Trong quy trình sản xuất chất bán dẫn, cắt tấm bán dẫn là một bước quan trọng đòi hỏi độ chính xác và ổn định cao từ thiết bị. Đế máy bằng đá granit ZHHIMG® mang lại nhiều ưu điểm vượt trội khi được sử dụng trong máy cắt tấm bán dẫn, trở thành lựa chọn lý tưởng cho ứng dụng đầy thách thức này.
Độ ổn định vượt trội: Đá granite ZHHIMG®, với mật độ xấp xỉ 3100 kg/m³, cung cấp nền tảng vững chắc cho máy cắt wafer. Mật độ cao mang lại độ ổn định tuyệt vời, giảm thiểu mọi chuyển động hoặc rung động tiềm tàng trong quá trình cắt. Độ ổn định này rất quan trọng vì ngay cả rung động nhỏ nhất cũng có thể khiến dụng cụ cắt lệch khỏi đường đi dự định, dẫn đến các vết cắt không chính xác và wafer bị lỗi. Trái ngược với các vật liệu có mật độ thấp hơn, đá granite ZHHIMG® đảm bảo đầu cắt luôn được định vị chính xác, cho phép tạo ra các vết cắt chất lượng cao, nhất quán trên toàn bộ wafer.
Độ giãn nở nhiệt thấp: Các nhà máy sản xuất chất bán dẫn thường có hệ thống kiểm soát nhiệt độ nghiêm ngặt, nhưng những dao động nhỏ vẫn có thể xảy ra. Đá granit của ZHHIMG® có hệ số giãn nở nhiệt rất thấp. Điều này có nghĩa là khi nhiệt độ thay đổi nhẹ trong môi trường sản xuất, đế máy bằng đá granit sẽ không giãn nở hoặc co lại đáng kể. Trong quá trình cắt wafer, nơi dung sai chính xác nằm trong phạm vi micromet hoặc thậm chí nanomet, những thay đổi kích thước do nhiệt gây ra có thể gây hậu quả nghiêm trọng. Độ giãn nở nhiệt thấp của đá granit ZHHIMG® giúp duy trì sự thẳng hàng của các bộ phận máy cắt, đảm bảo quá trình cắt vẫn chính xác bất kể những biến đổi nhiệt độ nhỏ.
Khả năng giảm chấn rung động vượt trội: Trong quá trình cắt wafer, dụng cụ cắt tạo ra các rung động. Nếu những rung động này không được giảm chấn hiệu quả, chúng có thể truyền đến wafer, gây ra hiện tượng sứt mẻ hoặc các hư hỏng khác. Đá granite ZHHIMG® có đặc tính giảm chấn rung động tự nhiên. Cấu trúc bên trong của nó, được hình thành qua các thời kỳ địa chất dài, cho phép nó hấp thụ và phân tán rung động một cách nhanh chóng. Đây là một lợi thế đáng kể so với một số đế máy làm bằng kim loại, có thể truyền rung động dễ dàng hơn. Bằng cách giảm rung động, đế máy bằng đá granite ZHHIMG® góp phần vào các hoạt động cắt mượt mà hơn, dẫn đến các vết cắt sạch hơn và wafer chất lượng cao hơn.
Khả năng chống mài mòn cao: Máy cắt wafer được sử dụng liên tục trong sản xuất chất bán dẫn quy mô lớn. Quá trình cắt tạo ra ứng suất cơ học và ma sát lên đế máy. Độ cứng cao và khả năng chống mài mòn của đá granit ZHHIMG® cho phép đế máy chịu được các lực này trong thời gian dài mà không bị mài mòn đáng kể. Độ bền này có nghĩa là đế máy có thể duy trì độ chính xác về kích thước và hiệu suất trong suốt thời gian sử dụng lâu dài. Điều này làm giảm nhu cầu thay thế thường xuyên hoặc bảo trì tốn kém do các vấn đề liên quan đến mài mòn, cuối cùng giúp các nhà sản xuất chất bán dẫn tiết kiệm cả thời gian và tiền bạc.
Tính trơ hóa học: Môi trường sản xuất chất bán dẫn có thể khiến thiết bị tiếp xúc với nhiều loại hóa chất được sử dụng trong quá trình làm sạch, khắc hoặc các quy trình khác. Đá granit ZHHIMG® có tính trơ hóa học, chống ăn mòn bởi các hóa chất này. Đặc tính này đảm bảo tính toàn vẹn của đế máy vẫn được giữ nguyên, ngay cả khi tiếp xúc với các chất hóa học mạnh. Nó giúp duy trì sự ổn định và độ chính xác của máy cắt wafer theo thời gian, vì nếu không, sự ăn mòn hóa học có thể dẫn đến biến dạng hoặc suy giảm hiệu suất của đế máy.
Tóm lại, đế máy bằng đá granit ZHHIMG® mang đến sự kết hợp giữa độ ổn định, khả năng chịu nhiệt, giảm rung, chống mài mòn và tính trơ hóa học, rất có lợi cho máy cắt wafer. Khi xem xét nâng cấp hoặc mua mới thiết bị cắt wafer, việc lựa chọn máy có đế bằng đá granit ZHHIMG® là một quyết định sáng suốt có thể nâng cao chất lượng và hiệu quả của quy trình sản xuất bán dẫn.
Thời gian đăng bài: 03/06/2025