8 ứng dụng điển hình của các linh kiện đá granit chính xác trong thiết bị bán dẫn

Trong thiết bị bán dẫn, cấu trúc nền là một phần của yêu cầu độ chính xác. Một công cụ kiểm tra wafer, một nền tảng xử lý laser hoặc một bàn đo lường không chỉ cần một cấu trúc chính xác về kích thước ngay từ đầu. Nó cần một cấu trúc giữ được hình dạng của mình qua các chu kỳ nhiệt, chống rung, giữ nguyên các mối quan hệ lắp ráp và luôn sạch sẽ trong môi trường được kiểm soát. Sự kết hợp của các yêu cầu đó là lý do tại sao đá granit chính xác đã trở thành vật liệu cấu trúc tiêu chuẩn trong toàn ngành công nghiệp bán dẫn.

Dưới đây là tám ứng dụng điển hình củacác thành phần đá granit chính xácTrong lĩnh vực thiết bị bán dẫn, và đối với mỗi thiết bị: các bộ phận điển hình liên quan, các vấn đề kỹ thuật quyết định sự thành công, và những gì nhà cung cấp nên cung cấp. Nếu bạn đang thiết kế một công cụ mới, đây cũng là một danh sách kiểm tra cho yêu cầu của bạn.

Một bệ đá granit lớn được gia công tỉ mỉ với các hốc phay và các chi tiết ren – nền tảng cấu trúc cho một mô-đun thiết bị bán dẫn.

1. Các loại đế dùng cho thiết bị kiểm tra wafer và đo lường quang học.

Các hệ thống kiểm tra quang học, xem xét khuyết tật và đo lường trực quan đều có chung một yêu cầu: một giá đỡ ổn định và điểm tham chiếu đo lường dưới hệ thống quang học độ phân giải cao. Bất kỳ chuyển động nhỏ nào của đế đều trở thành nhiễu trong hình ảnh.

• Các thành phần điển hình:Đế đá granit, cột, cầu, bề mặt lắp đặt ray quang học, các chi tiết ren.
• Trọng tâm kỹ thuật:Độ phẳng của mặt phẳng tham chiếu quang học, độ song song giữa các bề mặt lắp đặt, độ chính xác vị trí lỗ, độ ổn định nhiệt, khả năng kiểm soát rung động.
• Những gì ZHHIMG cung cấp:Lựa chọn vật liệu, gia công kết cấu, mài chính xác, lắp đặt chi tiết chèn và báo cáo kiểm tra kích thước cho mọi bề mặt quan trọng.
• Về thắc mắc của bạn:Bản vẽ 2D/3D, tải trọng quang học, độ lặp lại của mục tiêu, phạm vi nhiệt độ môi trường.

2. Hệ thống xử lý wafer và định vị chính xác

Các bàn trượt XY, bệ động cơ tuyến tính và cơ cấu định vị độ chính xác cao cần một điểm chuẩn cơ học cứng vững, không bị trôi lệch trong quá trình tăng tốc và giảm tốc hàng nghìn lần mỗi giờ.

• Các thành phần điển hình:tấm đế bằng đá granit, đá granitgiường máy, ray dẫn hướng tuyến tính, tấm lót lắp đặt động cơ.
• Trọng tâm kỹ thuật:Độ phẳng và độ thẳng của các bệ dẫn hướng, độ vuông góc giữa các trục, độ bền kéo của chi tiết lắp ghép, khả năng giảm chấn rung động do chuyển động của bệ.
• Những gì ZHHIMG cung cấp:Gia công rãnh ray với dung sai chặt chẽ, lắp đặt chi tiết chèn kèm tài liệu về mô-men xoắn, dữ liệu đo độ phẳng và độ biến dạng.
• Về thắc mắc của bạn:Hành trình, tải trọng, biên độ gia tốc, độ chính xác định vị mục tiêu, hướng lắp đặt.

3. Các bộ phận cấu trúc cho thiết bị AOI

Các công cụ kiểm tra quang học tự động kết hợp khả năng tạo ảnh độ phân giải cao với chuyển động nhanh. Phần đế, thanh đỡ và cột đỡ mang theo camera và hệ thống chiếu sáng, còn khung lắp ráp giữ cho mọi mô-đun ở vị trí hình học phù hợp.

