Đá granit là một thành phần quan trọng trong nhiều thiết bị bán dẫn. Là một vật liệu có độ ổn định và độ cứng cao, đá granit được sử dụng rộng rãi làm đế cho thiết bị xử lý bán dẫn. Đá granit có đặc điểm là hệ số giãn nở nhiệt thấp, độ ổn định kích thước cao và các tính chất cơ học tuyệt vời. Do các tính chất này, đá granit thường được sử dụng trong ba loại thiết bị bán dẫn khác nhau - thiết bị đo lường, thiết bị in thạch bản và thiết bị kiểm tra.
Thiết bị đo lường được sử dụng để đo và phát hiện các kích thước quan trọng của các thiết bị bán dẫn. Thiết bị này đóng vai trò quan trọng trong việc duy trì chất lượng và tính nhất quán của quy trình sản xuất chất bán dẫn. Thiết bị đo lường bao gồm các dụng cụ như kính hiển vi quang học, kính hiển vi điện tử và kính hiển vi lực nguyên tử (AFM). Vì hiệu suất của các dụng cụ đo lường này phụ thuộc vào độ ổn định, độ chính xác và khả năng chống rung của chúng, nên đá granit là lựa chọn lý tưởng cho vật liệu nền của chúng. Tính đồng nhất và ổn định của nền đá granit tạo ra một nền tảng ổn định cho các dụng cụ, giúp tăng cường độ chính xác và độ tin cậy của chúng.
Thiết bị in thạch bản được sử dụng để tạo ra các mẫu vi mạch trên wafer. Quy trình in thạch bản đòi hỏi độ chính xác và độ chuẩn xác cao để tạo ra các mạch phức tạp và cải thiện hiệu suất chip. Thiết bị in thạch bản bao gồm các hệ thống bước và máy quét sử dụng ánh sáng để truyền hình ảnh lên wafer. Vì quy trình in thạch bản rất nhạy cảm với độ rung và thay đổi nhiệt, nên một nền chất lượng cao là điều cần thiết để đảm bảo tính ổn định và khả năng lặp lại của quy trình in thạch bản. Nền đá granit cung cấp độ ổn định cần thiết và hiệu suất giảm chấn rung nghiêm ngặt cho các hệ thống in thạch bản. Nền đá granit cho phép hệ thống bước hoặc máy quét duy trì các mối quan hệ không gian chính xác, đảm bảo độ chính xác cao và chất lượng sản phẩm cuối cùng.
Thiết bị kiểm tra được sử dụng để phát hiện bất kỳ khiếm khuyết nào trong các thiết bị bán dẫn. Thiết bị kiểm tra bao gồm các hệ thống như kính hiển vi quét laser, kính hiển vi điện tử và kính hiển vi quang học. Với nhu cầu về các thiết bị này phải có độ chính xác cao, ổn định và chống rung, thì các lớp đá granit là vật liệu hoàn hảo. Các đặc tính cơ học và độ ổn định về kích thước của đá granit giúp cô lập rung động, giúp tăng cường độ chính xác của đầu ra của thiết bị kiểm tra.
Tóm lại, nền đá granit rất quan trọng đối với ngành công nghiệp bán dẫn và được sử dụng rộng rãi trong các loại thiết bị khác nhau. Các đặc tính độc đáo của nó như độ ổn định về kích thước, hệ số giãn nở nhiệt thấp và độ ổn định cơ học tuyệt vời khiến đá granit trở thành lựa chọn lý tưởng cho vật liệu nền của thiết bị bán dẫn. Vì nền đá granit chất lượng cao cung cấp độ ổn định, độ chính xác và khả năng chống rung cần thiết cho thiết bị bán dẫn, nên về cơ bản nó cải thiện chất lượng của sản phẩm cuối cùng. Do đó, việc sử dụng nền đá granit trong thiết bị bán dẫn chắc chắn sẽ tiếp tục trong nhiều năm tới.
Thời gian đăng: 03-04-2024