Trong quy trình sản xuất chất bán dẫn, cắt wafer là một bước quan trọng đòi hỏi độ chính xác và độ ổn định cao từ thiết bị. Đế máy bằng đá granit ZHHIMG® mang lại một số lợi thế riêng biệt khi sử dụng trong máy cắt wafer, khiến chúng trở thành lựa chọn lý tưởng cho ứng dụng đầy thách thức này.
Độ ổn định đặc biệtĐá granit ZHHIMG®, với mật độ khoảng 3100 kg/m³, tạo nên nền tảng vững chắc cho máy cắt wafer. Mật độ cao mang lại độ ổn định tuyệt vời, giảm thiểu mọi chuyển động hoặc rung động tiềm ẩn trong quá trình cắt. Độ ổn định này rất quan trọng vì ngay cả rung động nhỏ nhất cũng có thể khiến dụng cụ cắt lệch khỏi đường đi dự định, dẫn đến các đường cắt không chính xác và wafer bị lỗi. Trái ngược với các vật liệu có mật độ thấp hơn, đá granit ZHHIMG® đảm bảo đầu cắt luôn được định vị chính xác, cho phép tạo ra các đường cắt chất lượng cao, đồng nhất trên wafer.
Độ giãn nở nhiệt thấpCác cơ sở sản xuất chất bán dẫn thường có quy trình kiểm soát nhiệt độ nghiêm ngặt, nhưng vẫn có thể xảy ra những biến động nhỏ. Đá granit từ ZHHIMG® có hệ số giãn nở nhiệt rất thấp. Điều này có nghĩa là khi nhiệt độ thay đổi nhẹ trong môi trường sản xuất, đế máy granit sẽ không giãn nở hoặc co lại đáng kể. Trong quá trình cắt wafer, khi dung sai độ chính xác nằm trong phạm vi micromet hoặc thậm chí nanomet, những thay đổi về kích thước do nhiệt có thể gây ra thảm họa. Độ giãn nở nhiệt thấp của đá granit ZHHIMG® giúp duy trì sự liên kết của các thành phần máy cắt, đảm bảo rằng quá trình cắt vẫn chính xác bất kể những thay đổi nhỏ về nhiệt độ.
Giảm chấn rung động vượt trộiTrong quá trình cắt wafer, dụng cụ cắt tạo ra rung động. Nếu những rung động này không được giảm chấn hiệu quả, chúng có thể truyền sang wafer, gây ra tình trạng sứt mẻ hoặc hư hỏng khác. Đá granit ZHHIMG® có đặc tính giảm chấn rung động tự nhiên. Cấu trúc bên trong của nó, được hình thành trong thời gian dài của địa chất, cho phép nó hấp thụ và phân tán rung động nhanh chóng. Đây là một lợi thế đáng kể so với một số đế máy bằng kim loại, có thể truyền rung động dễ dàng hơn. Bằng cách giảm rung động, đế máy bằng đá granit ZHHIMG® góp phần vào hoạt động cắt mượt mà hơn, tạo ra các vết cắt sạch hơn và wafer chất lượng cao hơn.
Khả năng chống mài mòn caoMáy cắt wafer được sử dụng liên tục trong sản xuất chất bán dẫn khối lượng lớn. Quá trình cắt khiến đế máy chịu ứng suất cơ học và ma sát. Độ cứng cao và bản chất chống mài mòn của đá granit ZHHIMG® cho phép đế máy chịu được những lực này trong thời gian dài mà không bị mài mòn đáng kể. Độ bền này có nghĩa là đế máy có thể duy trì độ chính xác về kích thước và hiệu suất trong suốt thời gian sử dụng lâu dài. Nó làm giảm nhu cầu thay thế thường xuyên hoặc bảo trì tốn kém do các vấn đề liên quan đến mài mòn, cuối cùng giúp các nhà sản xuất chất bán dẫn tiết kiệm cả thời gian và tiền bạc.
Tính trơ về mặt hóa họcMôi trường sản xuất chất bán dẫn có thể khiến thiết bị tiếp xúc với nhiều loại hóa chất khác nhau được sử dụng trong quá trình vệ sinh, khắc hoặc các quy trình khác. Đá granit ZHHIMG® trơ về mặt hóa học, chống ăn mòn từ các loại hóa chất này. Tính chất này đảm bảo tính toàn vẹn của đế máy vẫn nguyên vẹn, ngay cả khi tiếp xúc với các chất hóa học khắc nghiệt. Nó giúp duy trì tính ổn định và độ chính xác của máy cắt wafer theo thời gian, vì nếu không, sự ăn mòn hóa học có thể dẫn đến biến dạng hoặc suy giảm hiệu suất của đế máy.
Tóm lại, đế máy bằng đá granit ZHHIMG® cung cấp sự kết hợp giữa độ ổn định, khả năng chịu nhiệt, giảm rung, chống mài mòn và trơ về mặt hóa học, rất có lợi cho máy cắt wafer. Khi cân nhắc nâng cấp hoặc mua mới thiết bị cắt wafer, việc lựa chọn máy có đế máy bằng đá granit ZHHIMG® là quyết định sáng suốt có thể nâng cao chất lượng và hiệu quả của quy trình sản xuất chất bán dẫn.
Thời gian đăng: 03-06-2025