♦Nhôm oxit (Al)2O3)
Các linh kiện gốm sứ chính xác do Tập đoàn Sản xuất Thông minh ZhongHui (ZHHIMG) sản xuất được chế tạo từ nguyên liệu gốm sứ có độ tinh khiết cao, 92~97% alumina, 99,5% alumina, >99,9% alumina, và được ép đẳng tĩnh lạnh CIP. Quá trình thiêu kết và gia công chính xác ở nhiệt độ cao, độ chính xác kích thước ± 0,001mm, độ nhẵn đạt Ra0,1, nhiệt độ sử dụng lên đến 1600 độ. Màu sắc gốm sứ đa dạng có thể được sản xuất theo yêu cầu của khách hàng, chẳng hạn như: đen, trắng, be, đỏ sẫm, v.v. Các linh kiện gốm sứ chính xác do công ty chúng tôi sản xuất có khả năng chịu nhiệt độ cao, chống ăn mòn, mài mòn và cách điện, có thể sử dụng lâu dài trong môi trường nhiệt độ cao, chân không và khí ăn mòn.
Được sử dụng rộng rãi trong nhiều thiết bị sản xuất chất bán dẫn: Khung (giá đỡ bằng gốm), Đế (đế), Tay/Cầu (bộ điều khiển), Linh kiện cơ khí và Vòng bi khí bằng gốm.
| Tên sản phẩm | Ống vuông / Ống / Thanh gốm Alumina độ tinh khiết cao 99 | |||||
| Mục lục | Đơn vị | 85% Al2O3 | 95% Al2O3 | 99% Al2O3 | 99,5% Al2O3 | |
| Tỉ trọng | g/cm3 | 3.3 | 3,65 | 3.8 | 3.9 | |
| Sự hấp thụ nước | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
| Nhiệt độ thiêu kết | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
| Độ cứng | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
| Độ bền uốn (20℃)) | Mpa | 200 | 300 | 340 | 360 | |
| Cường độ nén | Kgf/cm2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
| Nhiệt độ làm việc lâu dài | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
| Nhiệt độ làm việc tối đa | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
| Điện trở suất thể tích | 20℃ | Ω.cm3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
| 100℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
| 300℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 | ||
Ứng dụng của gốm alumina có độ tinh khiết cao:
1. Áp dụng cho thiết bị bán dẫn: mâm cặp chân không bằng gốm, đĩa cắt, đĩa làm sạch, mâm cặp bằng gốm.
2. Các bộ phận chuyển wafer: mâm cặp xử lý wafer, đĩa cắt wafer, đĩa làm sạch wafer, cốc hút kiểm tra quang học wafer.
3. Ngành công nghiệp màn hình phẳng LED / LCD: đầu phun gốm, đĩa mài gốm, CHỐT NÂNG, thanh ray CHỐT.
4. Truyền thông quang học, công nghiệp năng lượng mặt trời: ống gốm, thanh gốm, máy cạo gốm in lưới bảng mạch.
5. Các bộ phận chịu nhiệt và cách điện: ổ trục gốm.
Hiện nay, gốm nhôm oxit có thể được chia thành gốm có độ tinh khiết cao và gốm thông thường. Dòng gốm nhôm oxit có độ tinh khiết cao dùng để chỉ vật liệu gốm chứa hơn 99,9% Al₂O₃. Do nhiệt độ thiêu kết lên tới 1650 - 1990°C và bước sóng truyền dẫn từ 1 ~ 6μm, nó thường được chế biến thành thủy tinh nóng chảy thay vì nồi nấu bằng bạch kim: có thể được sử dụng làm ống natri do khả năng truyền sáng và chống ăn mòn kim loại kiềm. Trong ngành công nghiệp điện tử, nó có thể được sử dụng làm vật liệu cách điện tần số cao cho đế IC. Theo hàm lượng nhôm oxit khác nhau, dòng gốm nhôm oxit thông thường có thể được chia thành gốm 99, gốm 95, gốm 90 và gốm 85. Đôi khi, gốm có 80% hoặc 75% nhôm oxit cũng được phân loại là dòng gốm nhôm oxit thông thường. Trong số đó, vật liệu gốm nhôm oxit 99 được sử dụng để sản xuất nồi nấu nhiệt độ cao, ống lò chống cháy và các vật liệu chịu mài mòn đặc biệt như ổ trục gốm, phớt gốm và tấm van. Gốm nhôm 95 chủ yếu được sử dụng làm bộ phận chống ăn mòn và chịu mài mòn. Gốm nhôm 85 thường được pha trộn một số tính chất, do đó cải thiện hiệu suất điện và độ bền cơ học. Nó có thể sử dụng molypden, niobi, tantali và các phớt kim loại khác, và một số được sử dụng làm thiết bị chân không điện.
