Giường máy bằng đá granit là một thành phần quan trọng trong thiết bị chế biến wafer. Nó đề cập đến một đế phẳng và ổn định làm bằng đá granit mà trên đó thiết bị chế biến wafer được lắp đặt. Đá granit là một loại đá tự nhiên được sử dụng rộng rãi trong ngành sản xuất do có độ ổn định tuyệt vời, độ giãn nở nhiệt thấp, giảm chấn động tốt và độ chính xác cao. Trong thiết bị chế biến wafer, giường máy bằng đá granit đóng vai trò quan trọng trong việc đảm bảo độ chính xác, độ ổn định và khả năng lặp lại của máy.
Vì thiết bị xử lý wafer được sử dụng để chế tạo wafer bán dẫn, độ chính xác của máy móc là yếu tố quan trọng đối với sự thành công của sản xuất bán dẫn. Ngay cả một lỗi nhỏ trong việc căn chỉnh máy móc cũng có thể ảnh hưởng đáng kể đến kết quả xử lý wafer, có thể gây ra hậu quả nghiêm trọng cho sản phẩm cuối cùng. Do đó, điều cần thiết là phải có một cơ sở ổn định và chính xác cho thiết bị xử lý wafer, có thể đảm bảo rằng máy móc hoạt động chính xác và nhất quán.
Đá granit lý tưởng cho bệ máy vì nó có hệ số giãn nở nhiệt thấp, cho phép nó duy trì kích thước và hình dạng khi nhiệt độ thay đổi. Điều này đặc biệt quan trọng đối với thiết bị xử lý wafer vì máy tạo ra rất nhiều nhiệt trong quá trình xử lý. Nếu bệ máy giãn nở hoặc co lại do nhiệt độ thay đổi, sự căn chỉnh của máy có thể bị ảnh hưởng, dẫn đến sự không chính xác trong quá trình xử lý.
Hơn nữa, đá granit có đặc tính giảm rung tốt, có thể hấp thụ mọi rung động do máy móc hoặc các nguồn bên ngoài tạo ra. Điều này giúp giảm mức độ tiếng ồn trong cơ sở xử lý wafer và đảm bảo rằng rung động không ảnh hưởng đến độ chính xác của máy móc.
Đá granit cũng có khả năng chống mài mòn, ăn mòn và hư hỏng do hóa chất. Đây là vật liệu bền có thể chịu được môi trường làm việc khắc nghiệt của thiết bị xử lý wafer và duy trì độ ổn định và độ chính xác trong thời gian dài.
Tóm lại, bệ máy bằng đá granit là một thành phần quan trọng trong thiết bị xử lý wafer. Nó cung cấp một đế phẳng và ổn định cho máy móc, giúp đảm bảo độ chính xác, độ ổn định và khả năng lặp lại của chúng. Đá granit là vật liệu lý tưởng cho bệ máy do độ giãn nở nhiệt thấp, giảm rung tốt và độ chính xác cao. Khi ngành công nghiệp bán dẫn tiếp tục phát triển và tiến hóa, tầm quan trọng của thiết bị xử lý wafer chính xác và ổn định sẽ tiếp tục tăng lên, khiến bệ máy bằng đá granit trở thành một phần thiết yếu của quy trình sản xuất chất bán dẫn.
Thời gian đăng: 29-12-2023