Ngành công nghiệp bán dẫn hoạt động ở quy mô độ chính xác vượt xa giới hạn của sự khéo léo của con người. Cốt lõi của khâu kiểm soát chất lượng trong ngành này—bước cuối cùng và quan trọng trước khi một con chip được coi là sẵn sàng đưa ra thị trường—nằm ở một vật liệu tưởng chừng đơn giản: đá granit. Cụ thể, các bệ đá granit chính xác là giải pháp được lựa chọn hàng đầu cho việc kiểm tra chip bán dẫn, một thực tế có thể gây ngạc nhiên cho những người ngoài lĩnh vực này. Tại Tập đoàn ZHONGHUI (ZHHIMG®), chúng tôi hiểu rõ mối quan hệ này. Chuyên môn của chúng tôi trong việc chế tạo các linh kiện và dụng cụ đo lường bằng đá granit siêu chính xác đã giúp chúng tôi trở thành đối tác quan trọng của một số công ty bán dẫn và đo lường hàng đầu thế giới. Việc dựa vào đá granit cho ứng dụng quan trọng này không phải là vấn đề truyền thống mà là do vật lý và kỹ thuật thuần túy. Đó là việc đáp ứng một loạt các yêu cầu độc đáo và khắt khe mà không vật liệu nào khác có thể đáp ứng hiệu quả như vậy.
Nhu cầu bất khuất về sự ổn định
Kiểm tra chip bán dẫn không chỉ đơn thuần là kiểm tra khuyết tật; mà còn là xác minh rằng các đặc điểm siêu nhỏ, thường được đo bằng nanomet, được hình thành hoàn hảo. Quá trình này liên quan đến các thiết bị tinh vi, chẳng hạn như hệ thống kiểm tra quang học (AOI) và máy quét CT công nghiệp, phải duy trì sự ổn định tuyệt đối trong suốt quá trình quét. Bất kỳ rung động, giãn nở nhiệt hoặc biến dạng cấu trúc nào cũng có thể gây ra lỗi, dẫn đến kết quả dương tính giả hoặc tệ hơn là bỏ sót khuyết tật.
Đây là điểm mạnh của đá granite. Không giống như kim loại, vốn giãn nở và co lại đáng kể theo sự thay đổi nhiệt độ, đá granite có hệ số giãn nở nhiệt cực thấp. Đá granite đen ZHHIMG® của chúng tôi có mật độ khoảng 3100kg/m3, mang lại độ ổn định nhiệt vượt trội. Điều này có nghĩa là một mặt bàn bằng đá granite sẽ duy trì hình dạng và độ phẳng ngay cả trong môi trường có nhiệt độ xung quanh dao động nhẹ. Trong một xưởng được kiểm soát khí hậu như cơ sở rộng 10.000m2 của chúng tôi, nơi nhiệt độ được duy trì với độ chính xác cao, độ ổn định của đá granite là không gì sánh kịp.
Hơn nữa, đặc tính giảm chấn vượt trội của đá granit là vô cùng quan trọng. Nó tự nhiên hấp thụ và phân tán các rung động cơ học, ngăn không cho chúng truyền đến các thiết bị kiểm tra tinh vi. Trong một nhà máy sản xuất bận rộn với nhiều máy móc, khả năng giảm chấn rung động này rất quan trọng để duy trì tính toàn vẹn của phép đo. Các xưởng của chúng tôi được thiết kế với mục đích này, với sàn bê tông siêu dày và các rãnh chống rung để tạo ra một môi trường nơi các nghệ nhân của chúng tôi có thể đạt được độ chính xác ở mức nanomet trong công việc của họ.
Cuộc tìm kiếm sự phẳng tuyệt đối
Để hệ thống kiểm tra chip hoạt động hiệu quả, bề mặt đế phải càng phẳng càng tốt. Khái niệm “bề mặt phẳng” trong ngữ cảnh này không phải là trực quan mà là toán học, được đo bằng các dụng cụ như máy đo giao thoa laser Renishaw và máy đo độ phẳng điện tử Wyler của Thụy Sĩ. Mục tiêu của người kiểm tra chip là đo độ phẳng của chip đến vài micromet, hoặc thậm chí là nanomet. Để làm được điều này, bản thân bệ đỡ phải phẳng hơn nhiều lần.
Đá granit là một loại vật liệu mà nhờ các kỹ thuật mài thủ công chuyên biệt của chúng tôi, có thể được mài phẳng đến mức gần như không gì sánh kịp. Các nghệ nhân bậc thầy của chúng tôi, nhiều người trong số họ có hơn 30 năm kinh nghiệm, sở hữu một giác quan nhạy bén cho phép họ “cảm nhận” được sự sai lệch độ phẳng chỉ vài micromet. Sự tinh tế của con người, kết hợp với thiết bị đẳng cấp thế giới của chúng tôi, cho phép chúng tôi sản xuất các tấm đá granit có độ phẳng ở mức nanomet, biến chúng thành mặt phẳng tham chiếu lý tưởng cho việc hiệu chuẩn và kiểm tra. Đây chính là nền tảng mà trên đó việc kiểm tra chất bán dẫn chính xác được xây dựng.
Đáp ứng các yêu cầu đặc thù của ngành công nghiệp bán dẫn
Ngành công nghiệp bán dẫn cũng có những yêu cầu đặc thù ngoài tính ổn định và độ phẳng. Ví dụ, nhiều hệ thống kiểm tra sử dụng ổ trục khí để chuyển động không ma sát. Đá granit là vật liệu tuyệt vời cho các đường dẫn ổ trục khí nhờ độ cứng vốn có và độ xốp cho phép luồng khí mịn và đồng đều. Các ổ trục khí bằng đá granit của chúng tôi được gia công tùy chỉnh để đảm bảo chuyển động trơn tru, chính xác, điều cần thiết cho việc kiểm tra tốc độ cao, độ chính xác cao.
Ngoài ra, đá granite đen ZHHIMG® của chúng tôi không nhiễm từ và không dẫn điện, điều này rất quan trọng đối với các linh kiện điện tử nhạy cảm. Nó không gây nhiễu với trường điện từ của thiết bị kiểm tra hoặc chính con chip. Tính trung tính này là một đặc điểm mà nhiều nền tảng kim loại khác không thể cung cấp.
Tại ZHHIMG®, chúng tôi không chỉ bán đá granite. Chúng tôi cung cấp nền tảng quan trọng cho công nghệ tiên tiến nhất thế giới. Cam kết của chúng tôi với khách hàng là cung cấp các giải pháp không gian lận, không che giấu, không gây hiểu nhầm. Chúng tôi hợp tác chặt chẽ với các đối tác, bao gồm những tập đoàn lớn như Samsung và các viện đo lường, để đảm bảo sản phẩm của chúng tôi không chỉ đáp ứng các thông số kỹ thuật của họ mà còn góp phần vào sự phát triển công nghệ của họ. Trong cuộc cạnh tranh khốc liệt của ngành sản xuất chất bán dẫn, nền tảng đá granite chính xác của ZHHIMG® là một lực lượng thầm lặng, vững chắc, mang lại sự ổn định và độ chính xác giúp hiện thực hóa những đổi mới của tương lai.
Thời gian đăng bài: 28/09/2025