Vật liệu đá granit được sử dụng rộng rãi trong ngành công nghiệp bán dẫn do các đặc điểm tuyệt vời của chúng, chẳng hạn như độ ổn định cao, mở rộng nhiệt thấp và khả năng chống ăn mòn cao. Các tính chất này làm cho đá granit trở thành một vật liệu lý tưởng để xây dựng các thành phần có độ chính xác cao trong hệ thống chuyển wafer.
Trong quy trình sản xuất chất bán dẫn, hệ thống chuyển wafer đóng vai trò quan trọng trong việc vận chuyển vệt qua các giai đoạn khác nhau của quy trình sản xuất. Độ chính xác và độ chính xác là các yêu cầu thiết yếu cho các hệ thống này vì thậm chí độ lệch nhỏ có thể gây nguy hiểm cho toàn bộ quá trình. Do đó, các thành phần trong hệ thống chuyển wafer phải được làm từ các vật liệu chất lượng cao và đá granit đáp ứng các tiêu chí đó.
Một số phần của hệ thống chuyển wafer được làm từ vật liệu đá granit bao gồm:
1. Bàn Chuck chân không
Bảng Chuck chân không được sử dụng để giữ wafer trong quá trình và nó phải có bề mặt ổn định để đảm bảo wafer không bị hỏng. Đá granit là một vật liệu lý tưởng để làm bảng này vì nó có bề mặt phẳng, không xốp, cung cấp độ ổn định và độ chính xác cao. Ngoài ra, đá granit có hệ số giãn nở nhiệt thấp, làm cho nó chống lại sự thay đổi nhiệt độ có thể gây ra sự thay đổi kích thước trong wafer.
2. Giai đoạn mang không khí
Giai đoạn mang không khí được sử dụng để vận chuyển wafer qua các giai đoạn khác nhau của quy trình sản xuất. Giai đoạn được thiết kế để cung cấp một chuyển động không ma sát, đòi hỏi độ chính xác và ổn định cao. Đá granit được sử dụng trong ứng dụng này vì nó là một viên đá cứng và cứng, và nó chống lại biến dạng và hao mòn theo thời gian.
3. Hướng dẫn chuyển động tuyến tính
Các hướng dẫn chuyển động tuyến tính được sử dụng để hướng dẫn giai đoạn mang không khí và chúng phải được định vị chính xác để giảm thiểu các lỗi. Đá granit được sử dụng để xây dựng hướng dẫn này vì nó có độ ổn định và sức mạnh cơ học tuyệt vời. Vật liệu này cũng chống ăn mòn, đảm bảo tuổi thọ của hệ thống hướng dẫn.
4. Thiết bị đo lường
Thiết bị đo lường được sử dụng để đo kích thước và tính chất của wafer trong quá trình sản xuất. Đá granit là một vật liệu lý tưởng để xây dựng thiết bị này vì nó có độ cứng cao, mở rộng thấp và biến dạng tối thiểu dưới tải. Hơn nữa, độ ổn định nhiệt của đá granit đảm bảo rằng các thiết bị đo lường vẫn ổn định và chính xác theo thời gian.
Tóm lại, ngành công nghiệp bán dẫn phụ thuộc vào độ chính xác và độ chính xác, và vật liệu đá granit đã được chứng minh là có độ tin cậy cao và ổn định trong quá trình sản xuất. Với nhiều thành phần quan trọng trong hệ thống truyền wafer đòi hỏi sự ổn định cao, độ chính xác và sự mở rộng nhiệt thấp, các kỹ sư đã chuyển sang vật liệu đá granit để đáp ứng các yêu cầu quan trọng này.
Thời gian đăng: Mar-19-2024