♦ Alumina (al2O3)
Các bộ phận gốm chính xác được sản xuất bởi Nhóm sản xuất thông minh Zhonghui (ZHHIMG) có thể được làm bằng nguyên liệu gốm có độ tinh khiết cao, 92 ~ 97% alumina, 99,5% alumina,> 99,9% alumina và ép lạnh CIP. Cintering nhiệt độ cao và gia công chính xác, độ chính xác kích thước ± 0,001mm, độ mịn lên đến RA0.1, sử dụng nhiệt độ lên đến 1600 độ. Các màu sắc khác nhau của gốm sứ có thể được thực hiện theo yêu cầu của khách hàng, chẳng hạn như: đen, trắng, màu be, đỏ sẫm, v.v ... Các bộ phận gốm chính xác do công ty chúng tôi sản xuất có khả năng chống lại nhiệt độ cao, ăn mòn, hao mòn và cách nhiệt và có thể được sử dụng trong một thời gian dài trong môi trường nhiệt độ cao, chân không và ăn mòn.
Được sử dụng rộng rãi trong một loạt các thiết bị sản xuất bán dẫn: khung (khung gốm), chất nền (cơ sở), cánh tay/ cầu (thao tác), các thành phần cơ học và ổ trục gốm.
| Tên sản phẩm | Độ tinh khiết cao 99 Ống / ống vuông gốm Alumina | |||||
| Chỉ mục | Đơn vị | 85 % al2o3 | 95 % Al2O3 | 99 % al2o3 | 99,5 % Al2O3 | |
| Tỉ trọng | g/cm3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
| Hấp thụ nước | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
| Nhiệt độ thiêu kết | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
| Độ cứng | MOHS | 7 | 9 | 9 | 9 | |
| Sức mạnh uốn (20 ℃)) | MPA | 200 | 300 | 340 | 360 | |
| Cường độ nén | KGF/CM2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
| Nhiệt độ làm việc lâu dài | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
| Tối đa. Nhiệt độ làm việc | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
| Điện trở suất thể tích | 20 | . CM3 | > 1013 | > 1013 | > 1013 | > 1013 |
| 100 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
| 300 | > 109 | > 1010 | > 1012 | > 1012 | ||
Áp dụng gốm sứ Alumina có độ tinh khiết cao:
1. Áp dụng cho thiết bị bán dẫn: Chuck chân không gốm, đĩa cắt, đĩa làm sạch, mâm cặp gốm.
2. Bộ phận chuyển wafer: Chucks xử lý wafer, đĩa cắt wafer, đĩa lau sạch wafer, cốc hút quang wafer.
3. LED / LCD Bảng điều khiển phẳng Ngành: vòi phun gốm, đĩa mài gốm, pin nâng, đường ray pin.
4. Truyền thông quang học, Công nghiệp năng lượng mặt trời: ống gốm, thanh gốm, máy phế liệu gốm in màn hình mạch mạch.
5. Các bộ phận cách nhiệt và cách nhiệt nhiệt: vòng bi gốm.
Hiện tại, gốm oxit nhôm có thể được chia thành độ tinh khiết cao và gốm thông thường. Sê -ri gốm oxit nhôm có độ tinh khiết cao đề cập đến vật liệu gốm có chứa hơn 99,9% al₂o₃. Do nhiệt độ thiêu kết lên tới 1650 - 1990 ° C và bước sóng truyền của nó là 1 ~ 6μM, nó thường được xử lý thành kính hợp nhất thay vì nồi nấu kim loại bạch kim: có thể được sử dụng làm ống natri do khả năng truyền ánh sáng và khả năng chống ăn mòn đối với kim loại kiềm. Trong ngành công nghiệp điện tử, nó có thể được sử dụng làm vật liệu cách điện tần số cao cho chất nền IC. Theo các nội dung khác nhau của oxit nhôm, loạt gốm oxit nhôm phổ biến có thể được chia thành 99 gốm sứ, 95 gốm sứ, 90 gốm và 85 gốm. Đôi khi, gốm với 80% hoặc 75% oxit nhôm cũng được phân loại là loạt gốm oxit nhôm phổ biến. Trong số đó, 99 vật liệu gốm oxit nhôm được sử dụng để sản xuất nồi nấu kim loại nhiệt độ cao, ống lò chống cháy và vật liệu chống mài mòn đặc biệt, như vòng bi gốm, niêm phong gốm và tấm van. 95 Gốm nhôm chủ yếu được sử dụng làm phần chống mài mòn chống ăn mòn. 85 Gốm sứ thường được trộn trong một số tính chất, do đó cải thiện hiệu suất điện và cường độ cơ học. Nó có thể sử dụng molypden, niobi, tantalum và các con dấu kim loại khác, và một số được sử dụng làm thiết bị chân không điện.
