Mặc dù bệ đá granit trông có vẻ chỉ là một phiến đá đơn giản, nhưng tiêu chí lựa chọn lại thay đổi đáng kể khi chuyển từ các ứng dụng công nghiệp thông thường sang kiểm tra và đo lường quang học có tính rủi ro cao. Đối với ZHHIMG®, việc cung cấp linh kiện chính xác cho các công ty hàng đầu thế giới về công nghệ bán dẫn và laser đồng nghĩa với việc nhận ra rằng bệ đo quang học không chỉ là một nền tảng—mà là một phần không thể thiếu, không thể thiếu của chính hệ thống quang học.
Các yêu cầu đối với kiểm tra quang học—bao gồm hình ảnh phóng đại cao, quét laser và giao thoa kế—được xác định bởi nhu cầu loại bỏ tất cả các nguồn nhiễu đo lường. Điều này dẫn đến việc tập trung vào ba đặc tính đặc biệt giúp phân biệt một nền tảng quang học thực sự với một nền tảng công nghiệp tiêu chuẩn.
1. Mật độ vượt trội cho khả năng giảm chấn động vượt trội
Đối với đế CNC công nghiệp tiêu chuẩn, gang hoặc đá granit thông thường có thể cung cấp độ cứng phù hợp. Tuy nhiên, hệ thống quang học rất nhạy cảm với những dịch chuyển nhỏ do rung động bên ngoài từ thiết bị nhà máy, hệ thống xử lý không khí hoặc thậm chí là giao thông từ xa.
Đây chính là lúc khoa học vật liệu trở nên tối quan trọng. Một bệ quang học cần đá granit với khả năng giảm chấn vật liệu đặc biệt. ZHHIMG® sử dụng đá granit đen ZHHIMG® độc quyền (≈ 3100 kg/m³). Vật liệu có mật độ cực cao này, không giống như đá granit hoặc đá cẩm thạch chất lượng thấp, sở hữu cấu trúc tinh thể có hiệu suất tản nhiệt năng lượng cơ học cao. Mục tiêu không chỉ là giảm rung động mà còn đảm bảo đế bệ là một sàn cơ học hoàn toàn yên tĩnh, giảm thiểu chuyển động tương đối giữa vật kính và mẫu được kiểm tra ở cấp độ dưới micron.
2. Độ ổn định nhiệt cực cao để chống trôi dạt
Các nền tảng công nghiệp tiêu chuẩn có thể chịu được những thay đổi nhỏ về kích thước; một phần mười độ C có thể không ảnh hưởng đến việc khoan. Nhưng trong các hệ thống quang học thực hiện các phép đo chính xác trong thời gian dài, bất kỳ sự dịch chuyển nhiệt nào trong hình dạng của đế đều gây ra lỗi hệ thống.
Đối với kiểm tra quang học, bệ đỡ phải hoạt động như một bộ tản nhiệt với hệ số giãn nở nhiệt (CTE) cực thấp. Khối lượng và mật độ vượt trội của ZHHIMG® Black Granite cung cấp quán tính nhiệt cần thiết để chống lại sự giãn nở và co lại dù chỉ nhỏ nhất có thể xảy ra trong phòng có điều hòa nhiệt độ. Độ ổn định này đảm bảo khoảng cách tiêu điểm đã hiệu chuẩn và độ căn chỉnh mặt phẳng của các thành phần quang học luôn cố định, đảm bảo tính toàn vẹn của các phép đo kéo dài hàng giờ—một yếu tố không thể thương lượng đối với kiểm tra wafer độ phân giải cao hoặc đo lường màn hình phẳng.
3. Đạt được độ phẳng ở cấp độ nano và độ chính xác hình học
Sự khác biệt dễ thấy nhất là yêu cầu về độ phẳng. Trong khi một bệ máy công nghiệp thông thường có thể đạt độ phẳng Cấp 1 hoặc Cấp 0 (được đo bằng vài micron), các hệ thống quang học lại yêu cầu độ chính xác trong phạm vi nanomet. Mức độ hoàn thiện hình học này là cần thiết để cung cấp mặt phẳng tham chiếu đáng tin cậy cho các giai đoạn tuyến tính và hệ thống lấy nét tự động hoạt động dựa trên nguyên lý giao thoa ánh sáng.
Việc đạt được và chứng nhận độ phẳng ở cấp độ nanomet đòi hỏi một phương pháp sản xuất hoàn toàn khác. Nó bao gồm các kỹ thuật chuyên môn cao sử dụng máy móc tiên tiến như máy mài Nanter của Đài Loan và được xác nhận bằng thiết bị đo lường tinh vi như Giao thoa kế Laser Renishaw. Quá trình này phải diễn ra trong môi trường cực kỳ ổn định, chẳng hạn như các xưởng sản xuất được kiểm soát khí hậu và giảm rung của ZHHIMG®, nơi ngay cả những chuyển động nhỏ nhất của không khí cũng được giảm thiểu tối đa.
Về bản chất, việc lựa chọn một nền tảng chính xác bằng đá granit cho kiểm tra quang học là một quyết định đầu tư vào một linh kiện chủ động đảm bảo độ chính xác của phép đo quang học. Điều này đòi hỏi việc hợp tác với một nhà sản xuất coi chứng nhận ISO 9001 và khả năng truy xuất nguồn gốc kích thước toàn diện không phải là các tính năng tùy chọn, mà là các yêu cầu nền tảng để bước vào thế giới quang học siêu chính xác.
Thời gian đăng: 21-10-2025