xác và độ ổn định cao. Đá granit được sử dụng trong ứng dụng này vì nó là loại đá cứng và chắc, đồng thời chống biến dạng và mài mòn theo thời gian.
3. Hướng dẫn chuyển động tuyến tính
Các thanh dẫn hướng chuyển động tuyến tính được sử dụng để dẫn hướng cho bệ đỡ khí, và chúng phải được định vị chính xác để giảm thiểu sai số. Đá granit được sử dụng để chế tạo thanh dẫn hướng này vì nó có độ ổn định cơ học và độ bền tuyệt vời. Vật liệu này cũng có khả năng chống ăn mòn, đảm bảo tuổi thọ của hệ thống dẫn hướng.
4. Thiết bị đo lường
Thiết bị đo lường được sử dụng để đo kích thước và tính chất của wafer trong quá trình sản xuất. Đá granit là vật liệu lý tưởng để chế tạo thiết bị này vì nó có độ cứng cao, độ giãn nở thấp và biến dạng tối thiểu dưới tải trọng. Hơn nữa, tính ổn định nhiệt của đá granit đảm bảo thiết bị đo lường luôn ổn định và chính xác theo thời gian.
Tóm lại, ngành công nghiệp bán dẫn phụ thuộc vào độ chính xác và độ tin cậy, và vật liệu đá granit đã được chứng minh là có độ tin cậy và ổn định cao trong quá trình sản xuất. Với nhiều thành phần quan trọng trong hệ thống truyền wafer đòi hỏi độ ổn định, độ chính xác cao và độ giãn nở nhiệt thấp, các kỹ sư đã chuyển sang sử dụng vật liệu đá granit để đáp ứng các yêu cầu quan trọng này.
Thời gian đăng: 19-03-2024