Trong thế giới đầy cạnh tranh của sản xuất chất bán dẫn và đo lường tiên tiến, tính toàn vẹn cấu trúc là yếu tố thầm lặng quyết định sự thành công. Khi tốc độ quét tăng lên và kích thước chi tiết thu nhỏ về phía thang đo nguyên tử, ngành công nghiệp đã đạt được sự đồng thuận: nền tảng của một cỗ máy cũng quan trọng như phần mềm điều khiển nó. Điều này đã đặt ra yêu cầu...chân đế bằng đá granit cho chuyển động linh hoạtĐi đầu trong lĩnh vực kỹ thuật siêu chính xác. Không giống như khung kim loại, đá granit cung cấp sự kết hợp độc đáo giữa khối lượng, độ ổn định và khả năng giảm rung, điều cần thiết để duy trì độ chính xác dưới micromet trong môi trường gia tốc cao.
Tại ZHHIMG (www.zhhimg.com), chúng tôi hiểu rằng mộtĐế bằng đá granit cho chất bán dẫnCác ứng dụng không chỉ cần giữ tải mà còn phải hoạt động như một bộ lọc môi trường thụ động. Phòng sạch bán dẫn là nơi tập trung nhiều rung động siêu nhỏ, từ các thiết bị xử lý không khí đến các chuyển động qua lại nhanh chóng của các giá đỡ wafer. Cấu trúc tinh thể tự nhiên của đá granit có hệ số giảm chấn bên trong cao hơn đáng kể so với thép hoặc nhôm. Đặc tính vốn có này cho phép hệ thống chuyển động tuyến tính trên đế đá granit hấp thụ năng lượng tần số cao, giảm đáng kể thời gian ổn định và cho phép hệ thống đạt trạng thái “sẵn sàng quét” nhanh hơn. Trong một ngành công nghiệp mà năng suất được đo bằng số wafer mỗi giờ, những mili giây tiết kiệm được này sẽ trực tiếp dẫn đến lợi nhuận tăng lên cho nhà sản xuất thiết bị gốc (OEM).
Sự chuyển hướng sang sử dụng các cấu kiện bằng đá granit cho kiểm tra không phá hủy (NDE) càng minh họa thêm tính linh hoạt của vật liệu này. Trong các ứng dụng NDE, chẳng hạn như quét siêu âm độ phân giải cao hoặc chụp cắt lớp X-quang, bất kỳ sự cộng hưởng cấu trúc nào cũng có thể xuất hiện dưới dạng "nhiễu" trong dữ liệu cuối cùng. Bằng cách sử dụng các cấu kiện đá granit được mài chính xác, các kỹ sư có thể đảm bảo rằng các cảm biến di chuyển theo một đường dẫn hoàn toàn có thể dự đoán được. Độ ổn định kích thước lâu dài của đá granit đen Jinan đảm bảo rằng việc hiệu chuẩn hình học được thực hiện ngày hôm nay sẽ vẫn còn hiệu lực trong nhiều năm tới. Khả năng chống lại hiện tượng "biến dạng dẻo" hoặc biến dạng do tuổi tác này là lý do chính khiến các đối tác hàng không vũ trụ và ô tô toàn cầu đang chuyển từ các cấu trúc thép hàn sang các cụm lắp ráp bằng đá granit tích hợp.
Một trong những thách thức phức tạp nhất trong điều khiển chuyển động hiện đại là quản lý sự thay đổi nhiệt độ. Ngay cả trong các phòng thí nghiệm được kiểm soát nhiệt độ, nhiệt lượng sinh ra từ các động cơ tuyến tính công suất cao cũng có thể gây ra sự giãn nở cục bộ trong khung máy.chuyển động tuyến tính của nền đá granitNền tảng này mang lại một lợi thế đáng kể: hệ số giãn nở nhiệt cực thấp. Quán tính nhiệt này đảm bảo khoảng cách giữa các thành phần quan trọng—chẳng hạn như sự thẳng hàng của đế đá granit cho chuyển động động với các thanh ray được mài chính xác—luôn không đổi. Sự ổn định này là chìa khóa để đạt được độ lặp lại ở cấp độ nanomet, vì nó loại bỏ hiện tượng "lệch hình học" thường xảy ra với các hệ thống dựa trên kim loại trong các chu kỳ hoạt động kéo dài.
Hơn nữa, việc tích hợp các cơ cấu truyền động cơ khí lên các nền đá này đòi hỏi một phương pháp sản xuất tinh vi. Tại ZHHIMG, chúng tôi coi đế đá granit cho các công cụ bán dẫn như một thành phần sống động của vòng lặp điện-cơ khí. Bằng cách gia công chính xác các kênh hút chân không, bề mặt ổ trục khí và các chi tiết chèn mô-men xoắn cao trực tiếp vào đá, chúng tôi giảm thiểu "sự tích lũy lỗi" xảy ra khi sử dụng nhiều giá đỡ. Triết lý thiết kế "nguyên khối" này đảm bảo rằng lực do động cơ tuyến tính tạo ra được chuyển đổi trực tiếp thành chuyển động tuyến tính mượt mà thay vì bị mất do uốn cong hoặc rung động của cấu trúc.
Khi các ngành công nghiệp hướng tới kỷ nguyên tiếp theo của công nghệ nano, sự phối hợp giữa khoa học vật liệu và điều khiển chuyển động trở nên không thể tách rời. Việc lựa chọn một nền tảng đá granit hiệu suất cao cho chuyển động động không chỉ đơn thuần là một lựa chọn về cấu trúc; đó là cam kết đạt được tỷ lệ tín hiệu trên nhiễu cao nhất có thể trong mọi phép đo và mọi vết cắt. Cho dù đó là cung cấp nền tảng yên tĩnh cho máy khắc wafer hay kiến trúc cứng vững cho các thành phần đá granit dùng trong kiểm tra không phá hủy (NDE), ZHHIMG vẫn luôn tận tâm vượt qua giới hạn của những gì có thể trong thế giới siêu chính xác.
Để tìm hiểu cách các giải pháp đá granit tùy chỉnh của chúng tôi có thể ổn định nền tảng chuyển động thế hệ tiếp theo của bạn, hãy truy cập trung tâm tài nguyên kỹ thuật của chúng tôi tại đây.www.zhhimg.com.
Thời gian đăng bài: 16/01/2026