Các linh kiện bằng đá granit được sử dụng rộng rãi trong thiết bị bán dẫn nhờ độ ổn định và độ bền cao. Chúng đóng vai trò quan trọng trong việc duy trì độ chính xác của các quy trình sản xuất bán dẫn. Tuy nhiên, hiệu quả và độ tin cậy của các linh kiện đá granit phụ thuộc vào các tiêu chuẩn và thông số kỹ thuật được tuân thủ trong quá trình thiết kế, chế tạo và lắp đặt.
Sau đây là một số tiêu chuẩn và thông số kỹ thuật cần tuân thủ khi sử dụng các linh kiện bằng đá granit trong thiết bị bán dẫn:
1. Mật độ vật liệu: Mật độ của vật liệu đá granit được sử dụng trong sản xuất các cấu kiện đá granit nên ở mức khoảng 2,65g/cm3. Đây là mật độ của đá granit tự nhiên, đảm bảo tính nhất quán và độ tin cậy về đặc tính của các cấu kiện đá granit.
2. Độ phẳng: Độ phẳng là một trong những thông số kỹ thuật quan trọng nhất đối với các bộ phận bằng đá granit được sử dụng trong thiết bị bán dẫn. Độ phẳng của bề mặt đá granit phải dưới 0,001 mm/m2. Điều này đảm bảo bề mặt của bộ phận phẳng và bằng phẳng, điều cần thiết cho các quy trình sản xuất bán dẫn.
3. Độ hoàn thiện bề mặt: Bề mặt của các chi tiết bằng đá granit phải đạt chất lượng cao, với độ nhám bề mặt dưới 0,4µm. Điều này đảm bảo bề mặt của chi tiết đá granit có hệ số ma sát thấp, rất quan trọng cho hoạt động trơn tru của thiết bị bán dẫn.
4. Hệ số giãn nở nhiệt: Thiết bị bán dẫn hoạt động ở các nhiệt độ khác nhau, và các bộ phận bằng đá granit phải có khả năng chịu được sự thay đổi nhiệt độ mà không bị biến dạng. Hệ số giãn nở nhiệt của đá granit được sử dụng trong thiết bị bán dẫn phải nhỏ hơn 2 x 10^-6 /°C.
5. Dung sai kích thước: Dung sai kích thước rất quan trọng đối với hiệu suất của các cấu kiện đá granit. Dung sai kích thước của các cấu kiện đá granit phải nằm trong khoảng ±0,1mm đối với tất cả các kích thước quan trọng.
6. Độ cứng và khả năng chống mài mòn: Độ cứng và khả năng chống mài mòn là những thông số kỹ thuật thiết yếu đối với các bộ phận bằng đá granit được sử dụng trong thiết bị bán dẫn. Đá granit có độ cứng trên thang Mohs từ 6-7, làm cho nó trở thành vật liệu phù hợp để sử dụng trong các ứng dụng thiết bị bán dẫn.
7. Khả năng cách điện: Các bộ phận bằng đá granit được sử dụng trong thiết bị bán dẫn cần có khả năng cách điện tuyệt vời để ngăn ngừa hư hỏng cho các linh kiện điện tử nhạy cảm. Điện trở phải trên 10^9 Ω/cm.
8. Khả năng chống hóa chất: Các bộ phận bằng đá granit cần có khả năng chống lại các hóa chất thông thường được sử dụng trong quy trình sản xuất chất bán dẫn, chẳng hạn như axit và kiềm.
Tóm lại, các tiêu chuẩn và thông số kỹ thuật đối với các linh kiện đá granit được sử dụng trong thiết bị bán dẫn là rất quan trọng để đảm bảo tuổi thọ và độ tin cậy của cả linh kiện và thiết bị mà chúng được sử dụng. Các hướng dẫn nêu trên cần được tuân thủ nghiêm ngặt trong quá trình thiết kế, chế tạo và lắp đặt để đảm bảo các linh kiện đạt chất lượng cao nhất. Bằng cách tuân thủ các tiêu chuẩn và thông số kỹ thuật này, các nhà sản xuất bán dẫn có thể đảm bảo hiệu suất thiết bị của họ luôn tối ưu, dẫn đến tăng năng suất và lợi nhuận.
Thời gian đăng bài: 20/03/2024