Đá granit là một vật liệu phổ biến trong ngành chế biến wafer do tính chất cơ học và độ bền đặc biệt của nó. Đó là một viên đá tự nhiên được khai thác từ các mỏ đá trên khắp thế giới và đã được sử dụng trong nhiều thế kỷ cho các mục đích xây dựng khác nhau, bao gồm cả sản xuất thiết bị bán dẫn. Trong bài viết này, chúng tôi sẽ thảo luận về các thuộc tính của đá granit và các ứng dụng khác nhau của nó trong thiết bị xử lý wafer.
Tính chất của đá granit
Đá granit là một tảng đá lửa bao gồm mica, fenspat và thạch anh. Nó được biết đến với sức mạnh, độ cứng và độ bền đặc biệt, làm cho nó trở thành một vật liệu lý tưởng cho các ứng dụng đòi hỏi độ chính xác và độ chính xác cao. Đá granit có hệ số giãn nở nhiệt thấp, điều đó có nghĩa là nó không mở rộng hoặc hợp đồng do thay đổi nhiệt độ, làm cho nó rất ổn định. Ngoài ra, đá granit có khả năng chống ăn mòn và hóa chất, làm cho nó trở thành một vật liệu lý tưởng để sử dụng trong môi trường khắc nghiệt.
Các ứng dụng của đá granit trong thiết bị chế biến wafer
Đá granit là một vật liệu được sử dụng rộng rãi trong ngành chế biến wafer do sự kết hợp độc đáo của các thuộc tính. Sau đây là một số ứng dụng của đá granit trong thiết bị xử lý wafer:
1. Công cụ đo lường
Đá granit thường được sử dụng trong sản xuất các công cụ đo lường, chẳng hạn như máy đo tọa độ (CMMS) và hệ thống đo quang. Những công cụ này yêu cầu các bề mặt ổn định có thể chống lại các rung động và nhiệt. Độ cứng cao và sự giãn nở nhiệt thấp của đá granit làm cho nó trở thành một vật liệu lý tưởng cho các ứng dụng như vậy.
2. Wafer Chucks
Chucks wafer được sử dụng để giữ các tấm wafer trong quá trình sản xuất. Những mâm cặp này đòi hỏi một bề mặt phẳng và ổn định để ngăn Wafer không bị cong vênh hoặc uốn cong. Đá granit cung cấp một bề mặt phẳng rất ổn định và chống cong vênh, làm cho nó trở thành một vật liệu tuyệt vời cho các mucks wafer.
3. Công cụ đánh bóng cơ học hóa học (CMP)
Các công cụ CMP được sử dụng để đánh bóng wafer trong quá trình sản xuất. Những công cụ này đòi hỏi một nền tảng ổn định có thể chống lại các rung động và nhiệt. Độ cứng tuyệt vời và sự giãn nở nhiệt thấp của đá granit làm cho nó trở thành một vật liệu lý tưởng cho các công cụ CMP.
4. Thiết bị kiểm tra wafer
Thiết bị kiểm tra wafer được sử dụng để kiểm tra wafer cho các khuyết tật và lỗ hổng. Những công cụ này đòi hỏi một bề mặt ổn định và phẳng để đảm bảo các phép đo chính xác. Granit cung cấp một bề mặt ổn định và phẳng có khả năng chống cong vênh, làm cho nó trở thành một vật liệu lý tưởng cho thiết bị kiểm tra wafer.
Phần kết luận
Tóm lại, đá granit là một vật liệu được sử dụng rộng rãi trong ngành chế biến wafer do tính chất cơ học và độ bền đặc biệt của nó. Nó thường được sử dụng trong sản xuất các công cụ đo lường, mâm cặp wafer, công cụ CMP và thiết bị kiểm tra wafer. Sự kết hợp độc đáo của các thuộc tính làm cho nó trở thành một vật liệu lý tưởng cho các ứng dụng đòi hỏi độ chính xác và độ chính xác cao. Với nhiều lợi ích, đá granit vẫn là một lựa chọn phổ biến cho thiết bị xử lý wafer và việc sử dụng nó có thể sẽ tiếp tục phát triển trong tương lai.
Thời gian đăng: Tháng 12-27-2023