ITrong ngành công nghiệp sản xuất bán dẫn, độ chính xác của thiết bị kiểm tra wafer là rất quan trọng để đảm bảo chất lượng của các mạch tích hợp. Các đế máy bằng đá granit có độ chính xác cao, như những sản phẩm do ZHHIMG® cung cấp, đóng vai trò thiết yếu trong việc nâng cao hiệu suất của các thiết bị này. Dưới đây là cách chúng tạo nên sự khác biệt.
Độ ổn định kích thước vượt trội: Đá granit có hệ số giãn nở nhiệt cực thấp, khoảng (4–8)×10⁻⁶/℃, thấp hơn đáng kể so với nhiều kim loại. Trong môi trường được kiểm soát chặt chẽ của các nhà máy sản xuất chất bán dẫn, nơi ngay cả những dao động nhiệt độ nhỏ cũng có thể gây ra lỗi đo lường, đế máy bằng đá granit vẫn giữ được sự ổn định. Độ ổn định này đảm bảo vị trí của các linh kiện trong thiết bị kiểm tra wafer luôn chính xác, ngăn ngừa mọi sai lệch do nhiệt gây ra có thể ảnh hưởng đến độ chính xác của kết quả kiểm tra.
Khả năng giảm chấn rung động vượt trội: Sàn sản xuất thường bị rung động từ nhiều nguồn khác nhau. Đặc tính giảm chấn vốn có của đá granite, với hệ số giảm chấn từ 0,05–0,1, giúp hấp thụ và triệt tiêu hiệu quả các rung động này. Đối với việc lấy mẫu wafer, đá granite giúp giảm thiểu rung động.
Đối với một quy trình đòi hỏi hình ảnh độ phân giải cao và các phép đo cảm biến chính xác, việc giảm rung động do đế đá granit mang lại là vô cùng quý giá. Nó giảm thiểu sự nhiễu có thể làm mờ hình ảnh hoặc làm sai lệch dữ liệu cảm biến, cho phép thiết bị thu thập thông tin rõ ràng và chính xác về bề mặt và cấu trúc bên trong của tấm bán dẫn.
Độ cứng và khả năng chống mài mòn cao: Với mật độ khoảng 3100 kg/m³, đế máy bằng đá granit của ZHHIMG® mang lại độ cứng vượt trội. Chúng có thể chịu được trọng lượng của các bộ phận nặng của thiết bị kiểm tra wafer mà không bị biến dạng, duy trì sự thẳng hàng của hệ thống quang học và cơ khí. Ngoài ra, độ cứng cao (thang Mohs 6–7) và khả năng chống mài mòn tuyệt vời của đá granit đảm bảo bề mặt đế máy luôn phẳng và nhẵn theo thời gian. Tính nhất quán này rất cần thiết cho độ chính xác lâu dài, vì bất kỳ sự mài mòn hoặc biến dạng nào trên đế đều có thể dần dần làm giảm độ chính xác của thiết bị.
Tính trơ hóa học: Sản xuất chất bán dẫn liên quan đến việc tiếp xúc với nhiều loại hóa chất khác nhau. Tính trơ hóa học của đá granit giúp nó chống lại sự ăn mòn từ các chất này. Đặc tính này bảo vệ tính toàn vẹn của đế máy, ngăn ngừa hư hỏng do hóa chất gây ra có thể ảnh hưởng đến độ ổn định và độ chính xác của thiết bị kiểm tra.
Tóm lại, đế máy bằng đá granit độ chính xác cao không chỉ là một bộ phận mà còn là yếu tố then chốt giúp đạt được các yêu cầu về độ chính xác khắt khe của thiết bị kiểm tra wafer. Khi lựa chọn đế máy bằng đá granit, hãy chọn các nhà cung cấp đáng tin cậy như ZHHIMG®. Với nhiều chứng nhận và cam kết về chất lượng, ZHHIMG® đảm bảo rằng mỗi đế máy bằng đá granit đều mang lại độ tin cậy và hiệu suất cần thiết cho sản xuất bán dẫn tiên tiến.
Thời gian đăng bài: 03/06/2025