♦Alumina (Al)2O3)
Các chi tiết gốm chính xác do Tập đoàn Sản xuất Thông minh ZhongHui (ZHHIMG) sản xuất có thể được làm từ nguyên liệu gốm có độ tinh khiết cao, với hàm lượng alumina 92~97%, 99,5%, >99,9%, và được sản xuất bằng phương pháp ép đẳng tĩnh nguội CIP. Quá trình nung kết ở nhiệt độ cao và gia công chính xác cho độ chính xác kích thước ± 0,001mm, độ nhẵn bề mặt lên đến Ra0,1, nhiệt độ sử dụng lên đến 1600 độ C. Có thể sản xuất các màu gốm khác nhau theo yêu cầu của khách hàng, ví dụ: đen, trắng, be, đỏ đậm, v.v. Các chi tiết gốm chính xác do công ty chúng tôi sản xuất có khả năng chịu nhiệt độ cao, chống ăn mòn, mài mòn và cách điện, có thể sử dụng lâu dài trong môi trường nhiệt độ cao, chân không và khí ăn mòn.
Được sử dụng rộng rãi trong nhiều loại thiết bị sản xuất bán dẫn: Khung (khung sứ), đế (chất nền), tay/cầu (bộ điều khiển), các bộ phận cơ khí và ổ trục khí bằng gốm.
| Tên sản phẩm | Ống/thanh/thanh vuông gốm alumina tinh khiết cao 99% | |||||
| Mục lục | Đơn vị | 85% Al2O3 | 95% Al2O3 | 99% Al2O3 | 99,5% Al2O3 | |
| Tỉ trọng | g/cm3 | 3.3 | 3,65 | 3.8 | 3.9 | |
| Khả năng hấp thụ nước | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
| Nhiệt độ thiêu kết | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
| Độ cứng | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
| Độ bền uốn (20℃) | Mpa | 200 | 300 | 340 | 360 | |
| Cường độ nén | Kgf/cm2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
| Nhiệt độ làm việc lâu dài | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
| Nhiệt độ làm việc tối đa | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
| Điện trở suất thể tích | 20℃ | Ω. cm3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
| 100℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
| 300℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 | ||
Ứng dụng gốm alumina có độ tinh khiết cao:
1. Ứng dụng trong thiết bị bán dẫn: mâm cặp chân không gốm, đĩa cắt, đĩa làm sạch, mâm cặp gốm.
2. Các bộ phận chuyển wafer: mâm cặp giữ wafer, đĩa cắt wafer, đĩa làm sạch wafer, cốc hút kiểm tra quang học wafer.
3. Ngành công nghiệp màn hình phẳng LED/LCD: vòi phun gốm, đĩa mài gốm, chốt nâng, thanh dẫn hướng chốt.
4. Truyền thông quang học, công nghiệp năng lượng mặt trời: ống gốm, thanh gốm, dao cạo gốm dùng trong in ấn màn hình mạch in.
5. Các bộ phận chịu nhiệt và cách điện: ổ trục gốm.
Hiện nay, gốm oxit nhôm có thể được chia thành gốm có độ tinh khiết cao và gốm thông thường. Dòng gốm oxit nhôm có độ tinh khiết cao đề cập đến vật liệu gốm chứa hơn 99,9% Al₂O₃. Do nhiệt độ thiêu kết lên đến 1650 - 1990°C và bước sóng truyền dẫn từ 1 ~ 6μm, nó thường được xử lý thành thủy tinh nung chảy thay vì nồi nung bạch kim: có thể được sử dụng làm ống natri nhờ khả năng truyền ánh sáng và khả năng chống ăn mòn kim loại kiềm. Trong ngành công nghiệp điện tử, nó có thể được sử dụng làm vật liệu cách điện tần số cao cho chất nền IC. Theo hàm lượng oxit nhôm khác nhau, dòng gốm oxit nhôm thông thường có thể được chia thành gốm 99%, gốm 95%, gốm 90% và gốm 85%. Đôi khi, gốm có 80% hoặc 75% oxit nhôm cũng được phân loại là dòng gốm oxit nhôm thông thường. Trong đó, vật liệu gốm oxit nhôm 99% được sử dụng để sản xuất nồi nấu kim loại chịu nhiệt cao, ống lò chống cháy và các vật liệu chống mài mòn đặc biệt, chẳng hạn như ổ trục gốm, gioăng gốm và tấm van. Gốm nhôm 95% chủ yếu được sử dụng làm bộ phận chống ăn mòn và chống mài mòn. Gốm 85% thường được pha trộn với một số loại khác để cải thiện hiệu suất điện và độ bền cơ học. Nó có thể được sử dụng làm gioăng kim loại như molypden, niobi, tantali, v.v., và một số được sử dụng làm thiết bị chân không điện.
