Đá granit là một thành phần quan trọng trong nhiều thiết bị bán dẫn. Là vật liệu có độ ổn định và độ cứng cao, đá granit được sử dụng rộng rãi làm nền cho các thiết bị xử lý bán dẫn. Đá granit có hệ số giãn nở nhiệt thấp, độ ổn định kích thước cao và các tính chất cơ học tuyệt vời. Nhờ những đặc tính này, đá granit được sử dụng phổ biến nhất trong ba loại thiết bị bán dẫn khác nhau - thiết bị đo lường, thiết bị in thạch bản và thiết bị kiểm tra.
Thiết bị đo lường được sử dụng để đo và phát hiện các kích thước quan trọng của linh kiện bán dẫn. Nó đóng vai trò thiết yếu trong việc duy trì chất lượng và tính nhất quán của quy trình sản xuất bán dẫn. Thiết bị đo lường bao gồm các dụng cụ như kính hiển vi quang học, kính hiển vi điện tử và kính hiển vi lực nguyên tử (AFM). Vì hiệu suất của các dụng cụ đo lường này phụ thuộc vào độ ổn định, độ chính xác và khả năng chống rung, đá granit là lựa chọn lý tưởng cho vật liệu nền của chúng. Tính đồng nhất và ổn định của nền đá granit tạo ra một nền tảng ổn định cho các dụng cụ, giúp nâng cao độ chính xác và độ tin cậy của chúng.
Thiết bị in thạch bản được sử dụng để tạo các mẫu vi mạch trên wafer. Quy trình in thạch bản đòi hỏi độ chính xác cao để tạo ra các mạch phức tạp và cải thiện hiệu suất chip. Thiết bị in thạch bản bao gồm hệ thống bước và quét sử dụng ánh sáng để truyền hình ảnh lên wafer. Vì quy trình in thạch bản rất nhạy cảm với rung động và thay đổi nhiệt, nên một nền chất lượng cao là điều cần thiết để đảm bảo tính ổn định và khả năng lặp lại của quy trình in thạch bản. Nền đá granit cung cấp độ ổn định cần thiết và hiệu suất giảm chấn động nghiêm ngặt cho các hệ thống in thạch bản. Nền đá granit cho phép hệ thống bước hoặc quét duy trì các mối quan hệ không gian chính xác, đảm bảo độ chính xác cao và chất lượng sản phẩm cuối cùng.
Thiết bị kiểm tra được sử dụng để phát hiện bất kỳ khuyết tật nào trong các thiết bị bán dẫn. Thiết bị kiểm tra bao gồm các hệ thống như kính hiển vi quét laser, kính hiển vi điện tử và kính hiển vi quang học. Với nhu cầu về độ chính xác cao, ổn định và khả năng chống rung của các thiết bị này, đá granit là vật liệu hoàn hảo. Các đặc tính cơ học và độ ổn định kích thước của đá granit giúp cách ly rung động, từ đó nâng cao độ chính xác của đầu ra thiết bị kiểm tra.
Tóm lại, nền đá granit đóng vai trò quan trọng trong ngành công nghiệp bán dẫn và được sử dụng rộng rãi trong nhiều loại thiết bị khác nhau. Các đặc tính độc đáo của nó như độ ổn định kích thước, hệ số giãn nở nhiệt thấp và độ ổn định cơ học tuyệt vời khiến đá granit trở thành lựa chọn lý tưởng cho vật liệu nền của thiết bị bán dẫn. Nhờ nền đá granit chất lượng cao mang lại độ ổn định, độ chính xác và khả năng chống rung cần thiết cho thiết bị bán dẫn, về lâu dài, nó sẽ cải thiện chất lượng sản phẩm cuối cùng. Do đó, việc sử dụng nền đá granit trong thiết bị bán dẫn chắc chắn sẽ tiếp tục trong nhiều năm tới.
Thời gian đăng: 03-04-2024