Các cấu kiện bằng đá granit được sử dụng rộng rãi trong quy trình sản xuất chất bán dẫn nhờ những đặc tính tuyệt vời như bề mặt hoàn thiện vượt trội, độ cứng cao và khả năng giảm chấn rung động tuyệt vời. Các cấu kiện bằng đá granit rất cần thiết cho thiết bị chế tạo chất bán dẫn, bao gồm máy khắc quang học, máy đánh bóng và hệ thống đo lường vì chúng cung cấp khả năng định vị chính xác và ổn định trong suốt quá trình sản xuất. Mặc dù có tất cả những ưu điểm khi sử dụng các cấu kiện bằng đá granit, chúng cũng có những nhược điểm. Trong bài viết này, chúng ta sẽ thảo luận về những nhược điểm của các cấu kiện bằng đá granit đối với các sản phẩm trong quy trình sản xuất chất bán dẫn.
Thứ nhất, các thành phần đá granit có hệ số giãn nở nhiệt cao. Điều này có nghĩa là chúng giãn nở đáng kể dưới tác động của nhiệt độ, có thể gây ra vấn đề trong quá trình sản xuất. Quá trình sản xuất chất bán dẫn đòi hỏi độ chính xác cao và độ chuẩn xác về kích thước, điều này có thể bị ảnh hưởng do ứng suất nhiệt. Ví dụ, sự biến dạng của tấm silicon do giãn nở nhiệt có thể gây ra các vấn đề về căn chỉnh trong quá trình quang khắc, làm ảnh hưởng đến chất lượng của thiết bị bán dẫn.
Thứ hai, các thành phần đá granit có khuyết tật về độ xốp có thể gây ra rò rỉ chân không trong quá trình sản xuất chất bán dẫn. Sự hiện diện của không khí hoặc bất kỳ loại khí nào khác trong hệ thống có thể gây ô nhiễm trên bề mặt tấm bán dẫn, dẫn đến các khuyết tật có thể ảnh hưởng đến hiệu suất của thiết bị bán dẫn. Các khí trơ như argon và heli có thể thấm vào các thành phần đá granit xốp và tạo ra các bọt khí có thể gây cản trở tính toàn vẹn của quá trình chân không.
Thứ ba, các thành phần đá granit có các vết nứt nhỏ có thể ảnh hưởng đến độ chính xác của quá trình sản xuất. Đá granit là một vật liệu giòn có thể phát sinh các vết nứt nhỏ theo thời gian, đặc biệt là khi chịu tác động của các chu kỳ ứng suất liên tục. Sự hiện diện của các vết nứt nhỏ có thể dẫn đến sự không ổn định về kích thước, gây ra các vấn đề nghiêm trọng trong quá trình sản xuất, chẳng hạn như căn chỉnh quang khắc hoặc đánh bóng tấm bán dẫn.
Thứ tư, các bộ phận bằng đá granit có tính linh hoạt hạn chế. Quy trình sản xuất chất bán dẫn yêu cầu thiết bị linh hoạt có thể thích ứng với các thay đổi quy trình khác nhau. Tuy nhiên, các bộ phận bằng đá granit lại cứng nhắc và không thể thích nghi với các thay đổi quy trình khác nhau. Do đó, bất kỳ thay đổi nào trong quy trình sản xuất đều cần phải tháo dỡ hoặc thay thế các bộ phận bằng đá granit, dẫn đến thời gian ngừng hoạt động và ảnh hưởng đến năng suất.
Thứ năm, các cấu kiện đá granit đòi hỏi việc xử lý và vận chuyển đặc biệt do trọng lượng và tính dễ vỡ của chúng. Đá granit là một vật liệu đặc và nặng, cần thiết bị xử lý chuyên dụng như cần cẩu và máy nâng. Ngoài ra, các cấu kiện đá granit cần được đóng gói và vận chuyển cẩn thận để tránh hư hỏng trong quá trình vận chuyển, dẫn đến chi phí và thời gian phát sinh thêm.
Tóm lại, các cấu kiện bằng đá granit có một số nhược điểm có thể ảnh hưởng đến chất lượng và năng suất của sản phẩm trong quy trình sản xuất chất bán dẫn. Những khuyết điểm này có thể được giảm thiểu thông qua việc xử lý và bảo dưỡng cẩn thận các cấu kiện đá granit, bao gồm kiểm tra định kỳ các vết nứt nhỏ và khuyết tật về độ xốp, làm sạch đúng cách để ngăn ngừa ô nhiễm và xử lý cẩn thận trong quá trình vận chuyển. Mặc dù có những nhược điểm, các cấu kiện đá granit vẫn là một phần quan trọng của quy trình sản xuất chất bán dẫn nhờ bề mặt hoàn thiện vượt trội, độ cứng cao và khả năng giảm chấn rung động tuyệt vời.
Thời gian đăng bài: 05/12/2023