Sản xuất chất bán dẫn: Trong quy trình sản xuất chip, quy trình quang khắc cần chuyển chính xác mẫu mạch lên tấm wafer. Đế đá granit của mô-đun chuyển động siêu chính xác nổi trên không một trục có thể cung cấp khả năng định vị chính xác cao và hỗ trợ ổn định cho bàn wafer trong thiết bị quang khắc. Ví dụ, ASML và các nhà sản xuất máy quang khắc nổi tiếng quốc tế khác sử dụng mô-đun chuyển động nổi trên không đế đá granit trong thiết bị cao cấp của họ, có thể kiểm soát độ chính xác định vị của wafer ở mức nanomet để đảm bảo độ chính xác của mẫu quang khắc, từ đó cải thiện tính tích hợp và hiệu suất của chip.
Lĩnh vực đo lường chính xác: CMM là thiết bị đo lường chính xác thường được sử dụng trong sản xuất công nghiệp, dùng để đo kích thước, hình dạng và độ chính xác vị trí của phôi. Mô-đun chuyển động siêu chính xác của hệ thống nổi khí một trục trên đế đá granit có thể được sử dụng làm nền tảng chuyển động của CMM, giúp thực hiện chuyển động tuyến tính độ chính xác cao và cung cấp quỹ đạo chuyển động ổn định cho đầu dò đo. Ví dụ, CMM cao cấp của Hexagon sử dụng sự kết hợp này để đo các chi tiết lớn và phức tạp với độ chính xác đo lên đến mức micron, đảm bảo mạnh mẽ cho việc kiểm soát chất lượng linh kiện trong ngành ô tô, hàng không vũ trụ và các ngành công nghiệp khác.
Lĩnh vực hàng không vũ trụ: Trong quá trình gia công và thử nghiệm các bộ phận hàng không vũ trụ, độ chính xác cao là điều cần thiết. Ví dụ, việc gia công cánh quạt động cơ máy bay đòi hỏi sự kiểm soát chính xác quỹ đạo chuyển động của dụng cụ để đảm bảo độ chính xác của biên dạng cánh. Đế đá granit của mô-đun chuyển động siêu chính xác một trục kiểu nổi trên không có thể được ứng dụng vào trung tâm gia công năm trục và các thiết bị khác để cung cấp khả năng điều khiển chuyển động chính xác cao cho dụng cụ và đảm bảo độ chính xác gia công của cánh đáp ứng các yêu cầu thiết kế. Đồng thời, trong quá trình lắp ráp động cơ máy bay, cũng cần sử dụng thiết bị đo lường chính xác cao để kiểm tra độ chính xác lắp ráp của các bộ phận. Mô-đun chuyển động nổi trên không với đế đá granit có thể cung cấp sự hỗ trợ ổn định và chuyển động chính xác cho thiết bị đo lường để đảm bảo chất lượng lắp ráp.
Lĩnh vực kiểm tra quang học: Trong quá trình sản xuất và thử nghiệm các linh kiện quang học, việc định vị và đo lường chính xác cao các linh kiện quang học là rất cần thiết. Ví dụ, khi sản xuất các linh kiện quang học có độ chính xác cao như gương và thấu kính, cần sử dụng máy đo giao thoa và các thiết bị khác để phát hiện độ chính xác hình dạng bề mặt. Đế đá granit của mô-đun chuyển động siêu chính xác nổi trên không một trục có thể được sử dụng làm nền tảng chuyển động của máy đo giao thoa, giúp đạt được độ chính xác định vị dưới micromet và cung cấp dữ liệu chính xác hỗ trợ cho việc kiểm tra các linh kiện quang học. Ngoài ra, trong thiết bị gia công laser, cũng cần sử dụng một nền tảng chuyển động có độ chính xác cao để điều khiển quỹ đạo quét của chùm tia laser, đế đá granit của mô-đun chuyển động nổi trên không có thể đáp ứng yêu cầu này, để đạt được gia công laser có độ chính xác cao.
Thời gian đăng bài: 07/04/2025