Hãy hỏi bất kỳ kỹ sư thiết bị bán dẫn nào điều gì khiến họ trăn trở, và câu trả lời hiếm khi là hệ thống chuyển động hay hệ thống quang học. Mà chính là mặt đế của máy. Một bàn đỡ wafer có thể giữ vị trí chính xác đến 2 nanomet trên giấy vẫn cần một đế vững chắc, không bị xê dịch, rung lắc hay nóng lên.
Phần đế thường được làm bằng đá granit đen. Không phải vì đá granit đang thịnh hành, mà vì nó thực hiện cùng lúc ba điều mà không kim loại nào làm được: nó giữ nguyên hình dạng khi nhiệt độ thay đổi, nó hấp thụ rung động thay vì truyền đi, và nó không bị gỉ sét hay biến dạng trong suốt một thập kỷ hoạt động liên tục 24/7. Đây là bộ phận mà ZHHIMG chế tạo.
Một tấm đá granit đen lớn đang được kiểm tra tại nhà máy ZHHIMG — độ phẳng được chứng minh bằng dụng cụ, chứ không phải bằng lời hứa.
Vấn đề nằm ở sự ổn định, chứ không phải sức mạnh.
Thiết bị bán dẫn không nặng vì cần độ bền. Nó nặng vì cần sự ổn định. Thiết bị phải giữ nguyên hình dạng trong khi động cơ hoạt động, trong khi nhiệt độ phòng thay đổi, và trong khi nó vận hành liên tục trong nhiều tháng mà không ngừng nghỉ.
Thép và gang có sự biến dạng do nhiệt độ. Chúng cũng phát ra âm thanh. Trong một dụng cụ đo các đặc điểm nhỏ hơn cả virus, một đế phát ra âm thanh là một đế bị lỗi. Mục tiêu là tạo ra một bề mặt có thể duy trì trạng thái chuẩn suốt cả năm, chứ không chỉ trong ngày lắp đặt.
Vì sao đá granite đen lại thắng
Đá granit đen của chúng tôi có mật độ khoảng...3.100 kg/m³Mật độ cao đồng nghĩa với độ xốp thấp. Độ xốp thấp có nghĩa là đá không hấp thụ độ ẩm, không bị trương nở trong phòng sạch có độ ẩm cao và không bị biến dạng theo sự thay đổi của các mùa.
Ba đặc tính khác cũng quan trọng không kém. Đá granit có hệ số giãn nở nhiệt thấp, do đó sự thay đổi nhiệt độ làm cho nó biến dạng ít hơn nhiều so với kim loại. Nó có độ giảm chấn bên trong cao, vì vậy độ rung chuyển thành nhiệt thay vì truyền đến tấm bán dẫn. Và nó không nhiễm từ và không bị gỉ, vì vậy nó sẽ không làm ảnh hưởng đến các cảm biến hoặc bị ăn mòn theo thời gian. Đối với một công cụ phải giữ các nanomet, đó là yếu tố quyết định.
Vị trí của đá granit trong một thiết bị bán dẫn
Chúng tôi cung cấp đá granit cho các bộ phận của thiết bị mà độ chính xác được quyết định. Điều đó bao gồm các giai đoạn kiểm tra và đo lường wafer, nền tảng quang khắc và laser, thiết bị liên kết và đóng gói, khung CMP và làm phẳng, và...hệ thống giàn đá granitNhững thiết bị mang theo hệ thống quang học và đầu dò di chuyển dọc theo phôi gia công.
Vật liệu này cũng được sử dụng làm nền tảng cho các máy khoan mạch in, kiểm tra quang học và lắp ráp chính xác. Các công cụ khác nhau, nhưng yêu cầu giống nhau: một tiêu chuẩn tham chiếu không mâu thuẫn với kết quả đo.
