Trong ngành công nghiệp bán dẫn, kiểm tra wafer là khâu then chốt để đảm bảo chất lượng và hiệu năng của chip, và độ chính xác cũng như độ ổn định của bàn kiểm tra đóng vai trò quyết định đến kết quả kiểm tra. Với những đặc tính độc đáo, chân đế bằng đá granite trở thành lựa chọn lý tưởng cho bàn kiểm tra wafer bán dẫn. Sau đây là phân tích đa chiều dành cho bạn.
Đầu tiên, kích thước đảm bảo độ chính xác
1. Độ phẳng và độ thẳng cực cao: Đế đá granit được gia công bằng công nghệ tiên tiến, độ phẳng có thể đạt ±0,001mm/m hoặc thậm chí chính xác hơn, và độ thẳng cũng rất tuyệt vời. Trong quá trình kiểm tra wafer, mặt phẳng có độ chính xác cao này cung cấp giá đỡ ổn định cho wafer và đảm bảo tiếp xúc chính xác giữa đầu dò của thiết bị kiểm tra và các mối hàn trên bề mặt wafer.
2. Hệ số giãn nở nhiệt rất thấp: Sản xuất chất bán dẫn rất nhạy cảm với sự thay đổi nhiệt độ, và hệ số giãn nở nhiệt của đá granit cực kỳ thấp, thường khoảng 5×10⁻⁶/℃. Khi bệ kiểm tra hoạt động, ngay cả khi nhiệt độ môi trường dao động, kích thước của đế đá granit thay đổi rất ít. Ví dụ, trong xưởng nhiệt độ cao vào mùa hè, nhiệt độ của bệ kiểm tra bằng kim loại thông thường có thể làm dịch chuyển vị trí tương đối của tấm wafer và thiết bị kiểm tra, ảnh hưởng đến độ chính xác kiểm tra; Bệ kiểm tra bằng đá granit có thể duy trì sự ổn định, đảm bảo độ chính xác vị trí tương đối của tấm wafer và thiết bị kiểm tra trong quá trình kiểm tra, và cung cấp môi trường ổn định cho việc kiểm tra độ chính xác cao.
Thứ hai, khía cạnh ổn định
1. Cấu trúc ổn định và khả năng chống rung: Sau hàng triệu năm trải qua các quá trình địa chất, đá granit có cấu trúc bên trong đặc chắc và đồng nhất. Trong môi trường phức tạp của một nhà máy sản xuất chất bán dẫn, độ rung sinh ra từ hoạt động của các thiết bị ngoại vi và việc đi lại của nhân viên được giảm thiểu hiệu quả nhờ nền đá granit.
2. Độ chính xác khi sử dụng lâu dài: So với các vật liệu khác, đá granit có độ cứng cao, khả năng chống mài mòn tốt, độ cứng Mohs có thể đạt đến 6-7. Bề mặt đế đá granit không dễ bị mài mòn trong quá trình nạp, dỡ và kiểm tra wafer thường xuyên. Theo thống kê dữ liệu sử dụng thực tế, bàn thử nghiệm sử dụng đế đá granit, sau 5000 giờ hoạt động liên tục, độ phẳng và độ thẳng vẫn có thể duy trì ở mức hơn 98% so với độ chính xác ban đầu, giảm số lần hiệu chuẩn và bảo trì định kỳ do mài mòn đế thiết bị, giảm chi phí vận hành, đảm bảo tính ổn định lâu dài của công việc thử nghiệm.
Thứ ba, kích thước sạch sẽ và chống nhiễu
1. Ít bụi: Môi trường sản xuất chất bán dẫn cần phải cực kỳ sạch sẽ, và bản thân vật liệu đá granit ổn định và không dễ tạo ra bụi. Trong quá trình vận hành bệ thử nghiệm, bụi sinh ra từ đế được tránh làm ô nhiễm tấm wafer, và nguy cơ ngắn mạch và hở mạch do bụi gây ra được giảm thiểu. Trong khu vực kiểm tra wafer của xưởng không bụi, nồng độ bụi xung quanh bàn kiểm tra có đế đá granit luôn được kiểm soát ở mức cực thấp, đáp ứng các yêu cầu về độ sạch nghiêm ngặt của ngành công nghiệp bán dẫn.
2. Không gây nhiễu từ: Thiết bị dò tìm rất nhạy cảm với môi trường điện từ, và đá granit là vật liệu không nhiễm từ, sẽ không gây nhiễu tín hiệu điện tử của thiết bị dò tìm. Trong việc sử dụng phương pháp dò tìm bằng chùm tia điện tử và các công nghệ kiểm tra khác yêu cầu môi trường điện từ cực cao, đế đá granit đảm bảo sự truyền dẫn ổn định của tín hiệu điện tử của thiết bị dò tìm và đảm bảo độ chính xác của kết quả kiểm tra. Ví dụ, khi kiểm tra hiệu năng điện của tấm bán dẫn có độ chính xác cao, đế đá granit không nhiễm từ sẽ tránh gây nhiễu tín hiệu dòng điện và điện áp dò tìm, nhờ đó dữ liệu dò tìm phản ánh đúng đặc tính điện của tấm bán dẫn.
Thời gian đăng bài: 31/03/2025