Định hướng xu hướng rung động và chuyển động trong sản xuất chất bán dẫn năm 2026

Khi ngành công nghiệp bán dẫn tích cực theo đuổi các nút xử lý dưới 2nm, biên độ sai sót cơ học hầu như đã biến mất. Trong môi trường đầy rủi ro này, sự ổn định của buồng xử lý không còn là mối quan tâm thứ yếu; nó là nút thắt cổ chai chính đối với năng suất. Tại ZHHIMG, chúng tôi đang chứng kiến ​​một sự thay đổi cơ bản trong cách các nhà sản xuất thiết bị gốc (OEM) toàn cầu tiếp cận tính toàn vẹn cấu trúc của thiết bị vốn sản xuất bán dẫn.

Vật lý của sự im lặng: Các kỹ thuật giảm rung tiên tiến

Trong công nghệ chế tạo tấm bán dẫn hiện đại, những rung động từng được coi là "tiếng ồn nền" nay lại gây ra hậu quả nghiêm trọng. Cho dù đó là những dao động nhỏ từ hệ thống HVAC của nhà máy hay quán tính bên trong của bàn quét tốc độ cao, năng lượng không được kiểm soát sẽ trực tiếp dẫn đến lỗi chồng ảnh và hình ảnh bị mờ.

Các kỹ thuật giảm chấn rung động hiện nay trong sản xuất chất bán dẫn đã phát triển thành một kiến ​​trúc đa lớp. Mặc dù giảm chấn thụ động—sử dụng các vật liệu có khối lượng lớn như đúc khoáng hoặc đá granit chính xác—vẫn là nền tảng, chúng ta đang chứng kiến ​​sự gia tăng mạnh mẽ trong việc tích hợp giảm chấn chủ động.

Các hệ thống chủ động sử dụng bộ truyền động áp điện và cảm biến thời gian thực để “triệt tiêu” các rung động bằng cách tạo ra các tần số ngược chiều. Tuy nhiên, hiệu quả của các hệ thống chủ động bị hạn chế bởi tỷ lệ giảm chấn của vật liệu nền. Đây là lúc chuyên môn của ZHHIMG trong lĩnh vực vật liệu kết cấu có độ giảm chấn cao trở nên quan trọng. Bằng cách kết hợp các thiết bị điện tử chủ động với nền đá granit hoặc vật liệu composite có tính trơ tự nhiên, chúng tôi cung cấp một “Vùng Yên Tĩnh” nơi định vị nano có thể diễn ra mà không bị nhiễu.

Sự trỗi dậy của chuyển động không ma sát: Công nghệ ổ trục khí

Nhu cầu về năng suất cao hơn đã đẩy các ổ trục cơ khí truyền thống đến giới hạn của chúng. Ma sát dẫn đến sinh nhiệt, và nhiệt dẫn đến giãn nở nhiệt—kẻ thù của độ chính xác. Điều này đã dẫn đến việc áp dụng rộng rãi các loại ổ trục cơ khí truyền thống.Công nghệ ổ trục khí cho các bàn trượt chính xác.

Ổ trục khí nâng đỡ tải trọng trên một lớp màng khí nén mỏng, thường chỉ dày vài micromet. Vì không có sự tiếp xúc vật lý nên ma sát tĩnh (ma sát dính) bằng không. Điều này cho phép:

• Chuyển động không có hiện tượng trễ: Đảm bảo bàn trượt luôn quay trở lại vị trí tọa độ nanomet chính xác như cũ mỗi lần.

• Tính ổn định vận tốc: Cực kỳ quan trọng đối với các ứng dụng quét như kiểm tra bằng chùm tia điện tử, nơi ngay cả sự "giật cục" nhỏ nhất của ổ trục cơ khí cũng sẽ làm biến dạng hình ảnh.

• Tuổi thọ cực cao: Do ​​không có bộ phận tiếp xúc nên không bị mài mòn và không tạo ra bụi, lý tưởng cho môi trường phòng sạch cấp 1.

Tại ZHHIMG, chúng tôi sản xuất các bề mặt đá granit siêu phẳng đóng vai trò là đường dẫn hướng cho các ổ trục khí này. Để hoạt động chính xác, các bề mặt này phải được mài phẳng đến độ chính xác chỉ bằng một phần nhỏ của bước sóng ánh sáng.

Xu hướng trang thiết bị vốn cho ngành bán dẫn: Năm 2026 và những năm tiếp theo

Khi chúng ta bước sang năm 2026,xu hướng trong thiết bị vốn sản xuất chất bán dẫnChúng được đặc trưng bởi “Ba trụ cột”: Mô đun hóa, Bền vững và Kiểm soát nhiệt.

1. Thiết kế nền tảng dạng mô-đun: Các nhà sản xuất thiết bị gốc (OEM) đang tìm kiếm các mô-đun cơ bản "cắm và chạy". Thay vì thiết kế một đế mới cho mỗi công cụ, họ đang sử dụng các nền tảng chính xác tiêu chuẩn của ZHHIMG có thể được điều chỉnh cho các ứng dụng như quang khắc, đo lường hoặc khắc axit.

2. Quản lý nhiệt: Vì nguồn sáng EUV (tia cực tím) tạo ra lượng nhiệt rất lớn, nên đế máy phải hoạt động như một bộ tản nhiệt khổng lồ. Chúng tôi đang tích hợp các kênh làm mát phức tạp trực tiếp vào các thành phần khoáng chất và đá granit để duy trì độ chênh lệch nhiệt độ <0,01°C.

3. Khả năng tương thích với môi trường chân không: Với việc ngày càng nhiều quy trình chuyển sang môi trường chân không cao, các vật liệu được sử dụng phải không phát thải khí. Quy trình xử lý đá granit và gốm chuyên dụng của chúng tôi đảm bảo tính toàn vẹn của môi trường chân không không bao giờ bị ảnh hưởng bởi nền móng cấu trúc.

Quan hệ đối tác chiến lược với ZHHIMG

ZHHIMG không chỉ đơn thuần là nhà sản xuất linh kiện; chúng tôi là đối tác chiến lược trong chuỗi cung ứng điều khiển chuyển động. Nhà máy của chúng tôi tại Trung Quốc phối hợp chặt chẽ với các đội ngũ kỹ sư tại Thung lũng Silicon và Eindhoven để giải quyết những thách thức khó khăn nhất về độ ổn định trong ngành.

Bằng cách tận dụng các kỹ thuật mài phẳng độc quyền và sự hiểu biết sâu sắc của chúng tôi về...kỹ thuật giảm rungChúng tôi giúp khách hàng vượt qua những giới hạn của Định luật Moore. Cho dù bạn đang phát triển công cụ ALD (Phương pháp lắng đọng lớp nguyên tử) thế hệ tiếp theo hay máy dò wafer tốc độ cao, nền tảng đều bắt đầu từ ZHHIMG.

Phần kết luận

Sự phát triển của ngành sản xuất chất bán dẫn là một cuộc chạy đua với các định luật vật lý. Khi ngành công nghiệp tiến đến năm 2026, sự tập trung vào độ chính xác của ổ trục khí và hệ thống giảm chấn tiên tiến sẽ ngày càng mạnh mẽ hơn. Để dẫn đầu các xu hướng này, cần một nền tảng – cả theo nghĩa đen và nghĩa bóng – được xây dựng trên chuyên môn và sự đổi mới.