Đá granit là vật liệu phổ biến được sử dụng cho bệ máy trong thiết bị xử lý bán dẫn do độ cứng vượt trội, trọng lượng nặng và khả năng chống mài mòn và ăn mòn tuyệt vời. Tuy nhiên, ngay cả với những đặc tính ưu việt này, bệ máy bằng đá granit vẫn không tránh khỏi một số khuyết tật có thể dẫn đến giảm hiệu suất, độ chính xác và độ tin cậy của thiết bị. Trong bài viết này, chúng ta sẽ xem xét một số khuyết tật phổ biến nhất của bệ máy bằng đá granit trong thiết bị xử lý bán dẫn và đề xuất các cách khắc phục chúng.
1. Uốn cong và bắn cung
Đá granit là vật liệu tự nhiên, và do đó, nó có thể có những biến đổi nhỏ về kích thước và độ phẳng. Những biến đổi này có thể khiến mặt bàn máy bằng đá granit bị cong vênh theo thời gian, ảnh hưởng đến độ chính xác của thiết bị. Ngoài ra, rung động mạnh hoặc chu kỳ nhiệt có thể làm trầm trọng thêm vấn đề này. Một cách để giải quyết vấn đề này là chọn đá granit có độ ổn định kích thước tốt hơn và sử dụng các thiết bị cố định để đảm bảo mặt bàn máy luôn phẳng.
2. Sứt mẻ và nứt vỡ
Đá granit là vật liệu cứng và giòn, có nghĩa là nó có thể dễ dàng bị sứt mẻ hoặc nứt vỡ nếu chịu tác động hoặc áp lực mạnh. Những khuyết điểm này có thể khiến mặt bàn máy trở nên không bằng phẳng, ảnh hưởng đến độ trơn tru khi vận hành thiết bị xử lý wafer. Để ngăn ngừa sứt mẻ và nứt vỡ, điều quan trọng là phải xử lý mặt bàn máy bằng đá granit một cách cẩn thận trong quá trình lắp đặt và vận hành. Ngoài ra, nên thường xuyên kiểm tra để phát hiện bất kỳ dấu hiệu hư hỏng nào càng sớm càng tốt.
3. Độ nhám bề mặt
Bề mặt của bệ máy bằng đá granit cần phải nhẵn và phẳng để đảm bảo thiết bị xử lý tấm bán dẫn hoạt động chính xác và đáng tin cậy. Tuy nhiên, quá trình gia công để tạo ra bệ máy có thể để lại độ nhám bề mặt, ảnh hưởng đến hiệu suất của thiết bị. Để giải quyết vấn đề này, điều quan trọng là phải thực hiện quá trình gia công cẩn thận và sử dụng các công cụ và kỹ thuật thích hợp để đạt được độ hoàn thiện bề mặt mong muốn.
4. Vết ố và sự đổi màu
Mặt bàn máy bằng đá granit có thể bị ố vàng và đổi màu theo thời gian do tiếp xúc với hóa chất, nước và các chất khác. Điều này có thể ảnh hưởng đến vẻ ngoài thẩm mỹ của thiết bị và dẫn đến sự xuống cấp sớm của vật liệu đá granit. Để ngăn ngừa ố vàng và đổi màu, điều quan trọng là phải sử dụng các quy trình làm sạch và bảo dưỡng thích hợp, bao gồm lau chùi và làm khô thiết bị thường xuyên sau khi sử dụng.
5. Phân bố trọng lượng không đồng đều
Mặt bàn máy bằng đá granit rất nặng, và nếu trọng lượng không được phân bố đều, nó có thể khiến thiết bị trở nên không ổn định và ảnh hưởng đến độ chính xác. Để đảm bảo trọng lượng được phân bố đều, điều quan trọng là phải sử dụng các thiết bị cân bằng và giá đỡ trong quá trình lắp đặt. Ngoài ra, nên thường xuyên kiểm tra trọng lượng để phát hiện bất kỳ sự mất cân bằng nào.
Tóm lại, mặt bàn máy bằng đá granit là lựa chọn phổ biến cho thiết bị xử lý tấm bán dẫn nhờ các đặc tính tuyệt vời của chúng. Tuy nhiên, chúng không miễn nhiễm với một số khuyết tật có thể ảnh hưởng đến hiệu suất, độ chính xác và độ tin cậy. Bằng cách tuân thủ các quy trình tốt nhất và bảo dưỡng thiết bị đúng cách, có thể giải quyết những vấn đề này và đảm bảo thiết bị hoạt động ở mức tối ưu trong nhiều năm tới.
Thời gian đăng bài: 29/12/2023