Đá granit là một loại đá cứng đã trở thành vật liệu không thể thiếu trong ngành công nghiệp sản xuất chất bán dẫn. Đặc tính của nó cho phép chịu được nhiệt độ cao, điều này làm cho nó trở nên lý tưởng để sử dụng trong nhiều giai đoạn của quy trình sản xuất thiết bị bán dẫn. Do đó, việc sử dụng đá granit trong sản xuất các thiết bị bán dẫn đã tạo ra nhiều ứng dụng rộng rãi.
Một trong những ứng dụng được sử dụng rộng rãi nhất của kết cấu đá granit là trong việc chế tạo các cấu trúc máy công cụ có độ chính xác cao. Độ cứng và ổn định của đá granit cho phép sản xuất các công cụ chính xác với độ biến dạng rất nhỏ hoặc không đáng kể. Độ chính xác này là cần thiết trong các quy trình sản xuất chất bán dẫn như cấy ion, nơi chùm tia phải được định hướng chính xác lên tấm wafer.
Một ứng dụng khác của đá granit trong sản xuất chất bán dẫn là trong việc chế tạo thiết bị đo lường. Thiết bị đo lường rất quan trọng trong các quy trình sản xuất chất bán dẫn vì nó đo lường và xác minh độ chính xác của các thiết bị được sản xuất. Độ ổn định kích thước, độ giãn nở nhiệt thấp và đặc tính giảm chấn rung động tuyệt vời của đá granit khiến nó trở thành vật liệu được lựa chọn trong việc chế tạo thiết bị đo lường. Điều này bao gồm các bề mặt đá granit lớn được sử dụng trong việc sắp xếp và kiểm tra các tấm bán dẫn.
Bàn quang học là một lĩnh vực ứng dụng rộng rãi khác của đá granit trong ngành công nghiệp bán dẫn. Bàn quang học được sử dụng trong việc kiểm tra các thiết bị quang học như ống dẫn sóng cho truyền thông dữ liệu. Độ phẳng, độ giãn nở nhiệt thấp, độ cứng cao và độ ổn định cơ học của đá granit cho phép nó cung cấp một bề mặt rất ổn định để lắp đặt và định vị các thiết bị quang học. Bàn quang học bằng đá granit có thể cung cấp độ ổn định và độ cứng cần thiết để thực hiện kiểm tra chính xác các thiết bị quang học.
Đá granit cũng được ứng dụng trong việc chế tạo mâm cặp và bệ đỡ wafer. Trong quá trình sản xuất chất bán dẫn, việc căn chỉnh chính xác và kiểm soát vị trí là rất quan trọng. Mâm cặp wafer, dùng để giữ các wafer cố định trong quá trình xử lý, phải duy trì độ chính xác vị trí đồng thời chịu được nhiệt độ cao và điều kiện chân không. Đá granit có độ ổn định kích thước tuyệt vời trong phạm vi nhiệt độ rộng và có thể chịu được điều kiện chân không, lý tưởng cho việc chế tạo mâm cặp wafer. Các bệ đỡ được sử dụng để di chuyển wafer từ vị trí này sang vị trí khác trải qua một chu trình chuyển động liên tục trong quá trình chế tạo chất bán dẫn. Cấu trúc bằng đá granit cung cấp sự ổn định và độ bền cần thiết để chịu được các chu kỳ chuyển động liên tục và lặp đi lặp lại.
Tóm lại, việc ứng dụng đá granit trong ngành công nghiệp sản xuất bán dẫn là rất rộng lớn. Các đặc tính như độ ổn định kích thước, độ giãn nở nhiệt thấp, độ cứng cao và khả năng giảm chấn rung động khiến nó trở thành vật liệu lý tưởng để sử dụng trong nhiều giai đoạn của quy trình sản xuất thiết bị bán dẫn. Từ việc chế tạo các máy công cụ và thiết bị đo lường chính xác cao đến các bàn quang học, giá đỡ và mâm cặp wafer, các đặc tính của đá granit đóng vai trò quan trọng trong việc cung cấp sự ổn định, độ chính xác và khả năng lặp lại cần thiết để đạt được chất lượng cao trong sản xuất thiết bị bán dẫn.
Thời gian đăng bài: 06/12/2023