Trong lĩnh vực sản xuất cao cấp và nghiên cứu khoa học tiên tiến, bệ di chuyển nổi khí nén tĩnh chính xác là thiết bị then chốt để đạt được hoạt động siêu chính xác. Đế chính xác bằng đá granit là bộ phận hỗ trợ cốt lõi của bệ, hiệu suất của nó liên quan chặt chẽ đến môi trường làm việc. Hiểu và đáp ứng các yêu cầu về môi trường này không chỉ có thể đảm bảo hoạt động có độ chính xác cao của bệ mà còn là một phần quan trọng của doanh nghiệp để nâng cao khả năng cạnh tranh trong các lĩnh vực liên quan, được mô tả chi tiết dưới đây.
1. Nhiệt độ: kiểm soát chính xác để đảm bảo sự ổn định về kích thước
Mặc dù đá granit được biết đến với tính ổn định của nó, hệ số giãn nở nhiệt của nó không phải là không và những thay đổi nhỏ về nhiệt độ vẫn có thể ảnh hưởng đến độ chính xác về kích thước của nó. Nói chung, hệ số giãn nở nhiệt của đá granit là 5-7 ×10⁻⁶/℃. Trong trường hợp ứng dụng của nền tảng chuyển động nổi không khí áp suất tĩnh chính xác, sự thay đổi nhỏ này được khuếch đại bởi nền tảng, điều này có thể dẫn đến độ lệch của độ chính xác chuyển động. Ví dụ, trong quy trình sản xuất chip bán dẫn, quy trình quang khắc để yêu cầu độ chính xác định vị ở mức danami, nhiệt độ môi trường dao động 1 ° C, chiều dài cạnh của đế đá granit 1 mét có thể tạo ra độ giãn nở hoặc co lại tuyến tính 5-7 micron, đủ để làm lệch mẫu quang khắc chip, làm giảm năng suất. Do đó, sàn nổi khí áp suất tĩnh chính xác được trang bị đế chính xác bằng đá granit, nhiệt độ môi trường làm việc lý tưởng phải được kiểm soát chặt chẽ ở mức 20 ° C ± 1 ° C, doanh nghiệp có thể lắp đặt hệ thống điều hòa không khí nhiệt độ không đổi có độ chính xác cao, liên tục theo dõi và điều chỉnh chính xác nhiệt độ môi trường, duy trì kích thước của đế đá granit ổn định, để đảm bảo rằng sàn hoạt động có độ chính xác cao.
2. Độ ẩm: kiểm soát hợp lý, bảo vệ hiệu suất cơ sở
Độ ẩm cũng có ảnh hưởng đáng kể đến đế đá granit chính xác. Trong môi trường có độ ẩm cao, đá granit dễ hấp thụ hơi nước và có thể có sự ngưng tụ trên bề mặt, điều này không chỉ ảnh hưởng đến hoạt động bình thường của hệ thống tuyển nổi khí mà còn dẫn đến xói mòn lâu dài bề mặt đá granit, làm giảm độ chính xác và tuổi thọ của nó. Lấy xưởng mài thấu kính quang học làm ví dụ, nếu độ ẩm cao hơn 60%RH trong thời gian dài, hơi nước hấp thụ trên bề mặt đế đá granit sẽ phá hủy tính đồng nhất của màng phao khí, dẫn đến giảm độ chính xác khi mài thấu kính và các khuyết tật bề mặt. Do đó, độ ẩm tương đối của môi trường làm việc cần được kiểm soát trong khoảng 40%-60%RH. Các doanh nghiệp có thể sử dụng máy hút ẩm, cảm biến độ ẩm và các thiết bị khác để theo dõi và kiểm soát độ ẩm theo thời gian thực, tạo ra môi trường độ ẩm phù hợp cho đế đá granit chính xác và đảm bảo hoạt động ổn định của bệ di chuyển nổi khí áp suất tĩnh chính xác.
3. Độ sạch: kiểm soát chặt chẽ, loại bỏ sự can thiệp của các hạt
Các hạt bụi là "kẻ thù" của nền tảng di chuyển nổi khí áp suất tĩnh chính xác và gây hại lớn cho đế chính xác bằng đá granit. Khi các hạt nhỏ xâm nhập vào khe hở màng khí giữa thanh trượt phao khí và đế đá granit, chúng có thể phá hủy tính đồng nhất của màng khí, tăng ma sát và thậm chí làm xước bề mặt đế, ảnh hưởng nghiêm trọng đến độ chính xác của chuyển động của nền. Trong xưởng gia công siêu chính xác của các bộ phận hàng không vũ trụ, nếu các hạt bụi trong không khí rơi xuống đế đá granit, quỹ đạo chuyển động của dụng cụ gia công có thể bị lệch, ảnh hưởng đến độ chính xác gia công của các bộ phận. Do đó, khu vực làm việc phải được giữ sạch sẽ và đạt tiêu chuẩn sạch sẽ là 10.000 hoặc thậm chí cao hơn. Các doanh nghiệp có thể lọc các hạt bụi trong không khí bằng cách lắp đặt bộ lọc không khí hiệu suất cao (HEPA) và yêu cầu nhân viên mặc quần áo không bụi, bao giày, v.v., để giảm bụi do con người mang đến và duy trì môi trường hoạt động có độ chính xác cao của đế đá granit và nền tảng di chuyển nổi khí áp suất tĩnh chính xác.
4. Rung: Cách ly hiệu quả để tạo ra không gian êm ái
Rung động bên ngoài sẽ ảnh hưởng nghiêm trọng đến độ chính xác của bệ nổi khí áp suất tĩnh chính xác, mặc dù đế đá granit chính xác có khả năng giảm rung động nhất định, nhưng rung động cường độ cao vẫn có thể phá vỡ giới hạn đệm của nó. Rung động do giao thông xung quanh nhà máy và hoạt động của thiết bị cơ khí lớn được truyền đến đế đá granit qua mặt đất, điều này sẽ ảnh hưởng đến độ chính xác của chuyển động của bệ. Trong CMM cao cấp, rung động có thể khiến tiếp xúc giữa đầu dò đo và phôi cần đo không ổn định, dẫn đến độ lệch của dữ liệu đo. Để giải quyết vấn đề này, cần áp dụng các biện pháp cách ly rung động hiệu quả, chẳng hạn như đặt miếng đệm cách ly rung động trong khu vực lắp đặt thiết bị, xây dựng nền cách ly rung động hoặc sử dụng hệ thống cách ly rung động chủ động để chủ động bù rung động bên ngoài và tạo ra môi trường làm việc yên tĩnh và ổn định cho đế đá granit chính xác và bệ chuyển động khí áp suất tĩnh chính xác.
Đáp ứng các yêu cầu về môi trường nêu trên, để phát huy hết ưu điểm của đế chính xác bằng đá granit trong nền tảng chuyển động nổi khí nén tĩnh chính xác, đảm bảo nền tảng cung cấp dịch vụ điều khiển chuyển động có độ chính xác cao và độ ổn định cao cho nhiều ngành công nghiệp. Nếu doanh nghiệp có thể chú ý đến những chi tiết này trong môi trường sản xuất, họ sẽ nắm bắt được cơ hội trong sản xuất chính xác, nghiên cứu khoa học và các lĩnh vực khác, nâng cao khả năng cạnh tranh và đạt được sự phát triển bền vững.
Thời gian đăng: 10-04-2025