Trong ngành công nghiệp bán dẫn, kiểm tra wafer là mắt xích quan trọng để đảm bảo chất lượng và hiệu suất của chip, độ chính xác và độ ổn định của bàn kiểm tra đóng vai trò quyết định trong kết quả phát hiện. Với những đặc tính độc đáo, đế đá granite trở thành lựa chọn lý tưởng cho bàn kiểm tra wafer bán dẫn, mang đến cho bạn những phân tích đa chiều sau đây.
Đầu tiên, kích thước đảm bảo độ chính xác
1. Độ phẳng và độ thẳng cực cao: Đế đá granit được xử lý bằng công nghệ xử lý tiên tiến, độ phẳng có thể đạt tới ±0,001mm/m hoặc thậm chí cao hơn, và độ thẳng cũng rất tuyệt vời. Trong quá trình kiểm tra wafer, mặt phẳng có độ chính xác cao cung cấp hỗ trợ ổn định cho wafer và đảm bảo tiếp xúc chính xác giữa đầu dò của thiết bị kiểm tra và mối hàn trên bề mặt wafer.
2. Hệ số giãn nở nhiệt rất thấp: Sản xuất bán dẫn rất nhạy cảm với sự thay đổi nhiệt độ, và hệ số giãn nở nhiệt của đá granit cực kỳ thấp, thường khoảng 5×10⁻⁶/℃. Khi bệ phát hiện hoạt động, ngay cả khi nhiệt độ môi trường dao động, kích thước của đế đá granit cũng thay đổi rất ít. Ví dụ, trong xưởng sản xuất nhiệt độ cao vào mùa hè, nhiệt độ của đế kim loại thông thường có thể khiến vị trí tương đối của wafer và thiết bị phát hiện bị dịch chuyển, ảnh hưởng đến độ chính xác phát hiện; bệ phát hiện đế đá granit có thể duy trì sự ổn định, đảm bảo độ chính xác tương đối của wafer và thiết bị phát hiện trong quá trình phát hiện, đồng thời cung cấp môi trường ổn định cho việc phát hiện có độ chính xác cao.
Thứ hai, chiều hướng ổn định
1. Cấu trúc ổn định và khả năng chống rung: Đá granit trải qua hàng triệu năm địa chất, cấu trúc bên trong dày đặc và đồng nhất. Trong môi trường phức tạp của nhà máy bán dẫn, rung động do hoạt động của thiết bị ngoại vi và nhân viên di chuyển xung quanh được giảm thiểu hiệu quả nhờ lớp nền đá granit.
2. Độ chính xác sử dụng lâu dài: So với các vật liệu khác, đá granite có độ cứng cao, khả năng chống mài mòn mạnh, độ cứng Mohs đạt 6-7. Bề mặt đế đá granite không dễ bị mài mòn trong quá trình nạp, tháo và kiểm tra wafer thường xuyên. Theo thống kê dữ liệu sử dụng thực tế, việc sử dụng bàn thử nghiệm đế đá granite, sau 5000 giờ hoạt động liên tục, độ chính xác về độ phẳng và độ thẳng vẫn có thể duy trì ở mức trên 98% so với độ chính xác ban đầu, giảm thiểu hao mòn thiết bị do việc hiệu chuẩn và bảo trì thường xuyên, giảm chi phí vận hành doanh nghiệp, đảm bảo tính ổn định lâu dài của công tác thử nghiệm.
Thứ ba, chiều hướng sạch và chống nhiễu
1. Phát sinh bụi thấp: Môi trường sản xuất bán dẫn cần phải cực kỳ sạch sẽ, và bản thân vật liệu đá granit rất ổn định và không dễ tạo ra các hạt bụi. Trong quá trình vận hành bệ thử nghiệm, bụi phát sinh từ đế được ngăn chặn, gây ô nhiễm wafer, giảm thiểu nguy cơ đoản mạch và hở mạch do các hạt bụi gây ra. Trong khu vực kiểm tra wafer của xưởng không bụi, nồng độ bụi xung quanh bàn kiểm tra đế đá granit luôn được kiểm soát ở mức cực thấp, đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt về vệ sinh của ngành công nghiệp bán dẫn.
2. Không nhiễu từ: Thiết bị phát hiện nhạy cảm với môi trường điện từ, và đá granit là vật liệu phi từ tính, không gây nhiễu tín hiệu điện tử của thiết bị phát hiện. Trong việc sử dụng phát hiện chùm tia điện tử và các công nghệ kiểm tra khác đòi hỏi môi trường điện từ cực cao, đế đá granit đảm bảo truyền tín hiệu điện tử ổn định của thiết bị phát hiện và đảm bảo độ chính xác của kết quả kiểm tra. Ví dụ, khi kiểm tra hiệu suất điện có độ chính xác cao của wafer, đế đá granit phi từ tính tránh nhiễu với tín hiệu dòng điện và điện áp phát hiện, do đó dữ liệu phát hiện phản ánh chân thực các đặc tính điện của wafer.
Thời gian đăng: 31-03-2025