• Các thành phần điển hình:Đế bằng đá granit, dầm ngang, cột, các mặt lắp đặt camera và cảm biến, các giao diện khung lắp ráp.
• Trọng tâm kỹ thuật:Độ vuông góc giữa cột và đế, độ song song của dầm, độ chính xác vị trí lỗ và rãnh, độ ổn định hình học lâu dài.
• Những gì ZHHIMG cung cấp:Các bộ phận kết cấu được gia công và đánh bóng, các chi tiết kim loại ghép nối, lắp ráp sẵn tại nhà máy và kiểm tra hình học trước khi giao hàng.
• Về thắc mắc của bạn:Dữ liệu CAD, bố trí camera và ánh sáng, phạm vi chuyển động, độ ổn định hình ảnh cần thiết.

4. Các loại đế cho hệ thống kiểm tra CT và X-quang công nghiệp

Các hệ thống chụp CT và X-quang công nghiệp tích hợp nguồn phát, bàn thao tác và đầu dò trên cùng một cấu trúc. Bất kỳ chuyển động tương đối nào giữa ba thành phần này đều dẫn đến sai số hình ảnh.

• Các thành phần điển hình:Đế bằng đá granit, tấm gắn bệ xoay, cột nguồn và cột dò, bề mặt tích hợp chắn bức xạ.
• Trọng tâm kỹ thuật:Chuẩn căn chỉnh đồng trục giữa nguồn, bệ đỡ và bộ dò, độ phẳng của đế trục quay, kiểm soát rung động, độ chính xác vị trí lỗ.
• Những gì ZHHIMG cung cấp:Gia công đa bề mặt với các mốc căn chỉnh, lắp đặt dao tiện, báo cáo kích thước đầy đủ kèm theo các điều kiện đo.
• Về thắc mắc của bạn:Khoảng cách giữa nguồn phát và đầu dò, tải trọng quay, mục tiêu độ phân giải, diện tích mặt bằng và phương pháp lắp đặt.

5. Các nền tảng xử lý laser và đo lường laser

Gia công vi mô bằng laser femtosec và picosec, khắc chính xác, căn chỉnh quang học và thiết bị đo laser đều tập trung năng lượng qua một đường truyền tia có kích thước tính bằng micromet. Bệ đỡ bên dưới hệ thống quang học không được làm dịch chuyển chùm tia.

• Các thành phần điển hình:Bệ đỡ bằng đá granit, giá đỡ đầu quang học, thanh ray gắn đường dẫn chùm tia, bàn để phôi.
• Trọng tâm kỹ thuật:Độ phẳng của mặt phẳng lắp đặt quang học, độ ổn định nhiệt trong môi trường laser kín, khả năng giảm chấn rung động tần số cao.
• Những gì ZHHIMG cung cấp:Đá granit hạt mịn được lựa chọn để giảm chấn, bề mặt lắp đặt quang học được mài nhẵn, tích hợp với cấu trúc phụ dạng tổ ong hoặc thép khi cần thiết.
• Về thắc mắc của bạn:Bước sóng và công suất laser, bố cục quang học, khu vực làm việc, yêu cầu về độ sạch.

6. Thiết bị đo tọa độ (CMM), đo video và đo lường chính xác.

Từ lâu, đá granit đã là vật liệu mặc định cho ngành đo lường: bàn làm việc, đường dẫn hướng, cột, cầu và đế của máy đo tọa độ (CMM), máy đo video và các dụng cụ đo chính xác khác đều dựa vào độ ổn định và khả năng mài nhẵn của đá granit.

• Các thành phần điển hình:bàn làm việc,đo lường chính xácCác bề mặt tham chiếu, kết cấu cầu và cột, ghế dẫn hướng.
• Trọng tâm kỹ thuật:Độ phẳng ở mức micromet của bàn đo, độ thẳng của các rãnh dẫn hướng trong toàn bộ hành trình, khả năng chống mài mòn dưới tiếp xúc trượt.
• Những gì ZHHIMG cung cấp:Các bề mặt được đánh bóng thủ công với bản đồ độ phẳng, chứng chỉ hiệu chuẩn có thể truy xuất nguồn gốc đến thiết bị thực tế đã sử dụng, tùy chọn đánh bóng theo bộ phù hợp.
• Về thắc mắc của bạn:Phạm vi đo, cấp độ chính xác, mục tiêu MPE, tiêu chuẩn áp dụng.

