Đá granit là một vật liệu phổ biến cho giường máy trong thiết bị xử lý wafer do độ cứng đặc biệt, trọng lượng cao và khả năng chống mài mòn và ăn mòn tuyệt vời. Tuy nhiên, ngay cả với các đặc tính thuận lợi này, giường máy đá granit không miễn nhiễm với các khiếm khuyết nhất định có thể dẫn đến giảm hiệu suất, độ chính xác và độ tin cậy của thiết bị. Trong bài viết này, chúng tôi sẽ xem xét một số khiếm khuyết phổ biến nhất của giường máy đá granit cho thiết bị xử lý wafer và đề xuất các cách để giải quyết chúng.
1. Warp and Bow
Đá granit là một vật liệu tự nhiên, và như vậy, nó có thể chứa các biến thể nhỏ về kích thước và độ phẳng của nó. Những biến thể này có thể khiến giường máy granit bị cong vênh hoặc cúi đầu theo thời gian, điều này có thể ảnh hưởng đến độ chính xác của thiết bị. Ngoài ra, rung động nặng hoặc đạp xe nhiệt có thể làm trầm trọng thêm vấn đề này. Một cách để giải quyết vấn đề này là chọn đá granit với độ ổn định kích thước tốt hơn và sử dụng cố định để đảm bảo rằng giường máy vẫn phẳng.
2.
Đá granit là một vật liệu cứng và giòn, có nghĩa là nó có thể dễ dàng sứt mẻ hoặc nứt nếu nó chịu tác động hoặc căng thẳng cao. Những sự không hoàn hảo này có thể khiến giường máy trở nên không đồng đều, ảnh hưởng đến độ mịn của chuyển động của thiết bị xử lý wafer. Để ngăn chặn sứt mẻ và nứt, điều quan trọng là phải xử lý giường máy đá granit một cách cẩn thận trong quá trình lắp đặt và vận hành. Ngoài ra, bạn nên thực hiện kiểm tra thường xuyên để phát hiện bất kỳ dấu hiệu thiệt hại nào càng sớm càng tốt.
3. Độ nhám bề mặt
Bề mặt của một giường máy đá granit cần phải mịn màng và phẳng để đảm bảo rằng thiết bị xử lý wafer hoạt động chính xác và đáng tin cậy. Tuy nhiên, quá trình gia công được sử dụng để tạo ra giường máy có thể để lại sự nhám của bề mặt có thể ảnh hưởng đến hiệu suất của thiết bị. Để giải quyết vấn đề này, điều quan trọng là thực hiện quá trình gia công một cách cẩn thận và sử dụng các công cụ và kỹ thuật phù hợp để đạt được kết thúc bề mặt mong muốn.
4. Nhuộm và đổi màu
Giường máy đá granit có thể bị nhuộm màu và đổi màu theo thời gian do tiếp xúc với hóa chất, nước và các chất khác. Điều này có thể ảnh hưởng đến sự hấp dẫn thẩm mỹ của thiết bị và dẫn đến sự xuống cấp sớm của vật liệu đá granit. Để ngăn chặn nhuộm và đổi màu, điều quan trọng là sử dụng các quy trình làm sạch và bảo trì thích hợp, bao gồm lau thường xuyên và làm khô thiết bị sau khi sử dụng.
5. Phân phối trọng lượng không đồng đều
Giường máy đá granit nặng và nếu trọng lượng không được phân phối đều, nó có thể khiến thiết bị trở nên không ổn định và ảnh hưởng đến độ chính xác và độ chính xác của nó. Để đảm bảo rằng trọng lượng được phân phối đều, điều quan trọng là sử dụng các trình cấp độ và giá đỡ hỗ trợ trong quá trình cài đặt. Ngoài ra, bạn nên thực hiện kiểm tra cân nặng thường xuyên để phát hiện bất kỳ sự mất cân bằng nào.
Tóm lại, giường máy đá granit là một lựa chọn phổ biến cho thiết bị xử lý wafer do tính chất tuyệt vời của chúng. Tuy nhiên, chúng không miễn nhiễm với các khiếm khuyết nhất định có thể ảnh hưởng đến hiệu suất, độ chính xác và độ tin cậy của chúng. Bằng cách làm theo các thực tiễn tốt nhất và chăm sóc tốt thiết bị, có thể giải quyết các vấn đề này và đảm bảo rằng thiết bị hoạt động ở mức tối ưu trong nhiều năm tới.
Thời gian đăng: tháng 12-29-2023