Đá granit là vật liệu phổ biến cho bệ máy trong thiết bị chế biến wafer nhờ độ cứng vượt trội, trọng lượng lớn và khả năng chống mài mòn và ăn mòn tuyệt vời. Tuy nhiên, ngay cả với những đặc tính ưu việt này, bệ máy granite vẫn có thể gặp một số khuyết điểm, có thể dẫn đến giảm hiệu suất, độ chính xác và độ tin cậy của thiết bị. Trong bài viết này, chúng tôi sẽ xem xét một số khuyết điểm thường gặp nhất của bệ máy granite trong thiết bị chế biến wafer và đề xuất các giải pháp khắc phục.
1. Sợi dọc và sợi ngang
Đá granit là vật liệu tự nhiên, do đó, kích thước và độ phẳng của nó có thể có những thay đổi nhỏ. Những thay đổi này có thể khiến bệ máy bằng đá granit bị cong vênh hoặc võng theo thời gian, ảnh hưởng đến độ chính xác của thiết bị. Ngoài ra, rung động mạnh hoặc chu kỳ nhiệt có thể làm trầm trọng thêm vấn đề này. Một cách để giải quyết vấn đề này là chọn đá granit có độ ổn định kích thước tốt hơn và sử dụng vật liệu cố định để đảm bảo bệ máy luôn phẳng.
2. Sứt mẻ và nứt
Đá granit là vật liệu cứng và giòn, có nghĩa là nó dễ bị sứt mẻ hoặc nứt vỡ nếu chịu tác động hoặc áp lực lớn. Những khiếm khuyết này có thể khiến bệ máy trở nên không bằng phẳng, ảnh hưởng đến độ trơn tru khi di chuyển của thiết bị xử lý wafer. Để tránh bị sứt mẻ và nứt vỡ, điều quan trọng là phải xử lý bệ máy bằng đá granit cẩn thận trong quá trình lắp đặt và vận hành. Ngoài ra, nên kiểm tra thường xuyên để phát hiện sớm bất kỳ dấu hiệu hư hỏng nào.
3. Độ nhám bề mặt
Bề mặt của bệ máy bằng đá granit cần phải nhẵn và phẳng để đảm bảo thiết bị xử lý wafer hoạt động chính xác và đáng tin cậy. Tuy nhiên, quá trình gia công tạo bệ máy có thể để lại bề mặt nhám, ảnh hưởng đến hiệu suất của thiết bị. Để giải quyết vấn đề này, điều quan trọng là phải thực hiện quá trình gia công một cách cẩn thận và sử dụng các công cụ và kỹ thuật phù hợp để đạt được độ hoàn thiện bề mặt mong muốn.
4. Vết bẩn và đổi màu
Bệ máy bằng đá granite có thể bị ố vàng và đổi màu theo thời gian do tiếp xúc với hóa chất, nước và các chất khác. Điều này có thể ảnh hưởng đến tính thẩm mỹ của thiết bị và dẫn đến sự xuống cấp sớm của vật liệu đá granite. Để ngăn ngừa ố vàng và đổi màu, điều quan trọng là phải áp dụng các quy trình vệ sinh và bảo dưỡng phù hợp, bao gồm việc lau chùi và sấy khô thiết bị thường xuyên sau khi sử dụng.
5. Phân bố trọng lượng không đều
Bệ máy đá granite rất nặng, và nếu trọng lượng không được phân bổ đều, thiết bị có thể bị mất ổn định và ảnh hưởng đến độ chính xác. Để đảm bảo trọng lượng được phân bổ đều, điều quan trọng là phải sử dụng bộ cân bằng và giá đỡ trong quá trình lắp đặt. Ngoài ra, nên thường xuyên kiểm tra trọng lượng để phát hiện bất kỳ sự mất cân bằng nào.
Tóm lại, bệ máy granite là lựa chọn phổ biến cho thiết bị chế biến wafer nhờ những đặc tính tuyệt vời của chúng. Tuy nhiên, chúng cũng có một số khiếm khuyết có thể ảnh hưởng đến hiệu suất, độ chính xác và độ tin cậy. Bằng cách tuân thủ các biện pháp tốt nhất và bảo dưỡng thiết bị đúng cách, chúng ta có thể giải quyết những vấn đề này và đảm bảo thiết bị hoạt động ở mức tối ưu trong nhiều năm tới.
Thời gian đăng: 29-12-2023