Đá granit là vật liệu phổ biến cho giường máy trong thiết bị xử lý wafer do độ cứng đặc biệt, trọng lượng cao và khả năng chống mài mòn và ăn mòn tuyệt vời.Tuy nhiên, ngay cả với những đặc tính thuận lợi này, bệ máy bằng đá granit cũng không tránh khỏi một số khiếm khuyết nhất định có thể dẫn đến giảm hiệu suất, độ chính xác và độ tin cậy của thiết bị.Trong bài viết này, chúng tôi sẽ xem xét một số lỗi phổ biến nhất của bệ máy bằng đá granite dành cho thiết bị xử lý tấm bán dẫn và đề xuất cách giải quyết chúng.
1. Cong và cung
Đá granit là một vật liệu tự nhiên và do đó, nó có thể có những thay đổi nhỏ về kích thước và độ phẳng.Những biến thể này có thể khiến bệ máy bằng đá granite bị cong vênh hoặc cong vênh theo thời gian, điều này có thể ảnh hưởng đến độ chính xác của thiết bị.Ngoài ra, rung động mạnh hoặc luân chuyển nhiệt có thể làm trầm trọng thêm vấn đề này.Một cách để giải quyết vấn đề này là chọn đá granit có độ ổn định kích thước tốt hơn và sử dụng vật cố định để đảm bảo bệ máy luôn phẳng.
2. Sứt mẻ và nứt
Đá granite là một vật liệu cứng và giòn, có nghĩa là nó có thể dễ dàng sứt mẻ hoặc nứt nếu chịu tác động hoặc áp lực lớn.Những điểm không hoàn hảo này có thể làm cho bệ máy trở nên không đồng đều, ảnh hưởng đến sự chuyển động trơn tru của thiết bị xử lý wafer.Để tránh sứt mẻ và nứt, điều quan trọng là phải xử lý bệ máy bằng đá granite một cách cẩn thận trong quá trình lắp đặt và vận hành.Ngoài ra, bạn nên thực hiện kiểm tra thường xuyên để phát hiện mọi dấu hiệu hư hỏng càng sớm càng tốt.
3. Độ nhám bề mặt
Bề mặt của bệ máy đá granite cần phải nhẵn và phẳng để đảm bảo thiết bị xử lý wafer hoạt động chính xác và đáng tin cậy.Tuy nhiên, quá trình gia công được sử dụng để tạo ra bệ máy có thể để lại độ nhám bề mặt có thể ảnh hưởng đến hiệu suất của thiết bị.Để giải quyết vấn đề này, điều quan trọng là phải thực hiện quá trình gia công một cách cẩn thận và sử dụng các công cụ và kỹ thuật thích hợp để đạt được bề mặt hoàn thiện mong muốn.
4. Nhuộm và đổi màu
Giường máy bằng đá granit có thể bị ố và đổi màu theo thời gian do tiếp xúc với hóa chất, nước và các chất khác.Điều này có thể ảnh hưởng đến tính thẩm mỹ của thiết bị và dẫn đến sự xuống cấp sớm của vật liệu đá granite.Để ngăn ngừa sự ố màu và đổi màu, điều quan trọng là phải sử dụng các quy trình làm sạch và bảo trì thích hợp, bao gồm lau khô và lau khô thiết bị thường xuyên sau khi sử dụng.
5. Phân bổ trọng lượng không đồng đều
Giường máy bằng đá granit nặng, nếu trọng lượng không được phân bố đều có thể khiến thiết bị không ổn định và ảnh hưởng đến độ chính xác, chính xác.Để đảm bảo trọng lượng được phân bố đều, điều quan trọng là phải sử dụng máy san và giá đỡ trong quá trình lắp đặt.Ngoài ra, bạn nên thực hiện kiểm tra trọng lượng thường xuyên để phát hiện bất kỳ sự mất cân bằng nào.
Tóm lại, bệ máy bằng đá granit là lựa chọn phổ biến cho thiết bị xử lý tấm bán dẫn do đặc tính tuyệt vời của chúng.Tuy nhiên, chúng không tránh khỏi một số khiếm khuyết nhất định có thể ảnh hưởng đến hiệu suất, độ chính xác và độ tin cậy của chúng.Bằng cách tuân theo các biện pháp thực hành tốt nhất và chăm sóc tốt thiết bị, bạn có thể giải quyết những vấn đề này và đảm bảo rằng thiết bị hoạt động ở mức tối ưu trong nhiều năm tới.
Thời gian đăng: 29-12-2023