Vật liệu đá granit được sử dụng rộng rãi trong ngành công nghiệp bán dẫn do các đặc tính tuyệt vời của chúng, chẳng hạn như độ ổn định cao, độ giãn nở nhiệt thấp và khả năng chống ăn mòn cao. Những đặc tính này làm cho đá granit trở thành vật liệu lý tưởng để chế tạo các thành phần có độ chính xác cao trong hệ thống truyền wafer.
Trong quá trình sản xuất chất bán dẫn, hệ thống chuyển wafer đóng vai trò quan trọng trong việc vận chuyển wafer qua các giai đoạn khác nhau của quá trình sản xuất. Độ chính xác và độ chuẩn xác là những yêu cầu thiết yếu đối với các hệ thống này vì ngay cả những sai lệch nhỏ cũng có thể gây nguy hiểm cho toàn bộ quá trình. Do đó, các thành phần trong hệ thống chuyển wafer phải được làm từ vật liệu chất lượng cao và đá granit đáp ứng các tiêu chí đó.
Một số bộ phận của hệ thống chuyển wafer được làm từ vật liệu đá granit bao gồm:
1. Bàn kẹp chân không
Bàn kẹp chân không được sử dụng để giữ wafer trong quá trình này và phải có bề mặt ổn định để đảm bảo wafer không bị hư hỏng. Đá granit là vật liệu lý tưởng để làm bàn này vì nó có bề mặt phẳng, không xốp, mang lại độ ổn định và độ chính xác cao. Ngoài ra, đá granit có hệ số giãn nở nhiệt thấp, giúp chống lại sự thay đổi nhiệt độ có thể gây ra thay đổi kích thước trong wafer.
2. Giai đoạn mang khí
Giai đoạn chịu lực không khí được sử dụng để vận chuyển wafer qua các giai đoạn khác nhau của quy trình sản xuất. Giai đoạn này được thiết kế để cung cấp chuyển động không ma sát, đòi hỏi độ chính xác và độ ổn định cao. Đá granit được sử dụng trong ứng dụng này vì nó là loại đá cứng và cứng, và nó chống biến dạng và mài mòn theo thời gian.
3. Hướng dẫn chuyển động tuyến tính
Các thanh dẫn hướng chuyển động tuyến tính được sử dụng để dẫn hướng cho bệ đỡ khí và chúng phải được định vị chính xác để giảm thiểu lỗi. Đá granit được sử dụng để chế tạo thanh dẫn hướng này vì nó có độ ổn định và độ bền cơ học tuyệt vời. Vật liệu này cũng có khả năng chống ăn mòn, đảm bảo tuổi thọ của hệ thống dẫn hướng.
4. Thiết bị đo lường
Thiết bị đo lường được sử dụng để đo kích thước và tính chất của wafer trong quá trình sản xuất. Đá granit là vật liệu lý tưởng để chế tạo thiết bị này vì nó có độ cứng cao, độ giãn nở thấp và biến dạng tối thiểu khi chịu tải. Hơn nữa, tính ổn định nhiệt của đá granit đảm bảo rằng thiết bị đo lường vẫn ổn định và chính xác theo thời gian.
Tóm lại, ngành công nghiệp bán dẫn phụ thuộc vào độ chính xác và độ tin cậy, và vật liệu đá granit đã chứng minh được độ tin cậy và ổn định cao trong quá trình sản xuất. Với nhiều thành phần quan trọng trong hệ thống truyền wafer đòi hỏi độ ổn định cao, độ chính xác và độ giãn nở nhiệt thấp, các kỹ sư đã chuyển sang vật liệu đá granit để đáp ứng các yêu cầu quan trọng này.
Thời gian đăng: 19-03-2024