Hệ thống đệm khí bằng đá granit được sử dụng rộng rãi trongđộ chính xác cực caoCác nền tảng chuyển động dành cho sản xuất chất bán dẫn, căn chỉnh quang học và đo lường ở thang đo nanomet.
Các hệ thống này loại bỏ sự tiếp xúc cơ học bằng cách sử dụng một lớp màng khí nén mỏng, giúp đạt được chuyển động ma sát gần bằng không.
Nguyên lý ổ trục khí
Ổ trục khí hoạt động bằng cách đưa không khí nén vào giữa hai bề mặt, tạo thành một lớp màng khí dày 2–20 μm.
Điều này loại bỏ:
- Ma sát cơ học
- Mặc
- Hành vi trượt-dính
Hệ thống này dựa trên động lực học màng chất lỏng và dòng chảy tầng ổn định.
Vai trò của đá granit
Đá granite cung cấp:
- Tính ổn định cấu trúc
- Giảm hiện tượng trôi nhiệt
- Giảm chấn rung động
Nó đóng vai trò là cơ sở tham chiếu cơ học cho hệ thống chuyển động.
Các thành phần hệ thống
- Đế bằng đá granit
- Đệm khí
- Hệ thống cung cấp khí
- Bộ mã hóa chính xác
- Hệ thống điều khiển chuyển động
Đặc tính hiệu suất
Hiệu suất điển hình bao gồm:
- Độ chính xác định vị dưới micromet
- Độ thẳng cao trên quãng đường dài
- Không có độ rơ cơ học
Các nguồn lỗi chính bao gồm sự không ổn định của áp suất không khí, sự thay đổi nhiệt độ và lỗi bộ mã hóa.
Ứng dụng
- Kiểm tra tấm bán dẫn
- Hệ thống in thạch bản
- Nền tảng căn chỉnh quang học
- Máy đo lường cao cấp
Câu hỏi thường gặp
Ổ trục khí có bị mòn không?
Không có sự tiếp xúc cơ học giúp loại bỏ sự mài mòn.
Tại sao nên sử dụng đá granit?
Để đảm bảo sự ổn định và giảm rung động.
Điều gì giới hạn độ chính xác?
Tính ổn định của không khí và các hiệu ứng nhiệt.
Chúng có thể mang vác vật nặng không?
Có, tùy thuộc vào thiết kế.
Thời gian đăng bài: 03/07/2026