Đá granit là một vật liệu cứng và bền, thường được sử dụng trong ngành xây dựng. Tuy nhiên, nó cũng có những đặc tính khiến nó hữu ích trong sản xuất chất bán dẫn, đặc biệt là trong việc chế tạo và gia công mạch tích hợp. Các cấu kiện bằng đá granit, chẳng hạn như bàn đá granit và khối đá granit, được sử dụng rộng rãi nhờ độ ổn định, độ phẳng và hệ số giãn nở nhiệt thấp.
Một trong những ứng dụng chính của đá granit trong sản xuất chất bán dẫn là trong quy trình chế tạo. Các tấm silicon, khối cấu tạo cơ bản của mạch tích hợp, cần được chế tạo với độ chính xác cao. Bất kỳ sự biến dạng hoặc dịch chuyển nào trong quá trình này đều có thể dẫn đến các khuyết tật ảnh hưởng đến chất lượng và chức năng của mạch tích hợp. Bàn đá granit, với độ ổn định và độ phẳng cao, cung cấp một nền tảng tốt cho thiết bị xử lý tấm silicon. Chúng cũng có khả năng chống lại sự giãn nở và co lại do nhiệt độ gây ra bởi quá trình gia nhiệt và làm nguội cần thiết trong quá trình sản xuất.
Đá granit cũng được sử dụng trong quá trình chế biến chất bán dẫn nhờ tính ổn định nhiệt của chúng. Trong các quá trình khắc hoặc lắng đọng, khí nóng hoặc plasma được sử dụng để biến đổi bề mặt của tấm silicon. Nhiệt độ của tấm silicon cần được kiểm soát để đảm bảo quá trình được thực hiện hiệu quả và chính xác. Đá granit, với hệ số giãn nở nhiệt thấp, giúp ổn định nhiệt độ của tấm silicon, giảm nguy cơ dao động nhiệt độ có thể ảnh hưởng đến chất lượng vật liệu được xử lý.
Bên cạnh các quy trình chế tạo và gia công, các thành phần đá granit còn được sử dụng trong các giai đoạn đo lường và kiểm tra của sản xuất chất bán dẫn. Các phép đo lường được thực hiện để đảm bảo rằng kích thước, hình dạng và vị trí của các cấu trúc trên tấm bán dẫn nằm trong phạm vi thông số kỹ thuật yêu cầu. Các khối đá granit được sử dụng làm tiêu chuẩn tham chiếu trong các phép đo này vì tính ổn định và độ chính xác về kích thước của chúng. Chúng cũng được sử dụng trong các giai đoạn kiểm tra, nơi chất lượng của các mạch tích hợp được kiểm tra dưới độ phóng đại cao.
Nhìn chung, việc sử dụng các linh kiện đá granit trong sản xuất chất bán dẫn đã tăng lên trong những năm gần đây. Nhu cầu về độ chính xác cao, độ ổn định trong quá trình chế tạo và gia công mạch tích hợp đã thúc đẩy việc các nhà sản xuất chất bán dẫn áp dụng các vật liệu này. Các đặc tính độc đáo của đá granit, như độ cứng, độ ổn định và hệ số giãn nở nhiệt thấp, khiến nó trở thành lựa chọn tuyệt vời để sử dụng trong các quy trình này. Với sự phát triển và cải tiến liên tục của công nghệ bán dẫn, việc sử dụng các linh kiện đá granit dự kiến sẽ còn tăng trưởng hơn nữa trong tương lai.
Thời gian đăng bài: 05/12/2023