7. Nền tảng chuyển động chính xác sử dụng ổ trục khí nén

Các ổ trục khí chuyển động trên một lớp màng áp suất mà không có tiếp xúc rắn, điều này làm giảm ma sát và mài mòn xuống gần như bằng không. Đá granit bên dưới ổ trục khí không phải là một khối thụ động: chất lượng bề mặt của nó quyết định trực tiếp cách thức hoạt động của lớp màng.

• Các thành phần điển hình:chân đế bằng đá granit với các cạnh được mài phẳng.ổ trục khíbề mặt, ray dẫn hướng, khuôn mẫu bằng đá granit cho các dụng cụ đo độ tròn và độ phẳng, cấu trúc bệ đỡ siêu chính xác.
• Trọng tâm kỹ thuật:Độ hoàn thiện bề mặt và độ phẳng của các bề mặt màng khí, kiểm soát lỗ rỗng và khuyết tật siêu nhỏ, độ song song giữa các bề mặt ổ trục đối diện, độ ổn định lâu dài.
• Những gì ZHHIMG cung cấp:Các bề mặt ổ đỡ khí được mài và đánh bóng với hình dạng được chứng nhận, các bộ bề mặt phù hợp và bao bì tương thích với phòng sạch.
• Về thắc mắc của bạn:Thiết kế màng khí, tải trọng và tải trước, hành trình, độ thẳng hoặc độ tròn mục tiêu.

8. Nền tảng lắp ráp mô-đun cho các mô-đun thiết bị bán dẫn

Việc tích hợp cuối cùng các mô-đun có độ chính xác cao diễn ra dưới điều kiện nhiệt độ, độ ẩm và độ rung được kiểm soát, thường là trong phòng sạch. Các bệ bằng đá granit đóng vai trò là điểm chuẩn lắp ráp, nơi các bộ phận bằng đá granit, các bộ phận kim loại, các bộ phận gốm, thanh ray, các bộ phận ổ trục khí và các mô-đun chuyển động được kết hợp với nhau.

• Các thành phần điển hình:Các bệ lắp ráp bằng đá granit dạng mô-đun, giao diện dụng cụ và đồ gá, bề mặt kết nối mô-đun.
• Trọng tâm kỹ thuật:Tính nhất quán dữ liệu giữa các mô-đun, độ chính xác của chi tiết lắp ghép và chốt định vị, khả năng tương thích với điều kiện lắp ráp trong phòng sạch.
• Những gì ZHHIMG cung cấp:phòng sạchlắp ráp, kiểm tra và hiệu chuẩngồm các mô-đun hoàn chỉnh, tích hợp các thành phần bằng đá granit, kim loại và gốm sứ vào một cụm lắp ráp đã được kiểm chứng.
• Về thắc mắc của bạn:Danh sách mô-đun, cấp độ sạch, trình tự lắp ráp, tiêu chí kiểm tra cuối cùng.

Một danh sách kiểm tra kỹ thuật duy nhất cho cả tám ứng dụng.

Trong tất cả các ứng dụng này, các câu hỏi kỹ thuật vẫn giữ nguyên: hình dạng hình học nào phải đáp ứng yêu cầu, trên diện tích bao nhiêu, trong điều kiện nhiệt độ và rung động nào, và trong bao lâu. Một nhà cung cấp đá granit có thể trả lời bằng dữ liệu đo lường – bản đồ độ phẳng, báo cáo vật liệu theo lô, hồ sơ mô-men xoắn khi lắp đặt – là một nhà cung cấp có thể được kiểm toán. ZHHIMG hỗ trợthiết bị bán dẫncác nhà sản xuất có cách tiếp cận chính xác như vậy.

ZHHIMG® hỗ trợ các nhà sản xuất thiết bị bán dẫn với các sản phẩm tùy chỉnh bằng đá granit như đế, khung, ray dẫn hướng, kết cấu đệm khí và các cụm lắp ráp chính xác tích hợp. Vui lòng liên hệ với chúng tôi kèm bản vẽ để được đánh giá kỹ thuật.