Sản xuất chất bán dẫn: Trong quy trình sản xuất chip, quá trình quang khắc cần truyền tải chính xác mẫu mạch lên wafer. Đế đá granit của mô-đun chuyển động siêu chính xác nổi khí trục đơn có thể cung cấp khả năng định vị chính xác cao và hỗ trợ ổn định cho bàn wafer trong thiết bị quang khắc. Ví dụ, ASML và các nhà sản xuất máy quang khắc nổi tiếng thế giới khác sử dụng mô-đun chuyển động nổi khí đế đá granit trong thiết bị cao cấp của họ, có thể kiểm soát độ chính xác định vị của wafer ở cấp độ nanomet để đảm bảo độ chính xác của mẫu quang khắc, từ đó cải thiện khả năng tích hợp và hiệu suất của chip.
Lĩnh vực đo lường chính xác: CMM là thiết bị đo lường chính xác thường được sử dụng trong sản xuất công nghiệp, dùng để đo kích thước, hình dạng và độ chính xác vị trí của phôi. Mô-đun chuyển động siêu chính xác của phao khí trục đơn trên đế đá granit có thể được sử dụng làm bệ chuyển động của CMM, có thể thực hiện chuyển động tuyến tính có độ chính xác cao và cung cấp quỹ đạo chuyển động ổn định cho đầu dò đo. Ví dụ, máy CMM cao cấp của Hexagon sử dụng sự kết hợp này để đo các chi tiết lớn và phức tạp với độ chính xác đo lường lên đến cấp micron, mang lại sự đảm bảo mạnh mẽ cho việc kiểm soát chất lượng chi tiết trong các ngành công nghiệp ô tô, hàng không vũ trụ và các ngành công nghiệp khác.
Lĩnh vực hàng không vũ trụ: Trong quá trình gia công và kiểm tra các bộ phận hàng không vũ trụ, yêu cầu độ chính xác cao. Ví dụ, gia công cánh động cơ máy bay đòi hỏi phải kiểm soát chính xác quỹ đạo chuyển động của dụng cụ để đảm bảo độ chính xác của biên dạng cánh. Đế đá granit của mô-đun chuyển động siêu chính xác phao khí một trục có thể được áp dụng cho trung tâm gia công năm trục và các thiết bị khác để cung cấp khả năng kiểm soát chuyển động có độ chính xác cao cho dụng cụ và đảm bảo độ chính xác gia công của cánh đáp ứng các yêu cầu thiết kế. Đồng thời, trong quá trình lắp ráp động cơ máy bay, cũng cần sử dụng thiết bị đo có độ chính xác cao để phát hiện độ chính xác lắp ráp của các bộ phận. Mô-đun chuyển động phao khí của đế đá granit có thể cung cấp hỗ trợ ổn định và chuyển động chính xác cho thiết bị đo, đảm bảo chất lượng lắp ráp.
Lĩnh vực kiểm tra quang học: Trong quá trình sản xuất và thử nghiệm các linh kiện quang học, cần phải thực hiện định vị và đo lường các linh kiện quang học có độ chính xác cao. Ví dụ, khi sản xuất các linh kiện quang học có độ chính xác cao như gương và thấu kính, cần phải sử dụng giao thoa kế và các thiết bị khác để phát hiện độ chính xác hình dạng bề mặt. Đế đá granit của mô-đun chuyển động siêu chính xác nổi khí trục đơn có thể được sử dụng làm bệ chuyển động của giao thoa kế, có thể đạt được độ chính xác định vị dưới micron và cung cấp hỗ trợ dữ liệu chính xác cho việc phát hiện các linh kiện quang học. Ngoài ra, trong thiết bị xử lý laser, cũng cần phải sử dụng bệ chuyển động có độ chính xác cao để điều khiển quỹ đạo quét của chùm tia laser, đế đá granit của mô-đun chuyển động nổi khí có thể đáp ứng yêu cầu này, để đạt được độ chính xác cao trong xử lý laser.
Thời gian đăng: 07-04-2025