Một cuộc cách mạng về độ chính xác cắt wafer! Làm thế nào để duy trì độ chính xác định vị ±5µm cho đế đá granit?

Trong cuộc chiến đỉnh cao về "độ chính xác nano" trong sản xuất chất bán dẫn, ngay cả sai sót nhỏ nhất trong thiết bị cắt wafer cũng có thể biến một con chip thành phế phẩm. Đế đá granit là người hùng thầm lặng kiểm soát độ chính xác định vị lặp lại ±5um, viết lại các quy tắc sản xuất chính xác với ba kỳ quan thiên nhiên của nó.

"Neo giữ ổn định" chống biến dạng nhiệt: Hệ số giãn nở nhiệt của đá granit thấp, chỉ khoảng 5-7 ×10⁻⁶/℃, bằng một phần ba so với vật liệu kim loại. Dưới tác động nhiệt sinh ra bởi hoạt động tốc độ cao của thiết bị cắt wafer, các vật liệu thông thường sẽ bị biến dạng do giãn nở và co lại nhiệt, gây ra sự dịch chuyển vị trí của đầu cắt. Tuy nhiên, đế đá granit có thể giữ nguyên trạng thái "bất động", về cơ bản loại bỏ sự sai lệch vị trí do biến dạng nhiệt gây ra và tạo nền tảng vững chắc cho độ chính xác.

"Tấm chắn thầm lặng" hấp thụ rung động: Tiếng ồn liên tục của máy công cụ và sự rung động không ngừng của thiết bị trong xưởng có thể được coi là "kẻ giết người hàng loạt" đối với độ chính xác. Cấu trúc tinh thể độc đáo của đá granit giống như một bộ giảm xóc tự nhiên, có khả năng nhanh chóng chuyển đổi các rung động bên ngoài và rung động cơ học do hoạt động của thiết bị tạo ra thành năng lượng nhiệt để tản nhiệt. Trong khi các đế khác vẫn "rung lắc" do rung động, đế đá granit đã tạo ra một nền tảng ổn định cho đầu cắt, giúp đầu cắt không bị dịch chuyển, cho phép đạt được độ chính xác ±5µm.

"Pháo đài vĩnh cửu" chống ăn mòn: Các xưởng sản xuất chất bán dẫn thường chứa đầy các chất ăn mòn như dung dịch khắc và chất tẩy rửa axit và kiềm. Trong môi trường như vậy, các bề mặt kim loại sẽ dần bị gỉ và biến dạng. Đá granit, với tính ổn định hóa học vốn có, hoàn toàn không phản ứng với các chất hóa học này. Cho dù được sử dụng trong bao nhiêu năm, nó vẫn có thể duy trì tính toàn vẹn cấu trúc và liên tục đảm bảo độ chính xác cao trong gia công.

Từ những ưu điểm về vật liệu đến khả năng gia công siêu chính xác, nền đá granit đã chứng minh bằng sức mạnh của mình rằng không phải vật liệu nào cũng có thể đáp ứng được những thách thức khắc nghiệt của ngành sản xuất bán dẫn. Chính nhờ những ưu điểm tự nhiên không thể thay thế này mà nền đá granit đã trở thành chìa khóa giúp thiết bị cắt wafer đạt được độ chính xác định vị lặp lại ±5µm, và thúc đẩy ngành công nghiệp bán dẫn không ngừng hướng tới độ chính xác cao hơn!