Trong chuỗi sản xuất bán dẫn chính xác, hệ thống truyền wafer giống như "mạch máu của dây chuyền sản xuất chip", độ ổn định và độ chính xác của nó quyết định trực tiếp đến năng suất chip. Thế hệ hệ thống truyền wafer mới kết hợp động cơ tuyến tính với đế đá granit một cách đột phá, và những ưu điểm độc đáo của vật liệu đá granit chính là mã cốt lõi để mở khóa khả năng truyền dẫn hiệu suất cao.
Đá granit: Xây dựng "nền tảng vững chắc" cho truyền dẫn ổn định
Trải qua hàng trăm triệu năm tinh luyện địa chất, đá granit sở hữu kết tinh khoáng chất bên trong dày đặc và đồng đều. Đặc tính tự nhiên này khiến nó trở thành vật liệu nền lý tưởng cho các hệ thống truyền wafer. Trong môi trường phức tạp của phòng sạch bán dẫn, đá granit, với hệ số giãn nở nhiệt cực thấp (chỉ 5-7 ×10⁻⁶/℃), có thể chịu được nhiệt sinh ra trong quá trình vận hành thiết bị và ảnh hưởng của sự thay đổi nhiệt độ môi trường, đảm bảo sự ổn định của kích thước đế và tránh sai lệch đường truyền do biến dạng nhiệt. Hiệu suất giảm chấn vượt trội của nó có thể nhanh chóng hấp thụ các rung động cơ học phát sinh trong quá trình khởi động, tắt máy và tăng tốc của động cơ tuyến tính, cũng như các nhiễu động bên ngoài do vận hành các thiết bị khác trong xưởng, tạo nên một nền tảng ổn định với "độ rung bằng không" cho việc truyền wafer.
Đồng thời, tính ổn định hóa học của đá granit đảm bảo không bị ăn mòn hoặc rỉ sét trong các xưởng sản xuất bán dẫn, nơi các chất phản ứng axit và kiềm dễ bay hơi và yêu cầu độ sạch cao, do đó tránh được ảnh hưởng đến độ chính xác truyền dẫn do lão hóa vật liệu hoặc hấp thụ chất gây ô nhiễm. Đặc tính bề mặt nhẵn và đặc có thể giảm thiểu hiệu quả sự bám dính của bụi, đáp ứng các tiêu chuẩn nghiêm ngặt về không bụi của phòng sạch và loại bỏ nguy cơ nhiễm bẩn wafer từ gốc.
Hiệu ứng "hợp tác vàng" của động cơ tuyến tính và đá granit
Động cơ tuyến tính, với đặc tính không có khe hở truyền động cơ học, gia tốc cao và tốc độ phản hồi nhanh, mang lại cho hệ thống truyền động wafer những ưu điểm "nhanh, chính xác và ổn định". Đế đá granit tạo nên một nền tảng hỗ trợ vững chắc và đáng tin cậy. Hai yếu tố này kết hợp với nhau để đạt được hiệu suất vượt trội. Khi động cơ tuyến tính dẫn động giá đỡ wafer chạy trên rãnh đế đá granit, độ cứng và ổn định cao của đế đảm bảo truyền động lực động cơ hiệu quả, tránh mất lực hoặc độ trễ truyền động do biến dạng đế.
Được thúc đẩy bởi nhu cầu về độ chính xác ở cấp độ nano, động cơ tuyến tính có thể đạt được khả năng điều khiển dịch chuyển ở cấp độ dưới micron. Đặc tính xử lý độ chính xác cao của đế đá granit (với sai số độ phẳng được kiểm soát trong phạm vi ±1μm) hoàn toàn phù hợp với khả năng điều khiển chính xác của động cơ tuyến tính, đồng thời đảm bảo sai số định vị trong quá trình truyền wafer nhỏ hơn ±5μm. Cho dù là di chuyển tốc độ cao giữa các thiết bị xử lý khác nhau hay đỗ chính xác để bàn giao wafer, sự kết hợp giữa động cơ tuyến tính và đế đá granit có thể đảm bảo "không sai lệch và không rung động" trong quá trình truyền wafer.
Kiểm chứng thực tiễn ngành: Cải thiện kép về hiệu quả và tỷ lệ năng suất
Sau khi nâng cấp hệ thống truyền wafer, một doanh nghiệp bán dẫn hàng đầu thế giới đã áp dụng giải pháp động cơ tuyến tính + đế granite, giúp tăng hiệu suất truyền wafer lên 40%, giảm 85% tỷ lệ xảy ra lỗi như va chạm và lệch trong quá trình truyền, đồng thời cải thiện 6% tỷ lệ sản lượng chip tổng thể. Đằng sau dữ liệu là sự đảm bảo về độ ổn định truyền dẫn nhờ đế granite và hiệu ứng hiệp đồng tốc độ cao và chính xác của động cơ tuyến tính, giúp giảm đáng kể tổn thất và lỗi trong quá trình truyền wafer.
Từ đặc tính vật liệu đến sản xuất chính xác, từ lợi thế về hiệu suất đến khả năng kiểm chứng thực tế, sự kết hợp giữa động cơ tuyến tính và đế đá granit đã định nghĩa lại tiêu chuẩn của hệ thống chuyển wafer. Trong tương lai, khi công nghệ bán dẫn tiến tới quy trình 3nm và 2nm, vật liệu đá granit chắc chắn sẽ tiếp tục tạo động lực mạnh mẽ cho sự phát triển của ngành công nghiệp với những ưu điểm không thể thay thế.
Thời gian đăng: 14-05-2025