Các lĩnh vực ứng dụng của lắp ráp đá granit cho các sản phẩm thiết bị quy trình sản xuất bán dẫn

Đá granit là một loại đá cứng đã trở thành vật liệu không thể thiếu trong ngành sản xuất chất bán dẫn. Nhờ đặc tính chịu được nhiệt độ cao, đá granit lý tưởng để sử dụng trong nhiều giai đoạn khác nhau của quy trình sản xuất thiết bị bán dẫn. Do đó, việc lắp ráp đá granit đã tìm thấy nhiều ứng dụng rộng rãi trong các sản phẩm thiết bị quy trình sản xuất chất bán dẫn.

Một trong những ứng dụng phổ biến nhất của lắp ghép đá granit là trong chế tạo các cấu trúc máy công cụ có độ chính xác cao. Độ cứng và độ ổn định của đá granit giúp chế tạo các công cụ chính xác và tinh xảo với ít hoặc không bị biến dạng. Độ chính xác này rất cần thiết trong các quy trình sản xuất chất bán dẫn như cấy ghép ion, trong đó chùm tia phải được định hướng chính xác lên tấm wafer.

Một ứng dụng khác của việc lắp ráp đá granit trong sản xuất bán dẫn là chế tạo thiết bị đo lường. Thiết bị đo lường đóng vai trò thiết yếu trong quy trình sản xuất bán dẫn vì nó đo lường và kiểm tra độ chính xác của các thiết bị đang được sản xuất. Độ ổn định kích thước, độ giãn nở nhiệt thấp và khả năng giảm chấn tuyệt vời của đá granit khiến nó trở thành vật liệu được lựa chọn trong chế tạo thiết bị đo lường. Điều này bao gồm các bề mặt đá granit lớn được sử dụng trong quá trình dàn dựng và kiểm tra wafer.

Bàn quang học là một lĩnh vực ứng dụng rộng rãi khác của việc lắp ráp đá granit trong ngành công nghiệp bán dẫn. Bàn quang học được sử dụng trong quá trình thử nghiệm các thiết bị quang học như ống dẫn sóng cho truyền thông dữ liệu. Độ phẳng, độ giãn nở nhiệt thấp, độ cứng cao và độ ổn định cơ học của đá granit cho phép nó tạo ra một bề mặt cực kỳ ổn định để lắp đặt và định vị quang học. Bàn quang học đá granit có thể cung cấp độ ổn định và độ cứng cần thiết để thực hiện các thử nghiệm chính xác cho các thiết bị quang học.

Đá granit cũng được ứng dụng trong chế tạo mâm cặp và các tầng wafer. Trong quá trình sản xuất chất bán dẫn, việc căn chỉnh chính xác và kiểm soát vị trí là rất quan trọng. Mâm cặp wafer, giữ các wafer cố định trong quá trình xử lý, phải duy trì độ chính xác vị trí trong khi chịu được nhiệt độ cao và điều kiện chân không. Đá granit có độ ổn định kích thước tuyệt vời trong phạm vi nhiệt độ rộng và có thể chịu được điều kiện chân không, khiến nó trở nên lý tưởng cho việc chế tạo mâm cặp wafer. Các tầng được sử dụng để di chuyển wafer từ vị trí này sang vị trí khác trải qua một chuỗi chuyển động tuần hoàn trong quá trình chế tạo chất bán dẫn. Lắp ráp đá granit mang lại sự ổn định và độ bền cần thiết để chịu được các chu kỳ chuyển động liên tục và lặp đi lặp lại.

Tóm lại, ứng dụng của đá granit trong ngành sản xuất bán dẫn rất rộng rãi. Các đặc tính như độ ổn định kích thước, độ giãn nở nhiệt thấp, độ cứng cao và giảm chấn động khiến nó trở thành vật liệu lý tưởng để sử dụng trong nhiều giai đoạn khác nhau của quy trình sản xuất thiết bị bán dẫn. Từ việc chế tạo máy công cụ và thiết bị đo lường có độ chính xác cao đến bàn máy quang học, bệ wafer và mâm cặp, các đặc tính của đá granit đóng vai trò quan trọng trong việc mang lại độ ổn định, độ chính xác và khả năng lặp lại cần thiết để đạt được quy trình sản xuất thiết bị bán dẫn chất lượng cao.