Đá granit là một vật liệu cứng và bền thường được sử dụng trong ngành xây dựng. Tuy nhiên, nó cũng có các thuộc tính làm cho nó hữu ích trong sản xuất chất bán dẫn, đặc biệt là trong việc chế tạo và xử lý các mạch tích hợp. Các thành phần đá granit, chẳng hạn như bàn đá granit và khối đá granit, được sử dụng rộng rãi cho sự ổn định, phẳng và hệ số giãn nở nhiệt thấp.
Một trong những cách sử dụng chính của các thành phần đá granit trong sản xuất chất bán dẫn là trong quá trình chế tạo. Các tấm silicon, các khối xây dựng cơ bản của các mạch tích hợp, cần được chế tạo với độ chính xác và độ chính xác cao. Bất kỳ sự biến dạng hoặc chuyển động nào trong quá trình có thể dẫn đến các khiếm khuyết có thể ảnh hưởng đến chất lượng và chức năng của các mạch tích hợp. Bàn đá granit, với độ ổn định và độ phẳng cao, cung cấp một nền tảng tốt cho các thiết bị xử lý wafer. Chúng cũng có khả năng chống giãn nở và co lại do sự gia nhiệt và làm mát cần thiết trong quá trình.
Các khối đá granit cũng được sử dụng trong xử lý chất bán dẫn cho sự ổn định nhiệt của chúng. Trong quá trình khắc hoặc lắng đọng, khí nóng hoặc plasma được sử dụng để sửa đổi bề mặt của wafer silicon. Nhiệt độ của wafer cần được kiểm soát để đảm bảo rằng quá trình được thực hiện một cách hiệu quả và chính xác. Các khối đá granit, với hệ số giãn nở nhiệt thấp, giúp ổn định nhiệt độ của wafer, làm giảm nguy cơ biến động nhiệt độ có thể ảnh hưởng đến chất lượng của vật liệu được xử lý.
Ngoài các quy trình chế tạo và xử lý, các thành phần đá granit cũng được sử dụng trong các giai đoạn đo lường và kiểm tra của sản xuất chất bán dẫn. Các phép đo đo lường được thực hiện để đảm bảo rằng kích thước, hình dạng và vị trí của các cấu trúc trên wafer nằm trong các thông số kỹ thuật cần thiết. Các khối đá granit được sử dụng làm tiêu chuẩn tham chiếu trong các phép đo này vì độ ổn định và độ chính xác của chúng. Chúng cũng được sử dụng trong các giai đoạn kiểm tra, trong đó chất lượng của các mạch tích hợp được kiểm tra dưới độ phóng đại cao.
Nhìn chung, việc sử dụng các thành phần đá granit trong sản xuất chất bán dẫn đã tăng lên trong những năm gần đây. Nhu cầu về độ chính xác, độ chính xác và tính ổn định cao trong việc chế tạo và xử lý các mạch tích hợp đã thúc đẩy việc áp dụng các vật liệu này bởi các nhà sản xuất chất bán dẫn. Các tính chất độc đáo của đá granit, chẳng hạn như độ cứng, độ ổn định và hệ số giãn nở nhiệt thấp, làm cho nó trở thành một lựa chọn tuyệt vời để sử dụng trong các quy trình này. Với sự phát triển liên tục và cải thiện công nghệ bán dẫn, việc sử dụng các thành phần đá granit dự kiến sẽ phát triển hơn nữa trong tương lai.
Thời gian đăng: Dec-05-2023