Đá granit là một loại đá cứng đã trở thành vật liệu không thể thiếu trong ngành sản xuất chất bán dẫn. Các đặc tính của nó cho phép nó chịu được nhiệt độ cao, điều này làm cho nó trở nên lý tưởng để sử dụng trong các giai đoạn khác nhau của quy trình sản xuất thiết bị bán dẫn. Do đó, lắp ráp đá granit đã tìm thấy các lĩnh vực ứng dụng rộng rãi trong các sản phẩm thiết bị quy trình sản xuất chất bán dẫn.
Một trong những ứng dụng được sử dụng nhiều nhất của lắp ráp đá granit là trong việc xây dựng các cấu trúc máy công cụ có độ chính xác cao. Độ cứng và độ ổn định của đá granit giúp có thể sản xuất các công cụ chính xác và chuẩn xác với ít hoặc không có biến dạng. Mức độ chính xác này là cần thiết trong các quy trình sản xuất chất bán dẫn như cấy ion, trong đó chùm tia phải được định hướng chính xác vào wafer.
Một ứng dụng khác của lắp ráp đá granit trong sản xuất chất bán dẫn là trong việc chế tạo thiết bị đo lường. Thiết bị đo lường rất quan trọng trong các quy trình sản xuất chất bán dẫn vì nó đo lường và xác minh độ chính xác của các thiết bị đang được sản xuất. Độ ổn định về kích thước, độ giãn nở nhiệt thấp và đặc tính giảm rung tuyệt vời của đá granit khiến nó trở thành vật liệu được lựa chọn trong việc chế tạo thiết bị đo lường. Điều này bao gồm các bề mặt đá granit lớn được sử dụng trong quá trình dàn dựng và kiểm tra các tấm wafer.
Bàn quang học là một lĩnh vực ứng dụng rộng rãi khác của lắp ráp đá granit trong ngành công nghiệp bán dẫn. Bàn quang học được sử dụng trong quá trình thử nghiệm các thiết bị quang học như ống dẫn sóng để truyền dữ liệu. Độ phẳng, độ giãn nở nhiệt thấp, độ cứng cao và độ ổn định cơ học của đá granit cho phép nó cung cấp một bề mặt cực kỳ ổn định để lắp đặt và định vị quang học. Bàn quang học đá granit có thể cung cấp độ ổn định và độ cứng cần thiết để thực hiện thử nghiệm chính xác, tỉ mỉ các thiết bị quang học.
Đá granit cũng được ứng dụng trong việc chế tạo các mâm cặp wafer và các giai đoạn. Trong quá trình sản xuất chất bán dẫn, việc căn chỉnh chính xác và kiểm soát vị trí là rất quan trọng. Mâm cặp wafer, giữ các wafer tại chỗ trong quá trình xử lý, phải duy trì độ chính xác về vị trí trong khi chịu được nhiệt độ cao và điều kiện chân không. Đá granit có độ ổn định kích thước tuyệt vời trong phạm vi nhiệt độ rộng và có thể chịu được điều kiện chân không, khiến nó trở nên lý tưởng để chế tạo mâm cặp wafer. Các giai đoạn được sử dụng để di chuyển các wafer từ vị trí này sang vị trí khác trải qua một chuỗi chuyển động tuần hoàn trong quá trình chế tạo chất bán dẫn. Lắp ráp đá granit cung cấp độ ổn định và độ bền cần thiết để chịu được các chu kỳ chuyển động liên tục và lặp đi lặp lại.
Tóm lại, ứng dụng của cụm đá granit trong ngành sản xuất chất bán dẫn rất rộng rãi. Các đặc tính của nó như độ ổn định về kích thước, độ giãn nở nhiệt thấp, độ cứng cao và giảm chấn động khiến nó trở thành vật liệu lý tưởng để sử dụng trong nhiều giai đoạn khác nhau của quy trình sản xuất thiết bị bán dẫn. Từ việc chế tạo các máy công cụ và thiết bị đo lường có độ chính xác cao đến các bàn quang học và giai đoạn wafer và mâm cặp, các đặc tính của đá granit đóng vai trò quan trọng trong việc cung cấp độ ổn định, độ chính xác và khả năng lặp lại cần thiết để đạt được sản xuất thiết bị bán dẫn chất lượng cao.
Thời gian đăng: 06-12-2023