Đá granit là vật liệu cứng và bền thường được sử dụng trong ngành xây dựng. Tuy nhiên, nó cũng có những đặc tính hữu ích trong sản xuất chất bán dẫn, đặc biệt là trong chế tạo và xử lý mạch tích hợp. Các thành phần đá granit, chẳng hạn như bàn đá granit và khối đá granit, được sử dụng rộng rãi vì độ ổn định, độ phẳng và hệ số giãn nở nhiệt thấp.
Một trong những ứng dụng chính của các thành phần đá granit trong sản xuất chất bán dẫn là trong quá trình chế tạo. Các tấm wafer silicon, khối xây dựng cơ bản của mạch tích hợp, cần được chế tạo với độ chính xác và độ tin cậy cao. Bất kỳ sự biến dạng hoặc chuyển động nào trong quá trình này đều có thể dẫn đến các khuyết tật có thể ảnh hưởng đến chất lượng và chức năng của mạch tích hợp. Bàn granite, với độ ổn định và độ phẳng cao, cung cấp một nền tảng tốt cho thiết bị xử lý wafer. Chúng cũng có khả năng chống lại sự giãn nở và co lại do nhiệt do quá trình gia nhiệt và làm mát cần thiết trong quá trình này.
Các khối đá granit cũng được sử dụng trong quá trình xử lý chất bán dẫn vì tính ổn định nhiệt của chúng. Trong quá trình khắc hoặc lắng đọng, khí nóng hoặc plasma được sử dụng để sửa đổi bề mặt của tấm wafer silicon. Nhiệt độ của tấm wafer cần được kiểm soát để đảm bảo quá trình được thực hiện hiệu quả và chính xác. Các khối đá granit, với hệ số giãn nở nhiệt thấp, giúp ổn định nhiệt độ của tấm wafer, giảm nguy cơ biến động nhiệt độ có thể ảnh hưởng đến chất lượng của vật liệu được xử lý.
Bên cạnh các quy trình chế tạo và xử lý, các thành phần đá granit cũng được sử dụng trong các giai đoạn đo lường và kiểm tra của quá trình sản xuất chất bán dẫn. Các phép đo lường được thực hiện để đảm bảo rằng kích thước, hình dạng và vị trí của các cấu trúc trên wafer nằm trong các thông số kỹ thuật bắt buộc. Các khối đá granit được sử dụng làm tiêu chuẩn tham chiếu trong các phép đo này vì độ ổn định về kích thước và độ chính xác của chúng. Chúng cũng được sử dụng trong các giai đoạn kiểm tra, trong đó chất lượng của các mạch tích hợp được kiểm tra dưới độ phóng đại cao.
Nhìn chung, việc sử dụng các thành phần đá granit trong sản xuất chất bán dẫn đã tăng lên trong những năm gần đây. Nhu cầu về độ chính xác, độ tin cậy và độ ổn định cao trong chế tạo và xử lý mạch tích hợp đã thúc đẩy các nhà sản xuất chất bán dẫn áp dụng các vật liệu này. Các đặc tính độc đáo của đá granit, chẳng hạn như độ cứng, độ ổn định và hệ số giãn nở nhiệt thấp, khiến nó trở thành lựa chọn tuyệt vời để sử dụng trong các quy trình này. Với sự phát triển và cải tiến liên tục của công nghệ bán dẫn, việc sử dụng các thành phần đá granit dự kiến sẽ phát triển hơn nữa trong tương lai.
Thời gian đăng: 05-12-2023