Vật liệu đá granit được sử dụng rộng rãi trong ngành công nghiệp bán dẫn nhờ những đặc tính ưu việt như độ ổn định cao, hệ số giãn nở nhiệt thấp và khả năng chống ăn mòn cao. Những đặc tính này làm cho đá granit trở thành vật liệu lý tưởng để chế tạo các linh kiện có độ chính xác cao trong hệ thống truyền tải tấm bán dẫn.
Trong quy trình sản xuất chất bán dẫn, hệ thống vận chuyển wafer đóng vai trò quan trọng trong việc vận chuyển wafer qua các giai đoạn khác nhau của quy trình sản xuất. Độ chính xác là những yêu cầu thiết yếu đối với các hệ thống này vì ngay cả những sai lệch nhỏ cũng có thể gây nguy hiểm cho toàn bộ quy trình. Do đó, các bộ phận trong hệ thống vận chuyển wafer phải được làm từ vật liệu chất lượng cao, và đá granit đáp ứng được các tiêu chí đó.
Một số bộ phận của hệ thống chuyển giao tấm bán dẫn được làm từ vật liệu đá granit bao gồm:
1. Bàn kẹp chân không
Bàn kẹp chân không được sử dụng để giữ tấm bán dẫn trong suốt quá trình gia công, và nó phải có bề mặt ổn định để đảm bảo tấm bán dẫn không bị hư hại. Đá granit là vật liệu lý tưởng để chế tạo bàn này vì nó có bề mặt phẳng, không xốp, mang lại độ ổn định và độ chính xác cao. Ngoài ra, đá granit có hệ số giãn nở nhiệt thấp, giúp nó chịu được sự thay đổi nhiệt độ có thể gây ra biến dạng kích thước của tấm bán dẫn.
2. Giai đoạn đệm khí
Hệ thống giá đỡ khí nén được sử dụng để vận chuyển tấm bán dẫn qua các giai đoạn khác nhau của quy trình sản xuất. Hệ thống này được thiết kế để đảm bảo chuyển động không ma sát, đòi hỏi độ chính xác và ổn định cao. Đá granit được sử dụng trong ứng dụng này vì nó là loại đá cứng chắc, có khả năng chống biến dạng và mài mòn theo thời gian.
3. Ray dẫn hướng chuyển động tuyến tính
Các thanh dẫn hướng chuyển động tuyến tính được sử dụng để dẫn hướng bàn trượt khí nén, và chúng phải được định vị chính xác để giảm thiểu sai sót. Đá granit được sử dụng để chế tạo thanh dẫn hướng này vì nó có độ ổn định và độ bền cơ học tuyệt vời. Vật liệu này cũng có khả năng chống ăn mòn, đảm bảo tuổi thọ của hệ thống dẫn hướng.
4. Thiết bị đo lường
Thiết bị đo lường được sử dụng để đo kích thước và các đặc tính của tấm bán dẫn trong quá trình sản xuất. Đá granit là vật liệu lý tưởng để chế tạo thiết bị này vì nó có độ cứng cao, độ giãn nở thấp và biến dạng tối thiểu dưới tải trọng. Hơn nữa, tính ổn định nhiệt của đá granit đảm bảo thiết bị đo lường vẫn ổn định và chính xác theo thời gian.
Tóm lại, ngành công nghiệp bán dẫn phụ thuộc vào độ chính xác, và vật liệu đá granit đã chứng minh được độ tin cậy và ổn định cao trong quá trình sản xuất. Với nhiều thành phần quan trọng trong hệ thống truyền tải tấm bán dẫn đòi hỏi độ ổn định, độ chính xác cao và độ giãn nở nhiệt thấp, các kỹ sư đã chuyển sang sử dụng vật liệu đá granit để đáp ứng những yêu cầu quan trọng này.
Thời gian đăng bài: 19/03/2024