Trong ngành công nghiệp bán dẫn, kiểm tra wafer là mắt xích quan trọng để đảm bảo chất lượng và hiệu suất của chip, độ chính xác và độ ổn định của bàn kiểm tra đóng vai trò quyết định trong kết quả phát hiện. Đế đá granit với các đặc điểm độc đáo của nó, trở thành sự lựa chọn lý tưởng cho bàn kiểm tra wafer bán dẫn, sau đây từ phân tích đa chiều dành cho bạn.
Đầu tiên, kích thước đảm bảo độ chính xác
1. Độ phẳng và độ thẳng cực cao: Đế đá granit được xử lý bằng công nghệ xử lý tiên tiến, độ phẳng có thể đạt tới ±0,001mm/m hoặc thậm chí độ chính xác cao hơn, độ thẳng cũng tuyệt vời. Trong quá trình kiểm tra wafer, mặt phẳng có độ chính xác cao cung cấp hỗ trợ ổn định cho wafer và đảm bảo tiếp xúc chính xác giữa đầu dò của thiết bị kiểm tra và mối hàn trên bề mặt wafer.
2. Hệ số giãn nở nhiệt rất thấp: sản xuất chất bán dẫn nhạy cảm với sự thay đổi nhiệt độ và hệ số giãn nở nhiệt của đá granit cực kỳ thấp, thường khoảng 5×10⁻⁶/℃. Khi nền tảng phát hiện đang chạy, ngay cả khi nhiệt độ môi trường dao động, kích thước của đế đá granit thay đổi rất ít. Ví dụ, trong xưởng nhiệt độ cao vào mùa hè, nhiệt độ của nền tảng phát hiện đế kim loại thông thường có thể khiến vị trí tương đối của wafer và thiết bị phát hiện bị dịch chuyển, ảnh hưởng đến độ chính xác phát hiện; Nền tảng phát hiện đế đá granit có thể duy trì tính ổn định, đảm bảo độ chính xác vị trí tương đối của wafer và thiết bị phát hiện trong quá trình phát hiện và cung cấp môi trường ổn định để phát hiện có độ chính xác cao.
Thứ hai, chiều hướng ổn định
1. Cấu trúc ổn định và khả năng chống rung: Đá granit trải qua hàng triệu năm địa chất, cấu trúc bên trong dày đặc và đồng nhất. Trong môi trường phức tạp của nhà máy bán dẫn, rung động do hoạt động của thiết bị ngoại vi và nhân viên đi lại xung quanh được giảm bớt hiệu quả bằng đế đá granit.
2. Độ chính xác sử dụng lâu dài: so với các vật liệu khác, đá granit có độ cứng cao, khả năng chống mài mòn mạnh và độ cứng Mohs có thể đạt 6-7. Bề mặt đế đá granit không dễ bị mài mòn trong các hoạt động tải, dỡ và kiểm tra wafer thường xuyên. Theo thống kê dữ liệu sử dụng thực tế, sử dụng bàn thử đế đá granit, hoạt động liên tục sau 5000 giờ, độ chính xác về độ phẳng và độ thẳng vẫn có thể duy trì ở mức hơn 98% độ chính xác ban đầu, giảm thiết bị do hao mòn đế do hiệu chuẩn và bảo trì thường xuyên, giảm chi phí hoạt động kinh doanh, đảm bảo tính ổn định lâu dài của công tác thử nghiệm.
Thứ ba, kích thước sạch và chống nhiễu
1. Phát sinh bụi thấp: môi trường sản xuất chất bán dẫn cần phải cực kỳ sạch sẽ, bản thân vật liệu đá granit ổn định và không dễ tạo ra các hạt bụi. Trong quá trình vận hành bệ thử nghiệm, bụi do đế tạo ra được tránh làm ô nhiễm wafer, giảm nguy cơ đoản mạch và hở mạch do các hạt bụi gây ra. Trong khu vực kiểm tra wafer của xưởng không bụi, nồng độ bụi xung quanh bàn kiểm tra đế đá granit luôn được kiểm soát ở mức cực thấp, đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt về độ sạch của ngành công nghiệp bán dẫn.
2. Không có nhiễu từ: thiết bị phát hiện nhạy cảm với môi trường điện từ và đá granit là vật liệu phi từ tính, sẽ không gây nhiễu tín hiệu điện tử của thiết bị phát hiện. Trong việc sử dụng phát hiện chùm tia điện tử và các công nghệ thử nghiệm khác đòi hỏi môi trường điện từ cực cao, đế đá granit đảm bảo truyền tín hiệu điện tử ổn định của thiết bị phát hiện và đảm bảo độ chính xác của kết quả thử nghiệm. Ví dụ, khi thử nghiệm hiệu suất điện có độ chính xác cao của wafer, đế đá granit phi từ tính tránh nhiễu với tín hiệu dòng điện và điện áp phát hiện, do đó dữ liệu phát hiện phản ánh thực sự các đặc tính điện của wafer.
Thời gian đăng: 31-03-2025