Trong lĩnh vực sản xuất chính xác và nghiên cứu khoa học, nhu cầu về điều khiển chuyển động siêu chính xác ngày càng tăng. Là thiết bị chính để đạt được chuyển động tuyến tính có độ chính xác cao, hiệu suất của mô-đun nổi khí trục đơn siêu chính xác ảnh hưởng trực tiếp đến chất lượng của sản phẩm cuối cùng và độ chính xác của kết quả nghiên cứu khoa học. Trong số nhiều yếu tố ảnh hưởng, ứng dụng đế đá granit mang lại cho nó một lợi thế vô song và trở thành yếu tố cốt lõi để đảm bảo độ chính xác tuyệt vời.
Đá granit, sau hàng triệu năm biến đổi địa chất, cấu trúc bên trong cực kỳ dày đặc và đồng nhất. Nó chủ yếu bao gồm thạch anh, fenspat và các khoáng chất khác, thành phần vật liệu độc đáo này mang lại cho đá granit những đặc tính vật lý tuyệt vời. Khi được sử dụng làm đế của mô-đun chuyển động siêu chính xác nổi khí trục đơn, đá granit đầu tiên thể hiện độ ổn định cực cao. So với đế vật liệu kim loại thông thường, đế đá granit cho thấy khả năng chống biến dạng mạnh hơn khi đối mặt với các nhiễu loạn môi trường bên ngoài, chẳng hạn như biến động nhiệt độ và rung động cơ học. Trong quá trình sản xuất chip điện tử, độ chính xác định vị của quang khắc chip phải đạt đến cấp độ nanomet. Trong xưởng sản xuất, độ rung do hoạt động của thiết bị lớn và những thay đổi nhỏ về nhiệt độ môi trường có thể ảnh hưởng đến độ chính xác chuyển động của thiết bị quang khắc. Mô-đun chuyển động siêu chính xác nổi khí trục đơn với đế đá granit có thể làm giảm hiệu quả độ rung bên ngoài và giảm biên độ rung truyền đến mô-đun chuyển động hơn 80%. Đồng thời, hệ số giãn nở nhiệt cực thấp của nó làm cho kích thước của đế thay đổi rất ít khi nhiệt độ thay đổi, đảm bảo rằng mô-đun chuyển động nổi trên không khí vẫn có thể duy trì độ chính xác chuyển động ổn định trong môi trường phức tạp, cung cấp cơ sở định vị chính xác cho quá trình in thạch bản chip và cải thiện đáng kể năng suất sản xuất chip.
Ngoài ra, đá granit có khả năng chống mài mòn tốt. Trong quá trình chuyển động qua lại thường xuyên của mô-đun phao khí trục đơn siêu chính xác, mặc dù có lớp màng khí hỗ trợ giữa thanh trượt phao khí và đế, nhưng sử dụng lâu dài chắc chắn sẽ tạo ra một mức độ ma sát nhất định. Đế đá granit, với đặc tính độ cứng cao, có thể chống lại hiệu quả sự mài mòn do ma sát này gây ra và kéo dài tuổi thọ của mô-đun chuyển động. Trong phòng thí nghiệm nghiên cứu khoa học của các trường đại học, thiết bị thí nghiệm được sử dụng để phát hiện hạt vi mô cần mô-đun chuyển động siêu chính xác của phao khí trục đơn chạy ổn định trong thời gian dài để thu được số lượng lớn dữ liệu thí nghiệm chính xác. Khả năng chống mài mòn cao của đế đá granit đảm bảo độ chính xác của mô-đun chuyển động vẫn có thể được duy trì ở mức độ chính xác cao ban đầu sau một thời gian dài sử dụng, mang lại sự đảm bảo đáng tin cậy cho tính liên tục và độ chính xác của công trình nghiên cứu khoa học, đồng thời giúp các nhà nghiên cứu khám phá sâu sắc bí ẩn của thế giới vi mô.
Mô-đun chuyển động siêu chính xác phao khí trục đơn có đế bằng đá granit giống như một "người dẫn đường" chính xác cho sản xuất chính xác và nghiên cứu khoa học. Đế bằng đá granit với độ ổn định tuyệt vời, khả năng chống mài mòn, đối với chuyển động có độ chính xác cao của mô-đun chuyển động nổi khí cung cấp một sự hỗ trợ vững chắc, trong sản xuất chất bán dẫn, sản xuất dụng cụ quang học, nghiên cứu khoa học cao cấp và nhiều yêu cầu chính xác khác của lĩnh vực này, đóng một vai trò quan trọng không thể thay thế, thúc đẩy ngành công nghiệp hướng đến độ chính xác cao hơn, chất lượng cao hơn.
Thời gian đăng: 07-04-2025