Những chi tiết quyết định giai đoạn sản xuất wafer
Một khối đá granit không phải là một linh kiện đơn thuần. Điều làm nên một linh kiện chính là công đoạn gia công xung quanh nó. Chúng tôi gia công các chi tiết ren, rãnh hút chân không, hốc chứa khí, đường dẫn cáp và mặt phẳng lắp đặt vào trong khối đá, sau đó giữ cho hình dạng giữa chúng khớp với bản vẽ.
Các lỗ và miếng chèn được đặt sao cho bệ đỡ, hệ thống quang học và ray dẫn hướng thẳng hàng mà không cần phải điều chỉnh tại chỗ. Đó là sự khác biệt giữa một tấm phẳng và một...linh kiện đá granit chính xác— và đó là lý do tại sao các nhà sản xuất thiết bị gửi cho chúng tôi bản vẽ giao diện, chứ không chỉ kích thước bên ngoài.
Bàn tay đọc được từng micron
Độ phẳng của tấm đá granit vẫn được hoàn thiện bằng tay. Các nghệ nhân mài đá bậc thầy của chúng tôi đã làm việc trên bàn mài này tới ba mươi năm. Họ có thể cảm nhận được điểm gồ ghề ở mức độ micromet, rất lâu trước khi thiết bị được sử dụng để xác nhận.
Chúng tôi coi kỹ năng đó như một điểm khởi đầu, chứ không phải là một chứng chỉ. Bàn tay đề xuất; thiết bị quyết định. Sau đó, mọi bề mặt quan trọng đều được đo trên dây chuyền kiểm tra của chúng tôi, hoạt động trên thiết bị từ...Mahr (Đức), WYLER (Thụy Sĩ) và Renishaw (Anh)Hàng hóa sẽ không được giao cho đến khi số lượng khớp với bản vẽ.
Được chứng nhận, cấp bằng sáng chế và được thiết kế để đáp ứng tiêu chuẩn kiểm toán.
ZHHIMG là công ty duy nhất trong ngành đạt được đồng thời các chứng nhận ISO 9001, ISO 45001, ISO 14001 và CE, được hỗ trợ bởi hơn 20 bằng sáng chế quốc tế. Khách hàng trong ngành bán dẫn kiểm tra rất kỹ lưỡng, và chúng tôi muốn họ kiểm tra mọi thứ.
Của chúng tôiđá granit chính xácTiêu chuẩn này được sử dụng bởi các công ty như GE, Samsung và Oracle, và được nghiên cứu cùng với các tổ chức bao gồm Đại học Quốc gia Singapore và các viện đo lường quốc gia ở Anh, Đức và Mỹ. Khi một phòng thí nghiệm đo lường quốc gia đo vật liệu, dung sai là một dữ liệu thực tế được đo lường, chứ không phải là một con số tiếp thị. Không gian lận, không che giấu, không gây hiểu nhầm — đó là cách chúng tôi làm việc.
Vì sao các nhà xây dựng cứ quay lại đây
Khi một thiết bị bán dẫn được xuất xưởng, phần đế là bộ phận không ai có thể thay đổi thông số kỹ thuật. Nó phải hoạt động tốt, hoặc toàn bộ máy móc sẽ bị loại bỏ. Các nhà sản xuất quay lại với ZHHIMG vì các thông số kỹ thuật được giữ nguyên, chất lượng hoàn thiện được giữ nguyên, và hình dạng hình học được giữ nguyên trong suốt vòng đời của nền tảng.
Nếu bạn đang thiết kế một sân khấu, một giàn giáo hoặc một bệ máy, hãy gửi cho chúng tôi thông số độ chính xác, tải trọng và môi trường làm việc. Các kỹ sư của chúng tôi sẽ lựa chọn loại đá granit, độ dày và bố trí các chi tiết phù hợp với công việc — và cung cấp cho bạn dữ liệu đo lường để chứng minh điều đó. Khám phá thêm về chúng tôigiải pháp đá granit siêu chính xácđể bắt đầu.
Thời gian đăng bài: 17/09/2026