Đá granit là một vật liệu phổ biến trong ngành công nghiệp chế biến bán dẫn nhờ các đặc tính cơ học và độ bền vượt trội. Đây là một loại đá tự nhiên được khai thác từ các mỏ đá trên khắp thế giới và đã được sử dụng trong nhiều thế kỷ cho các mục đích xây dựng khác nhau, bao gồm cả sản xuất thiết bị bán dẫn. Trong bài viết này, chúng ta sẽ thảo luận về các đặc tính của đá granit và các ứng dụng khác nhau của nó trong thiết bị chế biến bán dẫn.
Tính chất của đá granit
Đá granit là một loại đá magma được cấu tạo từ mica, feldspar và thạch anh. Nó nổi tiếng với độ bền, độ cứng và độ chắc chắn vượt trội, khiến nó trở thành vật liệu lý tưởng cho các ứng dụng đòi hỏi độ chính xác cao. Đá granit có hệ số giãn nở nhiệt thấp, nghĩa là nó không giãn nở hoặc co lại do thay đổi nhiệt độ, do đó rất ổn định. Ngoài ra, đá granit có khả năng chống ăn mòn và hóa chất, khiến nó trở thành vật liệu lý tưởng để sử dụng trong môi trường khắc nghiệt.
Ứng dụng của đá granit trong thiết bị xử lý tấm bán dẫn
Đá granit là vật liệu được sử dụng rộng rãi trong ngành công nghiệp chế biến tấm bán dẫn nhờ sự kết hợp độc đáo của các đặc tính. Sau đây là một số ứng dụng của đá granit trong thiết bị chế biến tấm bán dẫn:
1. Dụng cụ đo lường
Đá granit thường được sử dụng trong sản xuất các dụng cụ đo lường, chẳng hạn như máy đo tọa độ (CMM) và hệ thống đo quang học. Những dụng cụ này yêu cầu bề mặt ổn định, có khả năng chịu được rung động và nhiệt. Độ cứng cao và hệ số giãn nở nhiệt thấp của đá granit khiến nó trở thành vật liệu lý tưởng cho các ứng dụng này.
2. Mâm cặp wafer
Mâm cặp wafer được sử dụng để giữ các wafer trong quá trình sản xuất. Các mâm cặp này cần một bề mặt phẳng và ổn định để ngăn wafer bị cong vênh hoặc biến dạng. Đá granit cung cấp một bề mặt phẳng có độ ổn định cao và khả năng chống biến dạng tốt, làm cho nó trở thành vật liệu tuyệt vời cho mâm cặp wafer.
3. Dụng cụ đánh bóng cơ học hóa học (CMP)
Các thiết bị CMP được sử dụng để đánh bóng các tấm bán dẫn trong quá trình sản xuất. Những thiết bị này cần một bệ đỡ ổn định có khả năng chịu được rung động và nhiệt. Độ cứng tuyệt vời và hệ số giãn nở nhiệt thấp của đá granit khiến nó trở thành vật liệu lý tưởng cho các thiết bị CMP.
4. Thiết bị kiểm tra wafer
Thiết bị kiểm tra wafer được sử dụng để kiểm tra các wafer xem có khuyết tật và lỗi hay không. Những thiết bị này cần một bề mặt phẳng và ổn định để đảm bảo đo lường chính xác. Đá granit cung cấp một bề mặt phẳng và ổn định, có khả năng chống cong vênh, làm cho nó trở thành vật liệu lý tưởng cho thiết bị kiểm tra wafer.
Phần kết luận
Tóm lại, đá granit là vật liệu được sử dụng rộng rãi trong ngành công nghiệp chế biến wafer nhờ các đặc tính cơ học và độ bền vượt trội. Nó thường được sử dụng trong sản xuất các dụng cụ đo lường, mâm cặp wafer, dụng cụ CMP và thiết bị kiểm tra wafer. Sự kết hợp độc đáo các đặc tính làm cho nó trở thành vật liệu lý tưởng cho các ứng dụng đòi hỏi độ chính xác cao. Với nhiều lợi ích, đá granit vẫn là lựa chọn phổ biến cho thiết bị chế biến wafer, và việc sử dụng nó có khả năng sẽ tiếp tục tăng trưởng trong tương lai.
Thời gian đăng bài: 27/12/2023