| Mục chất lượng (giá trị đại diện) | Tên sản phẩm | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11f | AES-22s | AES-23 | AL-31-03 | |
| Thành phần hóa học sản phẩm thiêu kết dễ dàng hóa học thấp | H₂O | % | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 |
| Cười | % | 0,1 | 0,2 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | |
| Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
| Sio₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
| Na₂o | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
| Mgo* | % | - | 0.11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
| Al₂0₃ | % | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | |
| Đường kính hạt trung bình (MT-3300, Phương pháp phân tích laser) | μm | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
| α kích thước tinh thể | μm | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
| Mật độ hình thành ** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
| Mật độ thiêu kết ** | g/cm³ | 3,88 | 3,93 | 3,94 | 3,93 | 3,88 | 3,77 | 3.22 | |
| Tốc độ thu hẹp của đường thiêu kết ** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 | |
* MGO không được bao gồm trong tính toán độ tinh khiết của al₂o₃.
* Không có bột tỷ lệ 29,4MPa (300kg/cm²), nhiệt độ thiêu kết là 1600 ° C.
AES-11 / 11C / 11F: Thêm 0,05 ~ 0,1% MGO, khả năng thiêu kết là tuyệt vời, do đó, nó được áp dụng cho gốm oxit nhôm với độ tinh khiết hơn 99%.
AES-22s: Đặc trưng bởi mật độ hình thành cao và tốc độ thu hẹp của đường thiêu kết, nó có thể áp dụng cho việc đúc hình thức trượt và các sản phẩm quy mô lớn khác với độ chính xác kích thước cần thiết.
AES-23 / AES-31-03: Nó có mật độ hình thành cao hơn, thixotropy và độ nhớt thấp hơn AES-22s. Cái trước được sử dụng để gốm sứ trong khi cái sau được sử dụng làm bộ giảm nước cho vật liệu chống cháy, trở nên phổ biến.
♦ Đặc điểm silicon cacbua (sic)
| Đặc điểm chung | Độ tinh khiết của các thành phần chính (WT%) | 97 | |
| Màu sắc | Đen | ||
| Mật độ (g/cm³) | 3.1 | ||
| Hấp thụ nước (%) | 0 | ||
| Đặc điểm cơ học | Sức mạnh uốn (MPA) | 400 | |
| Mô đun trẻ (GPA) | 400 | ||
| Độ cứng của Vickers (GPA) | 20 | ||
| Đặc điểm nhiệt | Nhiệt độ hoạt động tối đa (° C) | 1600 | |
| Hệ số mở rộng nhiệt | RT ~ 500 ° C. | 3.9 | |
| (1/° C x 10-6) | RT ~ 800 ° C. | 4.3 | |
| Độ dẫn nhiệt (w/m x k) | 130 110 | ||
| Điện trở sốc nhiệt ΔT (° C) | 300 | ||
| Đặc điểm điện | Điện trở suất thể tích | 25 ° C. | 3 x 106 |
| 300 ° C. | - | ||
| 500 ° C. | - | ||
| 800 ° C. | - | ||
| Hằng số điện môi | 10GHz | - | |
| Mất điện môi (x 10-4) | - | ||
| Yếu tố q (x 104) | - | ||
| Điện áp phân hủy điện môi (KV/mm) | - | ||
♦ Silicon nitride gốm
| Vật liệu | Đơn vị | Si₃n₄ |
| Phương pháp thiêu kết | - | Áp lực khí thiêu kết |
| Tỉ trọng | g/cm³ | 3.22 |
| Màu sắc | - | Màu xám đen |
| Tốc độ hấp thụ nước | % | 0 |
| Mô đun trẻ | GPA | 290 |
| Vickers độ cứng | GPA | 18 - 20 |
| Cường độ nén | MPA | 2200 |
| Sức mạnh uốn cong | MPA | 650 |
| Độ dẫn nhiệt | W/mk | 25 |
| Điện trở sốc nhiệt | (° C) | 450 - 650 |
| Nhiệt độ hoạt động tối đa | ° C. | 1200 |
| Điện trở suất thể tích | Ω · cm | > 10 ^ 14 |
| Hằng số điện môi | - | 8.2 |
| Sức mạnh điện môi | KV/mm | 16 |