Đá granite là loại vật liệu cứng và bền thường được sử dụng trong ngành xây dựng.Tuy nhiên, nó cũng có những đặc tính hữu ích trong sản xuất chất bán dẫn, đặc biệt là trong chế tạo và xử lý các mạch tích hợp.Các thành phần đá granit, chẳng hạn như bàn đá granit và khối đá granit, được sử dụng rộng rãi vì độ ổn định, độ phẳng và hệ số giãn nở nhiệt thấp.
Một trong những ứng dụng chính của các thành phần đá granite trong sản xuất chất bán dẫn là trong quá trình chế tạo.Tấm silicon, khối xây dựng cơ bản của mạch tích hợp, cần được chế tạo với độ chính xác và độ chính xác cao.Bất kỳ sự biến dạng hoặc chuyển động nào trong quá trình này đều có thể dẫn đến các khiếm khuyết có thể ảnh hưởng đến chất lượng và chức năng của các mạch tích hợp.Bàn đá granit, với độ ổn định và độ phẳng cao, cung cấp nền tảng tốt cho thiết bị xử lý wafer.Chúng cũng có khả năng chống lại sự giãn nở và co lại do nhiệt gây ra bởi quá trình gia nhiệt và làm mát cần thiết trong quy trình.
Khối đá granit cũng được sử dụng trong xử lý chất bán dẫn vì tính ổn định nhiệt của chúng.Trong quá trình ăn mòn hoặc lắng đọng, khí nóng hoặc plasma được sử dụng để biến đổi bề mặt của tấm bán dẫn silicon.Nhiệt độ của wafer cần được kiểm soát để đảm bảo quá trình được thực hiện hiệu quả và chính xác.Khối đá granite với hệ số giãn nở nhiệt thấp giúp ổn định nhiệt độ của wafer, giảm nguy cơ biến động nhiệt độ có thể ảnh hưởng đến chất lượng của vật liệu được xử lý.
Ngoài quy trình chế tạo và gia công, các thành phần đá granite còn được sử dụng trong các công đoạn đo lường và kiểm tra của sản xuất chất bán dẫn.Các phép đo đo lường được thực hiện để đảm bảo rằng kích thước, hình dạng và vị trí của các cấu trúc trên tấm bán dẫn nằm trong các thông số kỹ thuật cần thiết.Khối đá granit được sử dụng làm tiêu chuẩn tham khảo trong các phép đo này vì độ ổn định và độ chính xác về kích thước của chúng.Chúng cũng được sử dụng trong các giai đoạn kiểm tra, trong đó chất lượng của mạch tích hợp được kiểm tra dưới độ phóng đại cao.
Nhìn chung, việc sử dụng các thành phần đá granit trong sản xuất chất bán dẫn đã tăng lên trong những năm gần đây.Nhu cầu về độ chính xác, độ chính xác và độ ổn định cao trong chế tạo và xử lý mạch tích hợp đã thúc đẩy các nhà sản xuất chất bán dẫn áp dụng các vật liệu này.Các đặc tính độc đáo của đá granit, chẳng hạn như độ cứng, độ ổn định và hệ số giãn nở nhiệt thấp, khiến nó trở thành sự lựa chọn tuyệt vời để sử dụng trong các quy trình này.Với sự phát triển và cải tiến liên tục của công nghệ bán dẫn, việc sử dụng các thành phần đá granite dự kiến sẽ còn phát triển hơn nữa trong tương lai.
Thời gian đăng: Dec-05-2023