Các linh kiện đá granit đã được sử dụng rộng rãi trong quy trình sản xuất chất bán dẫn nhờ những đặc tính tuyệt vời như độ hoàn thiện bề mặt vượt trội, độ cứng cao và khả năng giảm chấn tuyệt vời. Các linh kiện đá granit rất cần thiết cho các thiết bị chế tạo chất bán dẫn, bao gồm máy in thạch bản, máy đánh bóng và hệ thống đo lường, nhờ khả năng định vị chính xác và ổn định trong suốt quá trình sản xuất. Tuy nhiên, bên cạnh những ưu điểm vượt trội, việc sử dụng các linh kiện đá granit cũng có những nhược điểm. Trong bài viết này, chúng ta sẽ thảo luận về các khuyết tật của linh kiện đá granit trong các sản phẩm quy trình sản xuất chất bán dẫn.
Thứ nhất, các thành phần đá granit có hệ số giãn nở nhiệt cao. Điều này có nghĩa là chúng giãn nở đáng kể dưới ứng suất nhiệt, điều này có thể gây ra các vấn đề trong quá trình sản xuất. Quy trình sản xuất chất bán dẫn đòi hỏi độ chính xác và độ chính xác kích thước cao, có thể bị ảnh hưởng do ứng suất nhiệt. Ví dụ, biến dạng wafer silicon do giãn nở nhiệt có thể gây ra các vấn đề về căn chỉnh trong quá trình in thạch bản, ảnh hưởng đến chất lượng của thiết bị bán dẫn.
Thứ hai, các thành phần đá granit có khuyết tật về độ xốp, có thể gây rò rỉ chân không trong quá trình sản xuất chất bán dẫn. Sự hiện diện của không khí hoặc bất kỳ loại khí nào khác trong hệ thống có thể gây nhiễm bẩn bề mặt wafer, dẫn đến các khuyết tật ảnh hưởng đến hiệu suất của thiết bị bán dẫn. Các khí trơ như argon và heli có thể thấm vào các thành phần đá granit xốp và tạo ra các bọt khí, ảnh hưởng đến tính toàn vẹn của quy trình chân không.
Thứ ba, các thành phần đá granit có các vết nứt nhỏ có thể ảnh hưởng đến độ chính xác của quy trình sản xuất. Đá granit là vật liệu giòn, có thể hình thành các vết nứt nhỏ theo thời gian, đặc biệt là khi chịu các chu kỳ ứng suất liên tục. Sự hiện diện của các vết nứt nhỏ có thể dẫn đến mất ổn định kích thước, gây ra các vấn đề đáng kể trong quá trình sản xuất, chẳng hạn như căn chỉnh in thạch bản hoặc đánh bóng wafer.
Thứ tư, các thành phần đá granit có độ linh hoạt hạn chế. Quy trình sản xuất chất bán dẫn đòi hỏi thiết bị linh hoạt, có thể thích ứng với các thay đổi quy trình khác nhau. Tuy nhiên, các thành phần đá granit rất cứng và không thể thích ứng với các thay đổi quy trình khác nhau. Do đó, bất kỳ thay đổi nào trong quy trình sản xuất đều đòi hỏi phải loại bỏ hoặc thay thế các thành phần đá granit, dẫn đến thời gian ngừng hoạt động và ảnh hưởng đến năng suất.
Thứ năm, các thành phần đá granite đòi hỏi quy trình xử lý và vận chuyển đặc biệt do trọng lượng và tính dễ vỡ của chúng. Đá granite là vật liệu đặc và nặng, đòi hỏi thiết bị xử lý chuyên dụng như cần cẩu và máy nâng. Ngoài ra, các thành phần đá granite cần được đóng gói và vận chuyển cẩn thận để tránh hư hỏng trong quá trình vận chuyển, dẫn đến chi phí và thời gian bổ sung.
Tóm lại, các thành phần đá granit có một số nhược điểm có thể ảnh hưởng đến chất lượng và năng suất của quy trình sản xuất bán dẫn. Những khuyết điểm này có thể được giảm thiểu thông qua việc xử lý và bảo trì cẩn thận các thành phần đá granit, bao gồm kiểm tra định kỳ các vết nứt vi mô và khuyết tật về độ xốp, vệ sinh đúng cách để ngăn ngừa nhiễm bẩn và xử lý cẩn thận trong quá trình vận chuyển. Bất chấp những khuyết điểm này, các thành phần đá granit vẫn là một phần thiết yếu của quy trình sản xuất bán dẫn nhờ bề mặt hoàn thiện vượt trội, độ cứng cao và khả năng giảm chấn tuyệt vời.
Thời gian đăng: 05-12-2023