Sản xuất chất bán dẫn được xem là đỉnh cao của kỹ thuật công nghiệp hiện đại. Khi các nhà sản xuất chip hướng tới các nút nhỏ hơn và năng suất cao hơn, dung sai lỗi giảm xuống đến thang đo nanomet. Trong môi trường đầy rủi ro này, hiệu suất của các hệ thống kiểm tra và khắc quang trị giá hàng triệu đô la phụ thuộc rất nhiều vào...thành phần có vẻ không đáng kể: Đế bằng đá granit chính xác.
Vì sao đá granit là nền tảng của sản xuất chip
Trong các nhà máy sản xuất chất bán dẫn (fab), thiết bị phải chịu tác động của các rung động nhỏ liên tục từ hệ thống làm mát, máy móc vận chuyển vật liệu tự động, và thậm chí cả lưu lượng giao thông trong tòa nhà. Các đế kim loại truyền thống có thể khuếch đại các rung động này hoặc bị biến dạng do sự thay đổi nhiệt độ. Tuy nhiên, đá granit mật độ cao lại mang đến những ưu điểm vật lý vượt trội:
Khả năng giảm chấn rung động vượt trội: Cấu trúc tinh thể dày đặc, liên kết chặt chẽ của đá granit tự nhiên hấp thụ năng lượng động học tần số cao, ngăn chặn các rung động siêu nhỏ tác động đến các thành phần quang học nhạy cảm.
Độ ổn định nhiệt: Với hệ số giãn nở nhiệt cực thấp, sản phẩm của chúng tôi...Đá Granite Đen ZHHIMG®(Mật độ ≈3100kg/m³) duy trì tính toàn vẹn hình học ngay cả trong môi trường có sự thay đổi nhiệt độ nhỏ, ngăn ngừa hiện tượng trôi dạt nhiệt.
Không nhiễm từ và không dẫn điện: Đá granit loại bỏ nguy cơ nhiễu điện từ, điều này rất quan trọng khi làm việc với các chùm tia điện tử nhạy cảm, máy đo giao thoa laser và các cảm biến chính xác.
Các ứng dụng quan trọng trong nhà máy sản xuất chất bán dẫn
Tại ZHHIMG®, chúng tôi chế tạo các đế đá granit chính xác và bệ đỡ khí nén được thiết kế riêng cho các quy trình sản xuất bán dẫn khắt khe nhất:
Công nghệ in thạch bản và kiểm tra wafer: Đế bằng đá granit cung cấp “vùng yên tĩnh” cực kỳ ổn định cần thiết cho các hệ thống quang học cực tím (EUV) và cực tím sâu (DUV), đảm bảo sự căn chỉnh hoàn hảo trong quá trình chiếu xạ wafer và kiểm tra khuyết tật.
Ổ trục khí chính xác: Nền tảng ổ trục khí bằng đá granit tùy chỉnh của chúng tôi cho phép chuyển động siêu mượt, không ma sát cho các bàn đặt wafer. Điều này loại bỏ sự mài mòn cơ học và ma sát trượt, đảm bảo độ chính xác định vị hoàn hảo.
Gia công mạch in và chất nền: Đối với máy khoan mạch in và máy cắt laser, đế bằng đá granit hấp thụ các tác động tần số cao của trục chính, đảm bảo các lỗ khoan thẳng đứng hoàn hảo và đường dẫn mạch chính xác.
Hệ thống đo lường & kiểm tra quang học tự động (AOI): Kiểm tra quang học tự động (AOI) vàMáy đo tọa độ(CMM) dựa vào các tấm bề mặt bằng đá granit ZHHIMG® làm mặt phẳng tham chiếu số không tuyệt đối, đảm bảo rằng mọi micron được đo đều chính xác.
Được thiết kế để đạt độ ổn định tuyệt đối.
Việc sản xuất đế bằng đá granit chất lượng cao dùng trong ngành bán dẫn không chỉ đơn thuần là cắt đá. Tại ZHHIMG®, chúng tôi sử dụng các trung tâm gia công CNC khổng lồ có khả năng xử lý các chi tiết riêng lẻ dài tới 20 mét và nặng tới 100 tấn.
Tuy nhiên, điều kỳ diệu thực sự diễn ra trong phòng sạch rộng 10.000m² được cách ly rung động, kiểm soát nhiệt độ và độ ẩm của chúng tôi. Được xây dựng với nền móng bê tông siêu cứng dày 1000mm và các rãnh cách ly sâu, môi trường này đảm bảo rằng quá trình mài và lắp ráp ở cấp độ nanomet cuối cùng hoàn toàn không bị ảnh hưởng bởi các yếu tố bên ngoài. Chúng tôi thậm chí còn mô phỏng các điều kiện phòng sạch đạt tiêu chuẩn bán dẫn cho quá trình lắp ráp cuối cùng của các ổ trục khí bằng đá granit.
Niềm tin được bảo đảm bởi các tiêu chuẩn toàn cầu
Chúng tôi hiểu rằng trong ngành công nghiệp bán dẫn, không có chỗ cho sự thỏa hiệp. Cam kết “không gian lận, không che giấu, không gây hiểu nhầm” của chúng tôi được chứng thực bằng các chứng nhận toàn diện (ISO9001, ISO14001, ISO45001, CE) và việc tuân thủ các tiêu chuẩn đo lường quốc tế nghiêm ngặt như DIN 876 và ASME. Được các tập đoàn lớn trong ngành và các viện nghiên cứu toàn cầu tin tưởng, ZHHIMG® cung cấp nền tảng vững chắc mà thiết bị tiên tiến của bạn yêu cầu.
Bạn đang thiết kế thế hệ thiết bị bán dẫn tiếp theo? Hãy liên hệ với đội ngũ kỹ sư của ZHHIMG® ngay hôm nay để thảo luận về các loại đế đá granit tùy chỉnh, bệ đỡ khí nén và các cụm lắp ráp chính xác được thiết kế riêng theo thông số kỹ thuật chính xác của bạn.
Thời gian đăng bài: 10/07/2026