Trong thiết bị sản xuất chất bán dẫn và quang điện tử, đá granit chủ yếu được sử dụng trong các bộ phận quan trọng như bệ chuyển động chính xác, đế ray dẫn hướng, cấu trúc hỗ trợ cách ly rung động và chất nền lắp đặt linh kiện quang học. Các bộ phận này có yêu cầu cực kỳ cao về độ chính xác, độ ổn định và khả năng chịu đựng môi trường. Đặc tính của đá granit có thể đáp ứng chính xác các yêu cầu khắt khe của ngành công nghiệp bán dẫn và quang điện tử. Sau đây là phân tích các kịch bản ứng dụng cụ thể và ưu điểm:
I. Các bộ phận ứng dụng chính
Các bệ chuyển động chính xác (chẳng hạn như bệ đỡ wafer cho máy quang khắc và máy ghép nối)
Nó được sử dụng để vận chuyển các linh kiện chính xác như tấm bán dẫn và thấu kính quang học, thực hiện các chuyển động tịnh tiến và quay với độ chính xác ở cấp độ nano.
Thiết bị tiêu biểu: bàn phôi của máy quang khắc, bệ định vị của thiết bị đo.
Cấu trúc khung và đế ray dẫn hướng
Là bệ lắp đặt cho các thanh dẫn hướng tuyến tính và thanh dẫn hướng nổi bằng khí nén, nó hỗ trợ cơ cấu chuyển động cốt lõi của thiết bị.
Thiết bị tiêu biểu: khung cơ khí của thiết bị đóng gói bán dẫn và các dụng cụ kiểm tra quang học.
Cấu trúc hỗ trợ và ổn định chống rung
Nó được sử dụng để cách ly các rung động bên ngoài (chẳng hạn như rung động từ sàn nhà máy hoặc trong quá trình vận hành thiết bị), đảm bảo sự ổn định của các hệ thống quang học hoặc máy móc chính xác.
Các trường hợp điển hình: Giá đỡ cơ bản cho kính hiển vi quang học và máy đo giao thoa laser.
chất nền gắn linh kiện quang học
Cố định các thiết bị quang học như gương, lăng kính và laser để đảm bảo độ ổn định lâu dài của độ chính xác căn chỉnh hệ thống đường dẫn quang học.
Thiết bị tiêu biểu: Thiết bị đóng gói quang điện tử, hệ thống ghép nối sợi quang.
Thời gian đăng bài: 29 tháng 5 năm 2025