Đá granit là vật liệu phổ biến trong ngành công nghiệp chế biến wafer nhờ các đặc tính cơ học và độ bền vượt trội. Đây là loại đá tự nhiên được khai thác từ các mỏ đá trên khắp thế giới và đã được sử dụng hàng thế kỷ cho nhiều mục đích xây dựng khác nhau, bao gồm cả sản xuất thiết bị bán dẫn. Trong bài viết này, chúng ta sẽ thảo luận về các đặc tính của đá granit và các ứng dụng khác nhau của nó trong thiết bị chế biến wafer.
Tính chất của đá granit
Đá granit là một loại đá macma được cấu thành từ mica, fenspat và thạch anh. Nó nổi tiếng với độ bền, độ cứng và độ bền vượt trội, là vật liệu lý tưởng cho các ứng dụng đòi hỏi độ chính xác cao. Đá granit có hệ số giãn nở nhiệt thấp, nghĩa là nó không giãn nở hay co lại do thay đổi nhiệt độ, mang lại độ ổn định cao. Ngoài ra, đá granit có khả năng chống ăn mòn và hóa chất, lý tưởng để sử dụng trong môi trường khắc nghiệt.
Ứng dụng của đá granit trong thiết bị chế biến wafer
Đá granit là vật liệu được sử dụng rộng rãi trong ngành công nghiệp chế biến wafer nhờ sự kết hợp độc đáo các tính chất của nó. Sau đây là một số ứng dụng của đá granit trong thiết bị chế biến wafer:
1. Công cụ đo lường
Đá granit thường được sử dụng trong sản xuất các công cụ đo lường, chẳng hạn như máy đo tọa độ (CMM) và hệ thống đo lường quang học. Những công cụ này đòi hỏi bề mặt ổn định, có khả năng chống rung và chịu nhiệt. Độ cứng cao và độ giãn nở nhiệt thấp của đá granit khiến nó trở thành vật liệu lý tưởng cho các ứng dụng như vậy.
2. Kẹp bánh wafer
Mâm cặp wafer được sử dụng để giữ wafer trong quá trình sản xuất. Những mâm cặp này cần bề mặt phẳng và ổn định để ngăn wafer bị cong vênh. Đá granit cung cấp bề mặt phẳng, có độ ổn định cao và chống cong vênh, khiến nó trở thành vật liệu tuyệt vời cho mâm cặp wafer.
3. Dụng cụ đánh bóng cơ học hóa học (CMP)
Dụng cụ CMP được sử dụng để đánh bóng wafer trong quá trình sản xuất. Những dụng cụ này đòi hỏi một nền tảng ổn định, có khả năng chống rung và chịu nhiệt. Độ cứng tuyệt vời và độ giãn nở nhiệt thấp của đá granit khiến nó trở thành vật liệu lý tưởng cho dụng cụ CMP.
4. Thiết bị kiểm tra wafer
Thiết bị kiểm tra wafer được sử dụng để kiểm tra các khuyết tật và sai sót trên wafer. Các dụng cụ này đòi hỏi bề mặt ổn định và phẳng để đảm bảo phép đo chính xác. Đá granite cung cấp bề mặt ổn định và phẳng, chống cong vênh, khiến nó trở thành vật liệu lý tưởng cho thiết bị kiểm tra wafer.
Phần kết luận
Tóm lại, đá granit là vật liệu được sử dụng rộng rãi trong ngành công nghiệp chế biến wafer nhờ các đặc tính cơ học và độ bền vượt trội. Nó thường được sử dụng trong sản xuất dụng cụ đo lường, kẹp wafer, dụng cụ CMP và thiết bị kiểm tra wafer. Sự kết hợp độc đáo của các đặc tính này khiến nó trở thành vật liệu lý tưởng cho các ứng dụng đòi hỏi độ chính xác cao. Với nhiều ưu điểm, đá granit vẫn là lựa chọn phổ biến cho thiết bị chế biến wafer, và việc sử dụng nó có thể sẽ tiếp tục phát triển trong tương lai.
Thời gian đăng: 27-12-2023