| Sản phẩm chất lượng (Giá trị đại diện) | Tên sản phẩm | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
| Thành phần hóa học của sản phẩm dễ thiêu kết có hàm lượng natri thấp | H₂O | % | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 |
| Cười | % | 0,1 | 0,2 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | |
| Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
| SiO₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
| Na₂O | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
| MgO* | % | - | 0.11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
| Al₂0₃ | % | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | |
| Đường kính hạt trung bình (MT-3300, phương pháp phân tích bằng laser) | μm | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
| α Kích thước tinh thể | μm | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
| Mật độ hình thành** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2,35 | 2,57 | 2,56 | |
| Mật độ thiêu kết** | g/cm³ | 3,88 | 3,93 | 3,94 | 3,93 | 3,88 | 3,77 | 3.22 | |
| Tốc độ co ngót của dây chuyền thiêu kết** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 | |
* MgO không được tính vào việc tính toán độ tinh khiết của Al₂O₃.
* Không có bột tạo vảy, áp suất 29,4MPa (300kg/cm²), nhiệt độ thiêu kết là 1600°C.
AES-11 / 11C / 11F: Thêm 0,05 ~ 0,1% MgO, khả năng thiêu kết rất tốt, do đó thích hợp cho gốm oxit nhôm có độ tinh khiết hơn 99%.
AES-22S: Có đặc điểm là mật độ tạo hình cao và tỷ lệ co ngót thấp của dây chuyền thiêu kết, thích hợp cho quá trình đúc khuôn trượt và các sản phẩm quy mô lớn khác đòi hỏi độ chính xác kích thước cao.
AES-23 / AES-31-03: Loại này có mật độ tạo hình cao hơn, tính chất thixotropy và độ nhớt thấp hơn so với AES-22S. Loại trước được sử dụng trong sản xuất gốm sứ, trong khi loại sau được sử dụng làm chất giảm nước cho vật liệu chống cháy, đang ngày càng được ưa chuộng.
♦Đặc tính của Cacbua silic (SiC)
| Đặc điểm chung | Độ tinh khiết của các thành phần chính (theo trọng lượng %) | 97 | |
| Màu sắc | Đen | ||
| Khối lượng riêng (g/cm³) | 3.1 | ||
| Khả năng hấp thụ nước (%) | 0 | ||
| Đặc tính cơ học | Độ bền uốn (MPa) | 400 | |
| Mô đun Young (GPa) | 400 | ||
| Độ cứng Vickers (GPa) | 20 | ||
| Đặc tính nhiệt | Nhiệt độ hoạt động tối đa (°C) | 1600 | |
| Hệ số giãn nở nhiệt | Nhiệt độ phòng ~ 500°C | 3.9 | |
| (1/°C x 10-6) | Nhiệt độ phòng ~ 800°C | 4.3 | |
| Độ dẫn nhiệt (W/m x K) | 130 110 | ||
| Khả năng chịu sốc nhiệt ΔT (°C) | 300 | ||
| Đặc tính điện | Điện trở suất thể tích | 25°C | 3 x 106 |
| 300°C | - | ||
| 500°C | - | ||
| 800°C | - | ||
| Hằng số điện môi | 10GHz | - | |
| Tổn hao điện môi (x 10-4) | - | ||
| Hệ số Q (x 104) | - | ||
| Điện áp đánh thủng điện môi (KV/mm) | - | ||
♦Gốm sứ Silicon Nitride
| Vật liệu | Đơn vị | Si₃N₄ |
| Phương pháp thiêu kết | - | Thiêu kết bằng áp suất khí |
| Tỉ trọng | g/cm³ | 3.22 |
| Màu sắc | - | Xám đậm |
| Tốc độ hấp thụ nước | % | 0 |
| Mô đun Young | Điểm trung bình | 290 |
| Độ cứng Vickers | Điểm trung bình | 18 - 20 |
| Cường độ nén | Mpa | 2200 |
| Độ bền uốn | Mpa | 650 |
| Độ dẫn nhiệt | W/mK | 25 |
| Khả năng chống sốc nhiệt | Δ (°C) | 450 - 650 |
| Nhiệt độ hoạt động tối đa | °C | 1200 |
| Điện trở suất thể tích | Ω·cm | > 10 ^ 14 |
| Hằng số điện môi | - | 8.2 |
| Độ bền điện môi | kV/mm | 16 |