| Mặt hàng chất lượng (Giá trị đại diện) | Tên sản phẩm | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
| Thành phần hóa học Sản phẩm thiêu kết dễ dàng có hàm lượng natri thấp | H₂O | % | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 |
| Cười | % | 0,1 | 0,2 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | |
| Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
| SiO₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
| Na₂O | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
| MgO* | % | - | 0,11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
| Al₂0₃ | % | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | |
| Đường kính hạt trung bình (MT-3300, phương pháp phân tích laser) | μm | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
| Kích thước tinh thể α | μm | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
| Mật độ hình thành** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2,35 | 2,57 | 2,56 | |
| Mật độ thiêu kết** | g/cm³ | 3,88 | 3,93 | 3,94 | 3,93 | 3,88 | 3,77 | 3.22 | |
| Tốc độ co ngót của dây thiêu kết** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 | |
* MgO không được tính vào độ tinh khiết của Al₂O₃.
* Bột không có cặn 29,4MPa (300kg/cm²), nhiệt độ thiêu kết là 1600°C.
AES-11 / 11C / 11F: Thêm 0,05 ~ 0,1% MgO, khả năng thiêu kết tuyệt vời, do đó có thể áp dụng cho gốm oxit nhôm có độ tinh khiết hơn 99%.
AES-22S: Được đặc trưng bởi mật độ tạo hình cao và tốc độ co ngót thấp của dây chuyền thiêu kết, sản phẩm này có thể áp dụng cho đúc khuôn trượt và các sản phẩm quy mô lớn khác với độ chính xác về kích thước theo yêu cầu.
AES-23 / AES-31-03: Có mật độ tạo hình cao hơn, tính lưu biến và độ nhớt thấp hơn AES-22S. Chất trước được sử dụng cho gốm sứ trong khi chất sau được sử dụng làm chất giảm nước cho vật liệu chống cháy, ngày càng được ưa chuộng.
♦Đặc điểm của Silicon Carbide (SiC)
| Đặc điểm chung | Độ tinh khiết của các thành phần chính (wt%) | 97 | |
| Màu sắc | Đen | ||
| Mật độ (g/cm³) | 3.1 | ||
| Độ hấp thụ nước (%) | 0 | ||
| Đặc điểm cơ học | Độ bền uốn (MPa) | 400 | |
| Mô đun trẻ (GPa) | 400 | ||
| Độ cứng Vickers (GPa) | 20 | ||
| Đặc điểm nhiệt | Nhiệt độ hoạt động tối đa (°C) | 1600 | |
| Hệ số giãn nở nhiệt | Nhiệt độ phòng ~ 500°C | 3.9 | |
| (1/°C x 10-6) | Nhiệt độ phòng ~ 800°C | 4.3 | |
| Độ dẫn nhiệt (W/m x K) | 130 110 | ||
| Độ bền sốc nhiệt ΔT (°C) | 300 | ||
| Đặc điểm điện | Điện trở suất thể tích | 25°C | 3 x 106 |
| 300°C | - | ||
| 500°C | - | ||
| 800°C | - | ||
| Hằng số điện môi | 10GHz | - | |
| Tổn thất điện môi (x 10-4) | - | ||
| Hệ số Q (x 104) | - | ||
| Điện áp đánh thủng điện môi (KV/mm) | - | ||
♦Gốm silicon nitride
| Vật liệu | Đơn vị | Si₃N₄ |
| Phương pháp thiêu kết | - | Áp suất khí thiêu kết |
| Tỉ trọng | g/cm³ | 3.22 |
| Màu sắc | - | Xám đậm |
| Tỷ lệ hấp thụ nước | % | 0 |
| Mô đun trẻ | Điểm trung bình | 290 |
| Độ cứng Vickers | Điểm trung bình | 18 - 20 |
| Cường độ nén | Mpa | 2200 |
| Sức mạnh uốn cong | Mpa | 650 |
| Độ dẫn nhiệt | W/mK | 25 |
| Khả năng chống sốc nhiệt | Δ (°C) | 450 - 650 |
| Nhiệt độ hoạt động tối đa | °C | 1200 |
| Điện trở suất thể tích | Ω·cm | > 10 ^ 14 |
| Hằng số điện môi | - | 8.2 |
| Độ bền điện môi | kV/mm | 16 |