Trong lĩnh vực chế tạo chính xác và nghiên cứu khoa học tiên tiến, nhu cầu về điều khiển chuyển động siêu chính xác ngày càng tăng. Là thiết bị then chốt để đạt được chuyển động tuyến tính chính xác cao, hiệu suất của mô-đun nổi khí một trục siêu chính xác ảnh hưởng trực tiếp đến chất lượng sản phẩm cuối cùng và độ chính xác của kết quả nghiên cứu khoa học. Trong số nhiều yếu tố ảnh hưởng, việc sử dụng đế đá granit mang lại lợi thế vượt trội và trở thành yếu tố cốt lõi để đảm bảo độ chính xác tuyệt vời.
Đá granit, sau hàng triệu năm biến đổi địa chất, có cấu trúc bên trong cực kỳ đặc và đồng nhất. Nó chủ yếu bao gồm thạch anh, fenspat và các khoáng chất khác, thành phần vật liệu độc đáo này mang lại cho đá granit các đặc tính vật lý tuyệt vời. Khi được sử dụng làm đế cho mô-đun chuyển động siêu chính xác một trục sử dụng hệ thống khí nén, đá granit thể hiện độ ổn định cực cao. So với các đế vật liệu kim loại thông thường, đế đá granit cho thấy khả năng chống biến dạng mạnh hơn khi chịu tác động của các nhiễu loạn môi trường bên ngoài, chẳng hạn như dao động nhiệt độ và rung động cơ học. Trong quá trình sản xuất chip điện tử, độ chính xác định vị của quá trình khắc quang chip cần đạt đến mức nanomet. Trong xưởng sản xuất, rung động do hoạt động của thiết bị lớn và những thay đổi nhỏ về nhiệt độ môi trường có thể ảnh hưởng đến độ chính xác chuyển động của thiết bị khắc quang. Mô-đun chuyển động siêu chính xác một trục sử dụng hệ thống khí nén với đế đá granit có thể làm giảm hiệu quả rung động bên ngoài và giảm biên độ rung động truyền đến mô-đun chuyển động hơn 80%. Đồng thời, hệ số giãn nở nhiệt cực thấp của nó khiến kích thước của đế thay đổi rất ít khi nhiệt độ thay đổi, đảm bảo mô-đun chuyển động nổi trên không vẫn có thể duy trì độ chính xác chuyển động ổn định trong môi trường phức tạp, cung cấp cơ sở định vị chính xác cho quá trình khắc quang chip và cải thiện đáng kể năng suất sản xuất chip.
Ngoài ra, đá granit có khả năng chống mài mòn tốt. Trong quá trình chuyển động qua lại thường xuyên của mô-đun nổi khí một trục siêu chính xác, mặc dù có lớp màng khí hỗ trợ giữa thanh trượt nổi khí và đế, nhưng việc sử dụng lâu dài chắc chắn sẽ tạo ra một mức độ ma sát nhất định. Đế đá granit, với đặc tính độ cứng cao, có thể chống lại hiệu quả sự mài mòn do ma sát này gây ra và kéo dài tuổi thọ của mô-đun chuyển động. Trong phòng thí nghiệm nghiên cứu khoa học của các trường đại học, thiết bị thí nghiệm được sử dụng để phát hiện vi hạt cần mô-đun chuyển động siêu chính xác của hệ thống nổi khí một trục hoạt động ổn định trong thời gian dài để thu được một lượng lớn dữ liệu thí nghiệm chính xác. Khả năng chống mài mòn cao của đế đá granit đảm bảo rằng độ chính xác của mô-đun chuyển động vẫn có thể được duy trì ở mức độ chính xác cao ban đầu sau một thời gian dài sử dụng, cung cấp sự đảm bảo đáng tin cậy cho tính liên tục và độ chính xác của công việc nghiên cứu khoa học, và giúp các nhà nghiên cứu khám phá sâu hơn những bí ẩn của thế giới vi mô.
Mô-đun chuyển động siêu chính xác một trục bằng khí nén với đế đá granit giống như một "người dẫn đường" chính xác cho sản xuất chính xác và nghiên cứu khoa học. Đế đá granit với độ ổn định và khả năng chống mài mòn tuyệt vời, cung cấp sự hỗ trợ vững chắc cho chuyển động chính xác cao của mô-đun chuyển động khí nén, đóng vai trò quan trọng không thể thiếu trong sản xuất chất bán dẫn, sản xuất dụng cụ quang học, nghiên cứu khoa học cao cấp và nhiều lĩnh vực đòi hỏi độ chính xác cao khác, thúc đẩy ngành công nghiệp hướng tới độ chính xác cao hơn, chất lượng cao hơn.
Thời gian đăng bài: 07/04/2025