Linh kiện đá granit được sử dụng rộng rãi trong thiết bị bán dẫn nhờ độ ổn định và độ bền cao. Chúng chịu trách nhiệm duy trì độ chính xác và độ tin cậy của quy trình sản xuất bán dẫn. Tuy nhiên, hiệu quả và độ tin cậy của linh kiện đá granit phụ thuộc vào các tiêu chuẩn và thông số kỹ thuật được tuân thủ trong quá trình thiết kế, chế tạo và lắp đặt.
Sau đây là một số tiêu chuẩn và thông số kỹ thuật phải tuân thủ khi sử dụng các thành phần đá granit trong thiết bị bán dẫn:
1. Mật độ vật liệu: Mật độ của vật liệu đá granite dùng trong sản xuất các thành phần đá granite phải đạt khoảng 2,65g/cm3. Đây là mật độ của đá granite tự nhiên, đảm bảo tính đồng nhất và độ tin cậy trong các đặc tính của thành phần đá granite.
2. Độ phẳng: Độ phẳng là một trong những thông số kỹ thuật quan trọng nhất đối với các linh kiện đá granit được sử dụng trong thiết bị bán dẫn. Độ phẳng của bề mặt đá granit phải dưới 0,001 mm/m2. Điều này đảm bảo bề mặt linh kiện phẳng và bằng phẳng, điều này rất cần thiết cho các quy trình sản xuất bán dẫn.
3. Hoàn thiện bề mặt: Bề mặt của các linh kiện đá granit phải đạt chất lượng cao, với độ nhám bề mặt dưới 0,4µm. Điều này đảm bảo bề mặt của linh kiện đá granit có hệ số ma sát thấp, yếu tố quan trọng cho hoạt động trơn tru của thiết bị bán dẫn.
4. Hệ số giãn nở nhiệt: Thiết bị bán dẫn hoạt động ở nhiều nhiệt độ khác nhau, và các linh kiện đá granit phải chịu được biến động nhiệt mà không bị biến dạng. Hệ số giãn nở nhiệt của đá granit được sử dụng trong thiết bị bán dẫn phải dưới 2 x 10^-6 /°C.
5. Dung sai kích thước: Dung sai kích thước rất quan trọng đối với hiệu suất của các thành phần đá granite. Dung sai kích thước của các thành phần đá granite phải nằm trong phạm vi ±0,1mm cho tất cả các kích thước quan trọng.
6. Độ cứng và khả năng chống mài mòn: Độ cứng và khả năng chống mài mòn là những thông số kỹ thuật thiết yếu đối với các thành phần đá granit được sử dụng trong thiết bị bán dẫn. Đá granit có độ cứng từ 6-7 trên thang Mohs, khiến nó trở thành vật liệu phù hợp để sử dụng trong các ứng dụng thiết bị bán dẫn.
7. Hiệu suất cách điện: Linh kiện đá granit được sử dụng trong thiết bị bán dẫn phải có hiệu suất cách điện tuyệt vời để tránh làm hỏng các linh kiện điện tử nhạy cảm. Điện trở phải trên 10^9 Ω/cm.
8. Khả năng chống hóa chất: Các thành phần đá granit phải có khả năng chống lại các hóa chất thông thường được sử dụng trong quá trình sản xuất chất bán dẫn, chẳng hạn như axit và kiềm.
Tóm lại, các tiêu chuẩn và thông số kỹ thuật cho các linh kiện đá granit được sử dụng trong thiết bị bán dẫn là rất quan trọng để đảm bảo tuổi thọ và độ tin cậy của cả linh kiện lẫn thiết bị mà chúng được sử dụng. Các hướng dẫn trên cần được tuân thủ nghiêm ngặt trong quá trình thiết kế, chế tạo và lắp đặt để đảm bảo các linh kiện đạt chất lượng cao nhất. Bằng cách tuân thủ các tiêu chuẩn và thông số kỹ thuật này, các nhà sản xuất bán dẫn có thể đảm bảo hiệu suất thiết bị luôn ở mức tối ưu, dẫn đến tăng năng suất và lợi nhuận.
Thời gian đăng: 20-03-2024